2025-11-22T02:40:15.793793

Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity

Sebghati, HosseinNia
In this paper, a robust nonlinear control scheme is designed for the motion control of a class of piezo-actuated nano-positioning systems using frequency-domain analysis. The hysteresis, the nonlinearity in the piezoelectric material, degrades the precision in tracking references with high frequency contents and different travel ranges. The hysteresis compensation by the inverse model, as the state-of-the-art solution, is not reliable alone. Therefore, a control framework with robustness against the remaining nonlinearity is needed. It is shown that there is an unavoidable limitation in robust linear control design to improve the performance. A robust control methodology based on a complex-order element is established to relax the limitation. Then, a constant-in-gain-lead-in-phase (CgLp) reset controller is utilized to realize the complex-order control. The control design is based on the sinusoidal input describing function (SIDF) and the higher-order SIDF (HOSIDF) tools. A constrained optimization problem is provided to tune the control parameters. The achieved improvements by the CgLp control is validated by the simulation.
academic

تصميم التحكم الإعادة القوي لمحدد الموضع النانوي المُشغّل بالبيزو في وجود عدم الخطية الهستيريسية

المعلومات الأساسية

  • معرّف الورقة: 2510.09445
  • العنوان: Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity
  • المؤلفون: A. Sebghati, S. H. HosseinNia (جامعة ديلفت للتكنولوجيا)
  • التصنيف: eess.SY (الأنظمة والتحكم)، cs.SY (الأنظمة والتحكم)
  • تاريخ النشر: 10 أكتوبر 2025 (نسخة أولية على arXiv)
  • رابط الورقة: https://arxiv.org/abs/2510.09445

الملخص

تتناول هذه الورقة تصميم مخطط تحكم غير خطي قوي لفئة من أنظمة محددات الموضع النانوية المُشغّلة بالبيزو باستخدام طرق التحليل في المجال الترددي. تؤدي عدم الخطية الهستيريسية في المواد البيزوكهربائية إلى تقليل دقة المتابعة للمحتوى عالي التردد والإشارات المرجعية في نطاقات حركة مختلفة. بما أن طرق تعويض الهستيريسية بالنموذج العكسي الموجودة حالياً غير موثوقة عند استخدامها بمفردها، فإن هناك حاجة إلى إطار عمل تحكم يتمتع بقوة تجاه عدم الخطية المتبقية. تُظهر الدراسة أن تصميم التحكم الخطي القوي يواجه قيوداً حتمية من حيث تحسين الأداء. تقدم هذه الورقة طريقة تحكم قوية تعتمد على عناصر الرتبة المعقدة لتخفيف هذا القيد، ثم تستخدم متحكم إعادة الطور الرائد ذو الكسب الثابت (CgLp) لتحقيق التحكم بالرتبة المعقدة. يعتمد تصميم التحكم على أدوات دالة الوصف الجيبي للإدخال (SIDF) ودالة الوصف الجيبي من الرتبة الأعلى (HOSIDF)، ويوفر مشاكل تحسين مقيدة لضبط معاملات التحكم.

خلفية البحث والدافع

تعريف المشكلة

تلعب محددات الموضع النانوية المُشغّلة بالبيزو دوراً مهماً في الآلات عالية الدقة، وتتطلب متابعة دقيقة لمسارات دورية عالية السرعة بنطاقات سعة واسعة. ومع ذلك، فإن خصائص الهستيريسية المتأصلة في المواد البيزوكهربائية تؤثر بشكل كبير على أداء النظام:

  1. مشكلة عدم الخطية الهستيريسية: تتجلى خصائص الهستيريسية في المواد البيزوكهربائية كعدم يقين في الكسب المباشر، حيث تُظهر القياسات التجريبية تغيراً في الكسب المباشر يصل إلى 215%
  2. قيود طرق التعويض الموجودة: تفتقر طرق التعويض بالنموذج العكسي التقليدية إلى القدرة على إزالة تأثيرات الهستيريسية بالكامل بسبب حساسيتها لدقة معاملات النموذج
  3. القيود المتأصلة في التحكم الخطي: بسبب تأثير حوض الماء وعلاقة كسب-طور بود، يواجه التحكم الخطي القوي مقايضات حتمية في تحسين الأداء

دافع البحث

  • الطلب المتزايد من التطبيقات عالية الدقة على عرض نطاق أوسع ودقة أعلى
  • الحاجة إلى تطوير أنظمة تحكم حركة تتمتع بقوة تجاه عدم الخطية الهستيريسية المتبقية
  • تجاوز قيود المقايضة بين القوة وعرض النطاق في التحكم الخطي التقليدي

المساهمات الأساسية

  1. المساهمة النظرية: إنشاء إطار عمل نظري للتحكم القوي يعتمد على عناصر الرتبة المعقدة، مع إثبات قدرته على تجاوز القيود المتأصلة في التحكم الخطي
  2. الابتكار في الطريقة: اقتراح طريقة جديدة لتحقيق التحكم بالرتبة المعقدة باستخدام متحكم إعادة CgLp
  3. أدوات التصميم: تطوير طريقة تصميم في المجال الترددي تعتمد على SIDF و HOSIDF واستراتيجية تحسين مقيدة لضبط المعاملات
  4. تحسين الأداء: تحقيق تحسن في عرض النطاق بحوالي 20% مع الحفاظ على القوة وتحسن ملحوظ في الدقة

شرح الطريقة

تعريف المهمة

تصميم متحكم قوي لنظام محدد موضع نانوي بيزوكهربائي يتمتع بعدم يقين في الكسب المباشر، حيث:

  • الإدخال: إشارة الموضع المرجعي
  • الإخراج: الموضع الفعلي
  • شروط القيد: هامش الطور φ ∈ φₘ, φₘ، عدم يقين الكسب المباشر κ ∈ 1, κ̄
  • الهدف: تعظيم عرض النطاق القوي مع ضمان دقة المتابعة واستقرار النظام

نمذجة النظام

يستخدم محدد الموضع البيزوكهربائي نموذجاً خطياً غير مؤكد:

P(jω, κ) = Pₑ(jω) · Pₘ(jω, κ)
Pₘ(jω, κ) = κ · Pₘ(jω)

حيث:

  • Pₑ(jω) = Kₑ/(jω/ωₑ + 1) هو الديناميكا الكهربائية
  • Pₘ(jω) = Kₘ/((jω/ωₘ)² + 2ξₘ/ωₘ·jω + 1) هو الديناميكا الميكانيكية
  • κ هو معامل عدم يقين الكسب المباشر

نظرية التحكم بالرتبة المعقدة

الأساس النظري

بالنسبة للأنظمة الخطية ذات عدم يقين الكسب المباشر، تقترح الورقة عناصر تحكم بالرتبة المعقدة:

C̃(jω) = e^(j(1-γ̃)/2 · arctan(ω/ω̃ᵣ))

حيث γ̃ ∈ -1,+1، و ω̃ᵣ هو تردد الانقلاب.

النظرية 1 الاستنتاج الرئيسي: من خلال إضافة عنصر رتبة معقدة مثالي على أساس تحكم خطي قوي معين، يمكن دائماً تحقيق عرض نطاق قوي أعلى دون الإضرار بخصائص الكسب في الحلقة المفتوحة والقوة.

تحقيق متحكم إعادة CgLp

هيكل المتحكم

يتكون متحكم CgLp من عنصر إعادة من الرتبة الأولى (FORE) ومرشح طور رائد من الرتبة الأولى متسلسلة:

  • الديناميكا الخطية الأساسية لـ FORE: Rᵦₗ = 1/(jω/ωᵣ + 1)
  • مرشح الطور الرائد: Cₗ(jω) = (jω/αωᵣ + 1)/(jω/ωf + 1)

تحليل SIDF

دالة الوصف الجيبي للإدخال لمتحكم CgLp هي:

C₁(jω) = R₁(jω) · Cₗ(jω)
R₁(jω) = 1/(jω/ωᵣ + 1) · (1 + j·2ω²(1-γ)(1+e^(-π·ω/ωᵣ))/(π(1+γe^(-π·ωᵣ/ω))(ω²+ωᵣ²)))

استراتيجية تحسين المعاملات

استخدام طريقة التحسين المقيد لضبط معاملات CgLp:

max f_c(1)
γ,fᵣ,ff

subject to: ∠L₁(jωc) ∈ [-180° + φₘ, -180° + φₘ]
           γ ∈ [γₘ, 1], fᵣ > ν·ff, ff < fₘ

الإعداد التجريبي

منصة التجربة

  • الجهاز: منصة P-621.1CD PIHera أحادية الاتجاه، مزودة بمشغّل بيزوكهربائي ومستشعر سعوي
  • نطاق الحركة: -10, 120 μm
  • الدقة: 0.2 nm
  • المضخم: وحدة E712 الرقمية، نطاق الإدخال -3, 13.5 V، نطاق الإخراج -30, 135 V

معاملات النظام

معاملات النظام المحددة تجريبياً:

  • الديناميكا الكهربائية: Kₑ = 10, fₑ = 935 Hz
  • الديناميكا الميكانيكية: Kₘ = 0.4986 μm/V, fₘ = 747 Hz, ξₘ = 0.0089
  • عدم اليقين: κ = 1.6165 (تغيير في الكسب المباشر بنسبة 62%)

مؤشرات التقييم

  • مؤشرات عرض النطاق: تردد الانقطاع fc والتردد الانقطاع المتوسط f̄c
  • مؤشرات القوة: هامش الطور φ ∈ 60°, 71°
  • مؤشرات الدقة: معيار دالة الحساسية التكميلية ±1 dB
  • الأداء في المجال الزمني: وقت الصعود، الإفراط في الارتفاع، تكامل الخطأ المطلق (IAE)

طرق المقارنة

  1. التحكم الخطي القوي: مخطط خطي يعتمد على متحكم PI من الرتبة الثانية ومرشح الفخ
  2. التحكم الخطي غير القوي: متحكم خطي لا يأخذ عدم اليقين في الاعتبار

النتائج التجريبية

النتائج الرئيسية

الأداء في المجال الترددي

  • تحسن عرض النطاق:
    • الحالة الاسمية: fc*(1) من 220 Hz إلى 269 Hz (تحسن بنسبة 22.3%)
    • أسوأ حالة: fc*(κ) من 376 Hz إلى 441 Hz (تحسن بنسبة 17.3%)
    • متوسط تحسن عرض النطاق حوالي 20%
  • الحفاظ على القوة: يبقى هامش الطور في النطاق 60°, 71° عبر نطاق عدم اليقين بالكامل

تحسن خصائص الحلقة المفتوحة

من خلال متحكم CgLp، تم رفع طور الحلقة المفتوحة بنجاح بالقرب من fc*(κ) مع الحفاظ على كسب الحلقة المفتوحة دون تغيير تقريباً، مما يتحقق من التوقعات النظرية للتحكم بالرتبة المعقدة.

التحقق في المجال الزمني

استجابة الخطوة

  • وقت الصعود: تحسن ملحوظ مقارنة بالتحكم الخطي القوي
  • الإفراط في الارتفاع: يبقى في النطاق 10%-13%، بينما التحكم الخطي غير القوي يتراوح بين 10%-18%
  • القوة: الحفاظ على أداء مستقرة عبر نطاق عدم يقين الكسب المباشر بالكامل

أداء المتابعة الجيبية

باستخدام مؤشر IAE، يُظهر متحكم CgLp تحسناً ملحوظاً في الدقة مقارنة بطرق التحكم الخطي.

التحقق من HOSIDF

يُظهر تحليل التوافقيات من الرتبة الأعلى:

  • |S∞(κ)| ≈ |S₁(κ)|, |T∞(κ)| ≈ |T₁(κ)|
  • يتحقق من فعالية تحليل SIDF، حيث تأثير التوافقيات من الرتبة الأعلى صغير بشكل كافٍ

تجارب الاستئصال

من خلال المقارنة مع مخططات تحكم مختلفة، تم التحقق من:

  1. ضرورة عناصر الرتبة المعقدة
  2. فعالية تحقيق CgLp
  3. معقولية استراتيجية تحسين المعاملات

الأعمال ذات الصلة

التحكم في الأنظمة البيزوكهربائية

  • الطرق التقليدية: تعويض الهستيريسية بناءً على النموذج العكسي، لكن توجد مشاكل في تعقيد النموذج وحساسية المعاملات
  • التحكم الخطي: طرق مثل التحكم بالتخميد المتساوي توفر قوة من خلال طور رائد، لكن توجد مقايضات بين عرض النطاق والقوة

نظرية التحكم بالإعادة

  • متكامل Clegg: مفهوم تحكم غير خطي مقترح عام 1958
  • أدوات SIDF/HOSIDF: تمكن التحكم بالإعادة من التصميم والتحليل في المجال الترددي
  • التحكم بـ CgLp: التطبيقات الحديثة في أنظمة الحركة الدقيقة

تحديد موضع المساهمة في هذه الورقة

تجمع هذه الورقة لأول مرة بين نظرية التحكم بالرتبة المعقدة والتحكم بالإعادة CgLp، مما يوفر حلاً يتجاوز قيود التحكم الخطي لأنظمة محددات الموضع النانوية البيزوكهربائية.

الخلاصة والمناقشة

الاستنتاجات الرئيسية

  1. الاختراق النظري: إثبات أن التحكم بالرتبة المعقدة يمكنه تجاوز القيود المتأصلة في التحكم الخطي من حيث مقايضة القوة-عرض النطاق
  2. الطريقة العملية: متحكم إعادة CgLp ينجح في تحقيق المزايا النظرية للتحكم بالرتبة المعقدة
  3. تحسن الأداء: تحقيق تحسن في عرض النطاق بنسبة 20% مع الحفاظ على القوة وتحسن ملحوظ في الدقة

القيود

  1. التحقق التجريبي: حالياً تم إجراء التحقق بالمحاكاة فقط، مع نقص التجارب على الأجهزة الفعلية
  2. اعتبار الضوضاء: على الرغم من ذكر مشاكل الضوضاء، لم يتم إجراء تحليل تفصيلي لقوة الضوضاء
  3. التعقيد الحسابي: لم يتم مناقشة تكاليف الحساب لتحليل HOSIDF والتحسين المقيد بالتفصيل

الاتجاهات المستقبلية

تحدد الورقة بوضوح الاتجاهات البحثية التالية:

  1. دراسة الاستجابة الزمنية لإشارة التحكم وتصميم مرشحات إضافية
  2. التحقق التجريبي
  3. دمج التحكم بالتغذية الأمامية
  4. دراسة مشاكل قمع الاضطرابات

التقييم المتعمق

المميزات

  1. الابتكار النظري: توفر نظرية التحكم بالرتبة المعقدة منظوراً جديداً لتجاوز قيود التحكم الخطي
  2. عملية الطريقة: مخطط تحقيق CgLp يتمتع بجدوى هندسية جيدة
  3. اكتمال التحليل: طريقة التحليل في المجال الترددي التي تجمع بين SIDF و HOSIDF صارمة وشاملة
  4. إقناع النتائج: تُظهر نتائج المحاكاة بوضوح فعالية الطريقة

أوجه القصور

  1. قيود التجربة: نقص التحقق من التجارب على الأجهزة، حيث دقة نموذج المحاكاة تحتاج إلى التحقق
  2. تحليل حساسية المعاملات: تحليل حساسية ضبط معاملات CgLp غير كافٍ
  3. نطاق التطبيق: لم يتم مناقشة قابلية تطبيق الطريقة على أنواع أخرى من عدم الخطية

التأثير

  1. المساهمة الأكاديمية: توفير أدوات نظرية وطرق تصميم جديدة لمجال التحكم الدقيق
  2. القيمة الهندسية: ذات أهمية تطبيقية مهمة للتصنيع عالي الدقة والتكنولوجيا النانوية
  3. قابلية الاستنساخ: توفر الورقة معاملات وعملية تصميم مفصلة، مما يسهل الاستنساخ

السيناريوهات المطبقة

  • أنظمة محددات الموضع النانوية المُشغّلة بالبيزو
  • أنظمة التحكم في الحركة الدقيقة ذات عدم يقين الكسب المباشر
  • تطبيقات المتابعة التي تتطلب عرض نطاق عالي ودقة عالية
  • معدات عالية الدقة مثل تصنيع أشباه الموصلات ومجاهر القوة الذرية

المراجع

تستشهد الورقة بأدبيات مهمة في نظرية التحكم وأنظمة الحركة الدقيقة، بما في ذلك:

  • Clegg (1958): العمل الرائد في التحكم بالإعادة
  • Saikumar et al. (2019, 2021): الأساس النظري للتحكم بـ CgLp
  • Zhang et al. (2024): التطورات الحديثة في أدوات تحليل SIDF/HOSIDF

التقييم الشامل: هذه ورقة عالية الجودة ذات ابتكارات مهمة في النظرية والطريقة، توفر منظوراً جديداً لحل مشاكل التحكم في أنظمة محددات الموضع النانوية البيزوكهربائية. على الرغم من أن التحقق التجريبي يحتاج إلى تعزيز، فإن مساهماتها النظرية وابتكاراتها في الطريقة تتمتع بقيمة أكاديمية وهندسية مهمة.