2025-11-21T14:40:15.746352

Partial State-Feedback Reduced-Order Switching Predictive Models for Next-Generation Optical Lithography Systems

Subramanian, Moest, Paarhuis
This paper presents a partial state-feedback reduced-order switching predictive model designed to support the next-generation lithography roadmap. The proposed approach addresses the trade-off between increasing the number of measurements to improve overlay accuracy and the resulting challenges, including higher measurement noise, reduced throughput and overlay/placement errors under uncertain operating conditions.. By minimizing (die-) placement errors and reducing unnecessary measurements, the method enhances system performance and throughput. This solution employs a streamlined model with adaptive switching logic to manage time-varying uncertainties induced by fluctuating operating conditions. The methodology is implemented on a state-of-the-art lithographic scanner to mitigate the spatial-temporal dynamics of reticle heating, serving as a representative industrial application. Reticle heating, which worsens with increased throughput, introduces spatial-temporal distortions that directly degrade die placement accuracy. Experimental results demonstrate significant improvements: placement errors are reduced by a factor of $2-3$x, and throughput is improved by $0.3$seconds per wafer. Importantly, the method accounts for the fact that increased throughput can exacerbate reticle heating, which directly impacts overlay performance. By actively compensating for these thermomechanical effects, the proposed approach ensures that overlay accuracy is maintained or improved -- even under increased throughput conditions -- highlighting its potential for broader application in advanced lithographic systems, particularly in thermal and vibration control.
academic

نماذج التنبؤ بالتبديل المختزلة ذات التغذية الراجعة الجزئية للحالة لأنظمة الطباعة الضوئية من الجيل القادم

المعلومات الأساسية

  • معرّف الورقة: 2402.13928
  • العنوان: نماذج التنبؤ بالتبديل المختزلة ذات التغذية الراجعة الجزئية للحالة لأنظمة الطباعة الضوئية من الجيل القادم
  • المؤلفون: راجا جاناباتي سوبراماني (جامعة آيندهوفن للتكنولوجيا وشركة ASML)، باري موست (شركة ASML)، بارت بارهويس (شركة ASML)
  • التصنيف: math.OC (التحسين والتحكم الرياضي)
  • وقت النشر: مسودة مقدمة إلى مجلة Control Engineering Practice، 15 أكتوبر 2025
  • رابط الورقة: https://arxiv.org/abs/2402.13928

الملخص

تقترح هذه الورقة نموذج تنبؤ بالتبديل مختزل ذا تغذية راجعة جزئية للحالة، بهدف دعم خارطة الطريق التكنولوجية للطباعة الضوئية من الجيل القادم. تعالج هذه الطريقة المقايضة بين زيادة عدد القياسات لتحسين دقة المحاذاة والتحديات الناشئة عن ذلك (بما في ذلك ضوضاء القياس الأعلى، وانخفاض الإنتاجية، وأخطاء المحاذاة/الوضع في ظروف التشغيل غير المؤكدة). من خلال تقليل أخطاء وضع الرقاقة وتقليل القياسات غير الضرورية، تحسّن هذه الطريقة أداء النظام والإنتاجية. يستخدم الحل نماذج مبسطة مع منطق تبديل متكيف لإدارة عدم اليقين المتغير بمرور الوقت الناجم عن تقلب ظروف التشغيل. تم تطبيق الطريقة على ماسح ضوئي طباعة متقدم لتخفيف الديناميكيات الزمانية والمكانية لتسخين قناع الرقاقة، كتطبيق صناعي تمثيلي. يتفاقم تسخين قناع الرقاقة مع زيادة الإنتاجية، مما يؤدي إلى تشوهات زمانية ومكانية تقلل مباشرة من دقة وضع الرقاقة. تظهر النتائج التجريبية تحسنًا ملحوظًا: تقليل أخطاء الوضع بمعامل 2-3 مرات، وزيادة الإنتاجية بمقدار 0.3 ثانية لكل رقاقة.

خلفية البحث والدافع

خلفية المشكلة

  1. أهمية تكنولوجيا الطباعة الضوئية: الطباعة الضوئية هي التكنولوجيا الأكثر حرجًا في عملية تصنيع أشباه الموصلات، وتحدد مقياس تصنيع عناصر الرقاقة، مما يؤثر بشكل مباشر على جودة إنتاج الدوائر المتكاملة.
  2. التحديات التقنية:
    • تتراوح أصغر أحجام الميزات من 3 نانومتر إلى 500 نانومتر، مما يتطلب دقة تحت النانومتر
    • التناقض بين متطلبات الإنتاجية العالية ومتطلبات الدقة العالية
    • تأثير السلوك الديناميكي الزماني والمكاني على أداء النظام
  3. قيود الطرق الموجودة:
    • عدم تطابق افتراضات المحاكاة مع سلوك النظام في الوقت الفعلي
    • الحساسية تجاه عدم اليقين والاضطرابات الخارجية
    • صعوبة ضمان الاستقرار الحلقي المغلق العام في العمليات في الوقت الفعلي
    • المقايضة بين دقة النمذجة الفيزيائية وبساطة النموذج
    • قيود الطبيعة المعيارية والقابلية للتوسع وتكاليف التطبيق

دافع البحث

تهدف هذه الورقة إلى سد الفجوة بين مفاهيم التحكم النظرية والتطبيق العملي الفعلي لأنظمة الطباعة الضوئية، مع اقتراح طريقة تحكم تنبؤي بالتبديل مختزلة ذات تغذية راجعة جزئية للحالة، مع الحفاظ على الإنتاجية وأداء المحاذاة.

المساهمات الأساسية

  1. تصميم النموذج المختزل: اقتراح استخدام نماذج خطية ثابتة الزمن مختزلة مشتقة من ديناميكيات النظام الكبيرة الحجم الاسمية (نماذج العناصر المحدودة)، من خلال فك الارتباط الانتقائي للديناميكيات الزمانية والمكانية الحرجة، مما يضمن الكفاءة الحسابية دون الإضرار بدقة النموذج.
  2. آلية التبديل التكيفي: إدخال آلية منطق التبديل للتكيف مع عدم اليقين الناجم عن التأثيرات الفيزيائية، مما يحسن المتانة.
  3. ضمانات الاستقرار: إثبات أن استراتيجية التحكم المقترحة تضمن الاستقرار التقاربي المحدود النهائي المتسق العام (GUAS)، مدعومة بنظرية الكسب الصغير للأنظمة غير الخطية.
  4. التحقق الصناعي: التطبيق والتحقق على نظام طباعة ضوئية متقدم، مع التركيز على تخفيف التشوهات الزمانية والمكانية الناجمة عن تسخين قناع الرقاقة.

شرح الطريقة

تعريف المهمة

المدخلات:

  • حالة النظام x∈Rnx \in \mathbb{R}^n (التشوه المتنبأ به الكامل لقناع الرقاقة)
  • المدخلات الخارجية ue∈Rmu_e \in \mathbb{R}^m (مصادر حرارية)
  • بيانات المستشعرات المتناثرة y∈Rqy \in \mathbb{R}^q

المخرجات:

  • المخرجات المتعلقة بخطأ الوضع z∈Rpz \in \mathbb{R}^p

القيود:

  1. بقاء الإزاحة المتنبأ بها محدودة: ∥z∥≤ε\|z\| \leq \varepsilon (على مستوى تحت النانومتر)
  2. تقليل وقت القياس، تخطي القياسات بشكل انتقائي لمجموعات علامات معينة

معمارية النموذج

التعبير في فضاء الحالة

يتم التعبير عن فضاء حالة النظام كما يلي:

\dot{x}_i = A_i x_i + B_i u_e + B_f u_f \\ u_f = \Gamma(.)y \\ u_i = C_i x_i \end{cases}$$ حيث: - $x_i$: حالة التشوه الداخلية - $u_e$: ملف التسخين الخارجي - $u_f$: إشارة التغذية الراجعة من مستشعرات المحاذاة - $\Gamma(.)$: دالة تحول قياسات التغذية الراجعة المتناثرة إلى تخطيط كثيف مناسب - $C_i$: خريطة الإخراج من $x_i$ إلى $u_i$ #### طريقة التصميم ذات الأربع خطوات **الخطوة 1 - دمج المجدول والتغذية الراجعة الحلقية المغلقة**: يتم تعريف المجدول $\Phi$ كما يلي: $$\Phi = \{M_i | I \in R_i, \forall i \in \mathbb{Z}\}$$ حيث $I \in \{y, u_e, u_\Delta\}$ يمثل مجموعة المعلومات التاريخية. **الخطوة 2 - النموذج الاسمي المختزل**: استخدام طريقة مطابقة عزوم كريلوف للاختزال المعاملي: $$M_i := \begin{cases} \dot{x}_i = A_i x_i + B_i u_e \\ u_i = C_i x_i \end{cases}$$ **الخطوة 3 - دمج التغذية الراجعة الجزئية**: دمج التغذية الراجعة الجزئية للحالة في النموذج المختزل من خلال إدخال قناة إدخال التغذية الراجعة $B_f$ بشكل صريح. **الخطوة 4 - معالجة عدم اليقين**: استخدام طريقة المركزية لتمثيل النموذج كما يلي: $$\hat{P}(\Phi|I) = M_n + M_\Delta = M_n + \Delta_m(\Phi|I)$$ ### نقاط الابتكار التقني 1. **استراتيجية التبديل المدفوعة بالمعلومات التاريخية**: بخلاف التحكم بالكسب المتغير القائم فقط على سعة إشارة التغذية الراجعة، تستخدم هذه الطريقة البيانات التاريخية $I$ لتوجيه اختيار النموذج. 2. **الحفاظ على القابلية للتفسير الفيزيائي**: الحفاظ على التفسير الفيزيائي الأصلي للنموذج المختزل من خلال طريقة مطابقة عزوم كريلوف. 3. **إطار عمل نظام Lur'e**: تحويل النظام إلى نظام نوع Lur'e، يجمع بين الجزء الديناميكي الخطي والجزء غير الخطي/غير المؤكد. ## الإعداد التجريبي ### منصة التجربة - **الجهاز**: ماسح ضوئي طباعة ASML Twinscan المتقدم - **سيناريو التطبيق**: تخفيف تسخين قناع الرقاقة - **ظروف الاختبار**: دفعتان، كل دفعة تحتوي على 16 رقاقة ### مؤشرات التقييم 1. **خطأ الوضع**: خطأ وضع المحاذاة في اتجاهات x-y 2. **تحسن الإنتاجية**: توفير الوقت لكل رقاقة 3. **الاستقرار**: اتساق الأداء في ظروف التشغيل المختلفة ### طرق المقارنة 1. **الطريقة التقليدية**: الطريقة المعيارية الحالية القائمة على المستشعرات 2. **الطريقة الخطية**: نسخة خطية تستخدم فقط النموذج الاسمي $M_n$ ### تفاصيل التطبيق - استخدام 3 عزوم لوصف نماذج تسخين قناع الرقاقة الاسمية وغير المؤكدة - تخطي علامات المحاذاة الحافة، واستخدام فقط علامات المحاذاة العلوية والسفلية - توفير حوالي 0.3 ثانية لكل قياس/رقاقة ## النتائج التجريبية ### النتائج الرئيسية 1. **تحسن خطأ الوضع**: - تقليل خطأ الوضع في اتجاهات x-y بمعامل 2-3 مرات مقارنة بالطريقة التقليدية - تحسن الأداء في اتجاهات x-y بمعامل 2 مرات للرقاقتين الأوليتين - الحفاظ على دقة مستقرة ومحسّنة في ظروف اسمية وغير مؤكدة 2. **تحسن الإنتاجية**: - توفير 0.3 ثانية لكل رقاقة - إمكانية زيادة الإنتاجية بما يصل إلى 7 رقائق إضافية في الساعة 3. **التحقق من المتانة**: - انخفاض أداء الطريقة الخطية بمعامل 3 مرات في ظروف عدم اليقين - الحفاظ على الطريقة المقترحة على أداء متسقة في مناطق صور مختلفة ### التحقق في مناطق صور مختلفة في التجارب على مناطق تعريض أصغر: - تحسن الطريقة المقترحة بمعامل 3 مرات في ظروف اسمية وغير مؤكدة - انخفاض أداء الطريقة الخطية بمعامل 2-3 مرات - التحقق من متانة الطريقة وقابليتها للتكيف ### تحليل الاستقرار تم إثبات الاستقرار التقاربي المحدود النهائي المتسق العام (GUAS) من خلال نظرية الكسب الصغير، مع تحقيق: - خصائص الفيزياء الحرارية لقناع الرقاقة تضمن ديناميكيات محدودة - النموذج الاسمي والنموذج غير المؤكد يلبيان شروط الاستقرار - نقطة التوازن $x^*$ (حيث $\|z\| = 0$) هي GUAS ## الأعمال ذات الصلة ### التحكم في أنظمة الطباعة الضوئية - تقتصر طرق التحكم التنبؤي الخطي التقليدية على "تأثير السرير المائي" - تشمل الطرق غير الخطية التحكم بالكسب المتغير والمرشحات والمتحكمات بالتبديل - غالبًا ما تتجاهل الطرق الموجودة الديناميكيات الزمانية والمكانية ### تقنيات اختزال النموذج - القطع المتوازن، طرق فضاء كريلوف الجزئي، التحليل الطيفي الصحيح (POD) - على الرغم من أن الطرق الموجودة تقلل الأبعاد، إلا أنها تفقد القابلية للتفسير الفيزيائي - تحافظ طريقة هذه الورقة على التفسير الفيزيائي مع تحقيق الكفاءة الحسابية ### التحكم في الأنظمة بالتبديل - استراتيجيات التبديل القائمة على المعلومات التاريخية - طرق التحكم المدفوعة بالأحداث - نظرية استقرار نظام Lur'e ## الاستنتاجات والمناقشة ### الاستنتاجات الرئيسية 1. تم تطوير نموذج تنبؤ بالتبديل مختزل بنجاح ذا تغذية راجعة جزئية للحالة 2. تحقيق تحسن متزامن في الدقة والإنتاجية 3. التحقق من المتانة في ظروف التشغيل غير المؤكدة 4. توفير ضمانات الاستقرار النظري ### القيود 1. تطبيق الطريقة يعتمد على خصائص النظام الفيزيائي المحددة 2. يتطلب تصميم منطق التبديل معرفة متخصصة بالمجال 3. قد يؤثر اختزال النموذج على الدقة في بعض الظروف القصوى ### الاتجاهات المستقبلية 1. **إطار عمل التنبؤ الموحد**: التوسع إلى التغييرات المكانية والزمانية في النظام بأكمله 2. **تحسين القياس الذكي**: دمج التنبؤ والتعلم والذكاء لتقليل القياسات غير الضرورية 3. **التحقق من الافتراضات العملية**: تقليل الفجوة بين المفاهيم النظرية والتطبيقات العملية ## التقييم المتعمق ### المزايا 1. **الصلة الصناعية القوية**: معالجة مباشرة للمشاكل العملية في تصنيع أشباه الموصلات 2. **الأساس النظري الراسخ**: توفير تحليل استقرار صارم 3. **التحقق التجريبي الكافي**: التحقق من الفعالية على أنظمة صناعية حقيقية 4. **ابتكار الطريقة**: طريقة جديدة تجمع بين النمذجة المختزلة والتحكم بالتبديل والتغذية الراجعة الجزئية 5. **القيمة العملية العالية**: تحسن متزامن في الدقة والإنتاجية، مع قيمة اقتصادية مباشرة ### أوجه القصور 1. **محدودية التطبيق**: يركز بشكل أساسي على مشكلة تسخين قناع الرقاقة، وتبقى قابلية التعميم على تطبيقات أخرى غير مؤكدة 2. **إدارة التعقيد**: قد يتطلب تصميم وضبط منطق التبديل معرفة متخصصة كبيرة 3. **التجارب المقارنة**: نقص المقارنة المتعمقة مع طرق التحكم المتقدمة الأخرى 4. **الاستقرار طويل الأجل**: لم تتم مناقشة مشاكل تدهور الأداء أثناء التشغيل طويل الأجل بشكل كافٍ ### التأثير 1. **القيمة الأكاديمية**: توفير إطار عمل نظري جديد للتحكم في الأنظمة الزمانية والمكانية 2. **القيمة الصناعية**: التطبيق المباشر على معدات أشباه الموصلات بقيمة مليارات الدولارات 3. **نشر التكنولوجيا**: إمكانية توسيع الطريقة إلى أنظمة تصنيع دقيقة أخرى 4. **قابلية إعادة الإنتاج**: توفير خطوات تطبيق واضحة وأساس نظري متين ### السيناريوهات المعمول بها 1. **أنظمة التصنيع الدقيق**: عمليات التصنيع التي تتطلب دقة تحت النانومتر 2. **تطبيقات إدارة الحرارة**: الأنظمة التي تتضمن التحكم في التشوه الحراري 3. **متطلبات الإنتاجية العالية**: السيناريوهات التي تتطلب زيادة الكفاءة مع الحفاظ على الدقة 4. **الأنظمة في البيئات غير المؤكدة**: الأنظمة الصناعية التي تتغير فيها ظروف التشغيل بشكل متكرر ## المراجع تستشهد الورقة بـ 45 مرجعًا ذا صلة، تغطي أعمالًا مهمة في مجالات نظرية التحكم وتكنولوجيا الطباعة الضوئية واختزال النموذج وتحديد النظام، مما يوفر أساسًا نظريًا متينًا وخلفية تقنية للبحث. --- **التقييم الإجمالي**: هذه ورقة بحثية عالية الجودة في مجال التطبيقات الهندسية، حيث نجحت في تطبيق نظرية التحكم المتقدمة على مشاكل صناعية فعلية، محققة توازنًا جيدًا بين الصرامة النظرية والقيمة العملية. تكمن مساهمات الورقة ليس فقط في الابتكار التقني، بل أيضًا في توفير حل عملي وقابل للتطبيق لصناعة تصنيع أشباه الموصلات، وهي صناعة حرجة.