2025-11-12T03:58:09.663372

Enhanced optical performance of GaN Micro-light-emitting diodes with a single porous layer

Yan, Zhang, Li et al.
High-efficiency micro-light-emitting diodes (Micro-LEDs) are key devices for next-generation display technology. However, when the mesa size is reduced to around tens of micrometers or less, the luminous efficiency is constrained by the "efficiency-on-size effect". This work details the fabrication of gallium nitride (GaN) based Micro-LEDs with various mesa shapes and a single porous layer under the active region. A modified green LED epitaxial structure with different doped n-GaN layers combined with electrochemical etching created the porous layer. The strong light confinement achieved by the porous layer and the polygonal mesa greatly enhances spontaneous emission. The luminous intensity of the Micro-LEDs with the porous layer is approximately 22 times greater than those Micro-LEDs without the porous layer. A significant reduction in minimum full width at half maximum (FWHM) was observed in polygonal devices, suggesting a change in the luminescence mechanism. The influence of varying device geometry on emission performance was investigated. Experimental results reveal that, unlike circular porous Micro-LEDs, square and hexagonal porous Micro-LEDs exhibit more pronounced resonant emission, which provides a new technological approach for the further development of high-performance Micro-LEDs and lasers.
academic

تحسين الأداء البصري لثنائيات الإضاءة الدقيقة من نيتريد الغاليوم مع طبقة مسامية واحدة

المعلومات الأساسية

  • معرّف الورقة: 2501.00455
  • العنوان: Enhanced optical performance of GaN Micro-light-emitting diodes with a single porous layer
  • المؤلفون: Ziwen Yan, Xianfei Zhang, Yuyin Li, Zili Xie, Xiangqian Xiu, Dunjun Chen, Ping Han, Yi Shi, Rong Zhang, Youdou Zheng, and Peng Chen
  • المؤسسة: كلية العلوم والهندسة الإلكترونية، جامعة نانجينج؛ مختبر جيانغسو الرئيسي للمواد الفوتونية والإلكترونية المتقدمة
  • التصنيف: physics.optics physics.app-ph
  • رابط الورقة: https://arxiv.org/abs/2501.00455

الملخص

تعتبر ثنائيات الإضاءة الدقيقة (Micro-LEDs) عالية الكفاءة أجهزة رئيسية لتكنولوجيا العرض من الجيل التالي. ومع ذلك، عندما تنخفض أحجام الطاولة إلى عشرات الميكرومترات أو أقل، تتأثر كفاءة الإضاءة بـ "تأثير الكفاءة-الحجم". تصف هذه الدراسة بالتفصيل تحضير ثنائيات Micro-LEDs المعتمدة على نيتريد الغاليوم (GaN) بأشكال طاولة مختلفة وطبقة مسامية واحدة تحت المنطقة النشطة. تم إنشاء الطبقة المسامية من خلال دمج هيكل LED الأخضر المحسّن مع طبقات n-GaN المختلفة الخصائص والحفر الكهروكيميائي. حققت الطبقة المسامية وطاولة متعددة الأضلاع حصرًا ضوئيًا قويًا عزز بشكل كبير الانبعاث التلقائي. كانت شدة الإضاءة لثنائيات Micro-LEDs ذات الطبقة المسامية أعلى بحوالي 22 مرة من الأجهزة بدون طبقة مسامية. لوحظ انخفاض كبير في عرض النطاق الكامل عند نصف الحد الأقصى (FWHM) في الأجهزة متعددة الأضلاع، مما يشير إلى تغيير في آلية الانبعاث. تمت دراسة تأثير أشكال الأجهزة المختلفة على أداء الانبعاث. أظهرت النتائج التجريبية أن ثنائيات Micro-LEDs المسامية المربعة والسادسة الأضلاع، على عكس الأجهزة الدائرية المسامية، تظهر انبعاثًا رنينيًا أكثر وضوحًا.

خلفية البحث والدافع

تحديد المشاكل

  1. مشكلة "تأثير الكفاءة-الحجم": عندما ينخفض حجم Micro-LED إلى عشرات الميكرومترات أو أقل، تنخفض كفاءة الذروة بشكل كبير
  2. إعادة التركيب غير الإشعاعي على السطح: مع تقليل حجم الجهاز، تزداد نسبة مساحة السطح إلى الحجم، مما يؤدي إلى زيادة إعادة التركيب غير الإشعاعي على الأسطح الجانبية
  3. قيود الحلول الموجودة: تتطلب هياكل عاكس براج الموزعة (DBRs) التقليدية تقنيات تحضير معقدة ونمو ظهيري دقيق

أهمية البحث

  • تعتبر ثنائيات Micro-LEDs أجهزة أساسية لتكنولوجيا العرض من الجيل التالي، مع الطلب المتزايد في تطبيقات العرض عالي الدقة وتكنولوجيا الواقع المعزز/الافتراضي والمجالات الطبية
  • يتزايد الطلب على أجهزة Micro-LED عالية السطوع وذات خط ضيق
  • يعتبر حل مشكلة الكفاءة للأجهزة الصغيرة أمرًا حاسمًا لتحقيق تكنولوجيا عرض عالية الأداء

قيود الطرق الموجودة

  • يتطلب تحضير هياكل DBRs تقنيات معقدة ونمو ظهيري دقيق
  • تزيد الهياكل متعددة الطبقات من صعوبة التصنيع والتكلفة
  • قد تؤثر سلبًا على التوصيل الحالي الرأسي

المساهمات الأساسية

  1. اقتراح هيكل طبقة مسامية واحدة: مقارنة بهياكل DBRs المعقدة، تكون طبقة GaN المسامية الواحدة أسهل في التحضير وتفضل التوصيل الحالي الرأسي
  2. تحقيق تحسن كبير في شدة الإضاءة: شدة إضاءة ثنائيات Micro-LEDs المسامية أعلى بـ 22 مرة من الأجهزة التقليدية
  3. اكتشاف تأثير الرنين المعتمد على الشكل: تظهر ثنائيات Micro-LEDs المسامية المربعة والسادسة الأضلاع انبعاثًا رنينيًا أكثر وضوحًا من الأجهزة الدائرية
  4. توفير عملية تحضير كاملة: وصف مفصل للعملية الكاملة من النمو الظهيري إلى تحضير الجهاز
  5. تحقيق انبعاث خط ضيق: الحد الأدنى FWHM يصل إلى حوالي 5.9 نانومتر، مما يشير إلى تغيير في آلية الانبعاث

شرح الطريقة

تعريف المهمة

تصميم وتحضير ثنائيات Micro-LEDs المعتمدة على GaN مع طبقة مسامية واحدة، وتحسين أداء الإضاءة للجهاز من خلال تأثير الحصر الضوئي، ودراسة تأثير الأشكال الهندسية المختلفة على الانبعاث الرنيني.

تصميم هيكل الجهاز

الهيكل الظهيري

  • الركيزة: ركيزة (111)Si
  • طبقة التخزين المؤقت: طبقة تخزين مؤقت AlN/AlGaN
  • طبقة موصلة: GaN غير مشبوع بسمك 1 ميكرومتر (u-GaN)
  • طبقة من النوع n:
    • 1 ميكرومتر من n-GaN خفيف الخصائص (Si: 1.5×10¹⁸/cm³)
    • 1 ميكرومتر من n-GaN ثقيل الخصائص (Si: 8.5×10¹⁸/cm³) - تحويل إلى طبقة مسامية
  • طبقة حماية: طبقة u-GaN بسمك 100 نانومتر
  • المنطقة النشطة: 150 نانومتر من InGaN/GaN متعدد الآبار الكمية (MQWs)
  • طبقة من النوع p: طبقة p-GaN بسمك 100 نانومتر

تدفق عملية التحضير

  1. نقل النمط: ترسيب طبقة SiO₂ بواسطة PECVD لنقل النمط
  2. حفر الطاولة: حفر ICP لتشكيل طاولة Micro-LED، الحفر إلى طبقة n-GaN الخفيفة الخصائص
  3. الحفر الكهروكيميائي: تحويل طبقة n-GaN الثقيلة الخصائص إلى هيكل مسامي
  4. معالجة التخميل: إزالة SiO₂ السطحي باستخدام محلول BOE، إعادة نمو طبقة SiO₂ للتخميل
  5. المعادن: ترسيب معادن متعددة الطبقات Cr/Al/Ni/Au كجهات اتصال من النوع p والنوع n

نقاط الابتكار التقني

تصميم الطبقة المسامية الواحدة

  • تعديل معامل الانكسار الفعال: يتغير معامل الانكسار الفعال للطبقة المسامية مع قطر الفتحة، من 2.39 إلى 1.87
  • آلية الحصر الضوئي: زيادة الفرق في معامل الانكسار بين المنطقة النشطة والوسط المحيط، تعزيز قدرة الفوتونات على الحصر في المنطقة النشطة
  • تحسين التوصيل الحالي: مقارنة بهيكل DBRs متعدد الطبقات، يفضل التصميم الأحادي الطبقة التوصيل الحالي الرأسي

تحسين الشكل الهندسي

  • دائري: يدعم بشكل أساسي أنماط الرنين الجداري (WGM) على الحافة
  • مربع وسادس أضلاع: توزيع الأنماط بالتساوي في جميع أنحاء الجهاز، تأثير الرنين أكثر وضوحًا

نموذج تحليل المقاومة

تم بناء نموذج نسبة المقاومة الفعالة للهيكل المسامي:

rS = (S₀ - Shole) / S₀ = 1 - n·π·rhole²/π·r²
rR = 1/rS

حيث n هو عدد الفتحات، يتم تحديده من خلال الحجم الهندسي للجهاز والمسافة بين الفتحات.

الإعداد التجريبي

معاملات الجهاز

  • شكل الجهاز: دائري (قطر 60 ميكرومتر)، مربع (طول الضلع 50 ميكرومتر)، سادس أضلاع (طول الضلع 30 ميكرومتر)
  • معاملات الطبقة المسامية: نطاق قطر الفتحة 20-60 نانومتر، مسافة قابلة للتعديل
  • درجة حرارة الاختبار: درجة حرارة الغرفة

طرق الاختبار

  • ملاحظة المورفولوجيا: المجهر البصري
  • الخصائص الكهربائية: قياس خصائص I-V باستخدام Keithley 2601A
  • الخصائص البصرية: نظام Renishaw inVia Reflex للتحليل الطيفي للتألق الكهربائي (EL)
  • التحليل المقارن: تحضير أجهزة مسامية وتقليدية على نفس العينة للمقارنة المباشرة

مؤشرات التقييم

  • شدة الإضاءة: مقارنة شدة EL عند نفس التيار المحقون
  • عرض الخط: عرض النطاق الكامل عند نصف الحد الأقصى (FWHM)
  • طول الموجة الذروة: التغيير مع كثافة التيار
  • الأداء الكهربائي: منحنى خصائص J-V

النتائج التجريبية

النتائج الرئيسية

الأداء الكهربائي

  • أداء التوصيل جيدة: تظهر جميع الأجهزة جهد توصيل جيد وارتفاع سريع في كثافة التيار
  • تأثير المقاومة قابل للتحكم: عند أقصى قطر فتحة (60 نانومتر)، تبلغ المقاومة الفعالة ضعف الجهاز التقليدي فقط، وهي لا تزال ضمن النطاق المقبول
  • التوصيل الحالي: لا تؤثر الطبقة المسامية بشكل كبير على قدرة الجهاز على التوصيل الحالي

تحسن الأداء البصري

  1. تحسن كبير في شدة الإضاءة:
    • ثنائي Micro-LED الدائري المسامي: تحسن 2.64 مرة
    • ثنائي Micro-LED المربع المسامي: تحسن 4.86 مرة
    • ثنائي Micro-LED السادس الأضلاع المسامي: تحسن 22 مرة
  2. انخفاض كبير في عرض الخط:
    • الحد الأدنى FWHM يصل إلى حوالي 5.9 نانومتر
    • تظهر الأجهزة متعددة الأضلاع قمم رنينية واضحة
  3. تغيير في آلية الانبعاث:
    • الأجهزة التقليدية تعتمد بشكل أساسي على الانبعاث التلقائي
    • تظهر الأجهزة المسامية قمة حادة عند 510 نانومتر مختلفة عن الانبعاث التلقائي

تأثير الرنين المعتمد على الشكل

الجهاز الدائري

  • يظهر بشكل أساسي انبعاثًا تلقائيًا
  • يظهر فقط قمة صغيرة عند 510 نانومتر
  • تقع أنماط الرنين الجداري بشكل أساسي على حافة الجهاز، وتتعرض بسهولة للضرر من الحفر الجاف

الجهاز المربع

  • تظهر قمم رنينية متعددة تدريجيًا مع زيادة التيار المحقون
  • توزيع أنماط الرنين بالتساوي في جميع أنحاء الجهاز
  • كثافة التيار عند نقطة الانحناء: 320 A/cm²

الجهاز السادس الأضلاع

  • يعرض قمة حادة عند 510 نانومتر، مع تضييق تدريجي للخط
  • أوضح تأثير انبعاث رنيني
  • كثافة التيار عند نقطة الانحناء: 213 A/cm² (الأقل)

خصائص طول الموجة الذروة

  • الأجهزة المسامية: يتحول طول الموجة الذروة من 535 نانومتر إلى 510 نانومتر ثم يبقى مستقرًا
  • الأجهزة التقليدية: تظهر أيضًا تحولًا لكن مع تغييرات صغيرة مستمرة
  • الاستقرار: تظهر الأجهزة المسامية استقرارًا أفضل للموجة عند التيارات العالية

الأعمال ذات الصلة

الحلول التقليدية

  1. هياكل DBRs: استخدام مرايا TiO₂/SiO₂ أو معادن لبناء تجاويف رنينية
  2. هياكل مسامية متعددة الطبقات: DBRs من GaN المسامي العلوي والسفلي
  3. هياكل هجينة: دمج GaN المسامي مع DBRs العازل

مزايا هذا العمل

  • تحضير بسيط: الهيكل الأحادي الطبقة أسهل في التحضير من DBRs متعدد الطبقات
  • موصلية جيدة: يفضل التوصيل الحالي الرأسي
  • أداء متفوقة: تحقيق تحسن أعلى في شدة الإضاءة
  • قابلية التعديل القوية: تحقيق خصائص رنينية مختلفة من خلال تغيير الشكل الهندسي

الخلاصة والمناقشة

الاستنتاجات الرئيسية

  1. التحقق الناجح من مفهوم الطبقة المسامية الواحدة: إثبات أن الهيكل المسامي الأحادي الطبقة يمكن أن يحسن بشكل فعال أداء Micro-LED
  2. تحقيق تحسن كبير في الأداء: أعلى تحسن 22 مرة في شدة الإضاءة وخط ضيق 5.9 نانومتر
  3. اكتشاف تأثير معتمد على الشكل: تظهر الأجهزة متعددة الأضلاع تأثير رنيني أقوى من الأجهزة الدائرية
  4. توفير طريقة تحضير عملية: عملية كاملة مناسبة للتطبيقات العملية

الآليات الفيزيائية

  • تعزيز الحصر الضوئي: تقلل الطبقة المسامية معامل الانكسار الفعال، مما يعزز حصر الفوتونات في المنطقة النشطة
  • تأثير التجويف الرنيني: يشكل الهيكل المسامي الأحادي الطبقة تجويفًا بصريًا فعالًا
  • تحسين توزيع الأنماط: يؤثر الشكل الهندسي على توزيع أنماط الرنين ومسافة انتشار الضوء

القيود

  1. زيادة المقاومة: على الرغم من أنها قابلة للتحكم، فإن الهيكل المسامي يزيد من مقاومة الجهاز
  2. تعقيد التحضير: يتطلب التحكم الدقيق في عملية الحفر الكهروكيميائي
  3. الاعتماد على الحجم: قد يكون التأثير مرتبطًا بحجم الجهاز المحدد
  4. الاستقرار طويل الأجل: يتطلب التحقق من الاستقرار طويل الأجل للهيكل المسامي

الاتجاهات المستقبلية

  1. تحسين الهيكل المسامي: تحسين إضافي لمعاملات مثل قطر الفتحة والمسافة
  2. توسيع التطبيقات: التطبيق على أطوال موجية أخرى وأحجام أجهزة مختلفة
  3. تطبيقات الليزر: استكشاف إمكانيات التطبيق في الليزرات
  4. التصنيع الضخم: تطوير عمليات مناسبة للإنتاج الضخم

التقييم المتعمق

المزايا

  1. ابتكار قوي: يبسط مفهوم الطبقة المسامية الواحدة طريقة DBRs التقليدية
  2. تجارب شاملة: دراسة منهجية للأداء تحت أشكال وتيارات مختلفة
  3. دعم نظري: توفير تحليل نظري لمعامل الانكسار الفعال والمقاومة
  4. قيمة عملية عالية: العملية نسبيًا بسيطة، مناسبة للتطبيقات العملية
  5. بيانات موثوقة: تحسن الأداء بمقدار 22 مرة له قوة إقناع قوية جدًا

أوجه القصور

  1. عمق تحليل الآلية: يمكن أن يكون التحليل النظري لأنماط الرنين أعمق
  2. الاستقرار طويل الأجل: نقص البيانات حول استقرار الجهاز على المدى الطويل
  3. خصائص درجة الحرارة: لم تتم دراسة الأداء عند درجات حرارة مختلفة
  4. اتساق الإنتاج الضخم: نقص البيانات الإحصائية لاتساق الأجهزة الضخمة

التأثير

  1. القيمة الأكاديمية: توفير أفكار جديدة لتحسين أداء Micro-LED
  2. الأهمية الصناعية: توفير حل عملي لتكنولوجيا العرض من الجيل التالي
  3. نشر التكنولوجيا: العملية البسيطة نسبيًا تفضل نشر التكنولوجيا والتطبيق
  4. الأهمية الإلهامية: قد تلهم المزيد من الأبحاث حول الأجهزة الكهروضوئية المعتمدة على الهياكل المسامية

السيناريوهات المعمول بها

  1. العروض عالية الجودة: تطبيقات العرض عالي الدقة والسطوع العالي
  2. أجهزة AR/VR: تطبيقات تتطلب مصادر ضوء عالية الأداء بأحجام صغيرة
  3. الإضاءة المتخصصة: إضاءة متخصصة تتطلب خط ضيق وسطوع عالي
  4. الاتصالات البصرية: قد تطبق على أنظمة الاتصالات بالضوء المرئي
  5. الليزرات: توفير أساس تقني للليزرات الدقيقة

المراجع

تستشهد الورقة بـ 36 مرجعًا ذا صلة، تغطي بشكل أساسي:

  • تطور تكنولوجيا Micro-LED المعتمدة على GaN
  • أبحاث LED التجويف الرنيني والليزرات
  • تحضير وتطبيق هياكل GaN المسامية
  • نظرية البصريات الدقيقة وأنماط الرنين

التقييم الشامل: هذه ورقة بحثية عالية الجودة في الفيزياء التطبيقية، تقترح مفهومًا مبتكرًا للطبقة المسامية الواحدة لتحسين أداء Micro-LED، مع تصميم تجريبي معقول ونتائج مثيرة للإعجاب. يجعل تحسن الأداء بمقدار 22 مرة والعملية المبسطة لها قيمة أكاديمية وآفاق تطبيقية مهمة. توفر الورقة حلاً عمليًا وفعالًا لحل مشكلة "تأثير الكفاءة-الحجم" في Micro-LED.