2025-11-21T14:40:15.746352

Partial State-Feedback Reduced-Order Switching Predictive Models for Next-Generation Optical Lithography Systems

Subramanian, Moest, Paarhuis
This paper presents a partial state-feedback reduced-order switching predictive model designed to support the next-generation lithography roadmap. The proposed approach addresses the trade-off between increasing the number of measurements to improve overlay accuracy and the resulting challenges, including higher measurement noise, reduced throughput and overlay/placement errors under uncertain operating conditions.. By minimizing (die-) placement errors and reducing unnecessary measurements, the method enhances system performance and throughput. This solution employs a streamlined model with adaptive switching logic to manage time-varying uncertainties induced by fluctuating operating conditions. The methodology is implemented on a state-of-the-art lithographic scanner to mitigate the spatial-temporal dynamics of reticle heating, serving as a representative industrial application. Reticle heating, which worsens with increased throughput, introduces spatial-temporal distortions that directly degrade die placement accuracy. Experimental results demonstrate significant improvements: placement errors are reduced by a factor of $2-3$x, and throughput is improved by $0.3$seconds per wafer. Importantly, the method accounts for the fact that increased throughput can exacerbate reticle heating, which directly impacts overlay performance. By actively compensating for these thermomechanical effects, the proposed approach ensures that overlay accuracy is maintained or improved -- even under increased throughput conditions -- highlighting its potential for broader application in advanced lithographic systems, particularly in thermal and vibration control.
academic

Partial State-Feedback Reduced-Order Switching Predictive Models for Next-Generation Optical Lithography Systems

基本信息

  • 论文ID: 2402.13928
  • 标题: Partial State-Feedback Reduced-Order Switching Predictive Models for Next-Generation Optical Lithography Systems
  • 作者: Raaja Ganapathy Subramanian (Eindhoven University of Technology & ASML NV), Barry Moest (ASML NV), Bart Paarhuis (ASML NV)
  • 分类: math.OC (数学优化与控制)
  • 发表时间: 预印本提交至Control Engineering Practice,2025年10月15日
  • 论文链接: https://arxiv.org/abs/2402.13928

摘要

本文提出了一种部分状态反馈降阶切换预测模型,旨在支持下一代光刻技术路线图。该方法解决了增加测量数量以提高套刻精度与由此带来的挑战(包括更高的测量噪声、降低的产能以及不确定操作条件下的套刻/放置误差)之间的权衡。通过最小化芯片放置误差和减少不必要的测量,该方法提高了系统性能和产能。该解决方案采用具有自适应切换逻辑的精简模型来管理由波动操作条件引起的时变不确定性。该方法在最先进的光刻扫描仪上实现,以缓解掩模版加热的时空动态,作为代表性的工业应用。掩模版加热随产能增加而恶化,引入时空失真,直接降低芯片放置精度。实验结果显示显著改进:放置误差减少2-3倍,产能每片晶圆提高0.3秒。

研究背景与动机

问题背景

  1. 光刻技术的重要性:光刻是半导体制造过程中最关键的技术,决定了芯片元件的制造尺度,直接影响集成电路的生产质量。
  2. 技术挑战
    • 最小特征尺寸从3nm到500nm,要求亚纳米级精度
    • 高产能需求与高精度要求之间的矛盾
    • 时空动态行为对系统性能的影响
  3. 现有方法局限性
    • 仿真假设与实时系统行为不匹配
    • 对不确定性和外部干扰敏感
    • 难以确保实时操作中的全局闭环稳定性
    • 物理建模精度与模型简洁性之间的权衡
    • 模块化、可扩展性和实现成本的限制

研究动机

本文旨在弥合理论控制概念与光刻系统实际实现之间的差距,在保持产能和套刻性能的同时,提出一种部分状态反馈、降阶切换预测控制方法。

核心贡献

  1. 降阶模型设计:提出使用从标称大规模系统动力学(有限元模型)导出的降阶线性时不变模型,通过选择性解耦关键时空动态,确保计算效率而不损害模型保真度。
  2. 自适应切换机制:引入切换逻辑机制,适应物理效应引起的不确定性,提高鲁棒性。
  3. 稳定性保证:证明所提控制策略确保全局一致最终有界渐近稳定性(GUAS),由非线性系统小增益定理支持。
  4. 工业验证:在最先进的光刻系统上实现并验证,专注于缓解掩模版加热引起的时空失真。

方法详解

任务定义

输入

  • 系统状态 xRnx \in \mathbb{R}^n(预测的完整掩模版变形)
  • 外源输入 ueRmu_e \in \mathbb{R}^m(热源)
  • 稀疏传感器数据 yRqy \in \mathbb{R}^q

输出

  • 与放置误差相关的输出 zRpz \in \mathbb{R}^p

约束条件

  1. 预测的错位保持有界:zε\|z\| \leq \varepsilon(亚纳米级)
  2. 减少测量时间,选择性跳过某些标记集的测量

模型架构

状态空间表述

系统的状态空间表述为:

\dot{x}_i = A_i x_i + B_i u_e + B_f u_f \\ u_f = \Gamma(.)y \\ u_i = C_i x_i \end{cases}$$ 其中: - $x_i$:内部变形状态 - $u_e$:外部加热轮廓 - $u_f$:来自对准传感器的反馈信号 - $\Gamma(.)$:将稀疏反馈测量转换为适当密集布局的函数 - $C_i$:从$x_i$到$u_i$的输出映射 #### 四步设计方法 **Step 1 - 调度器集成与闭环反馈**: 调度器$\Phi$定义为: $$\Phi = \{M_i | I \in R_i, \forall i \in \mathbb{Z}\}$$ 其中$I \in \{y, u_e, u_\Delta\}$表示历史信息集。 **Step 2 - 标称降阶模型**: 使用Krylov矩矩匹配方法进行参数化降阶: $$M_i := \begin{cases} \dot{x}_i = A_i x_i + B_i u_e \\ u_i = C_i x_i \end{cases}$$ **Step 3 - 部分反馈集成**: 通过显式引入反馈输入通道$B_f$,将部分状态反馈集成到降阶模型中。 **Step 4 - 不确定性处理**: 使用中心化方法将模型表示为: $$\hat{P}(\Phi|I) = M_n + M_\Delta = M_n + \Delta_m(\Phi|I)$$ ### 技术创新点 1. **历史信息驱动的切换策略**:不同于仅基于反馈信号幅值的变增益控制,本方法使用历史数据$I$指导模型选择。 2. **物理可解释性保持**:通过Krylov矩匹配方法保持降阶模型的原始物理解释。 3. **Lur'e型系统框架**:将系统转换为Lur'e型系统,结合线性动态部分和非线性/不确定部分。 ## 实验设置 ### 实验平台 - **设备**:ASML Twinscan最先进光刻扫描仪 - **应用场景**:掩模版加热缓解 - **测试条件**:2个批次,每批次16片晶圆 ### 评价指标 1. **放置误差**:x-y方向的套刻放置误差 2. **产能提升**:每片晶圆的时间节省 3. **稳定性**:不同操作条件下的性能一致性 ### 对比方法 1. **传统方法**:基于传感器的当前标准方法 2. **线性方法**:仅使用标称模型$M_n$的线性版本 ### 实现细节 - 使用3个矩描述标称和不确定掩模版加热模型 - 跳过边缘对准标记,仅使用顶部-底部对准标记 - 每次测量节省约0.3秒/晶圆 ## 实验结果 ### 主要结果 1. **放置误差改善**: - 相比传统方法,x-y方向放置误差减少2-3倍 - 前2片晶圆的x-y方向性能提升2倍 - 在标称和不确定条件下都保持稳定和改进的精度 2. **产能提升**: - 每片晶圆节省0.3秒 - 每小时可增加多达7片晶圆的产能 3. **鲁棒性验证**: - 线性方法在不确定条件下性能下降3倍 - 所提方法在不同图像区域下保持一致性能 ### 不同图像区域验证 在较小曝光区域的实验中: - 所提方法在标称和不确定条件下性能提升3倍 - 线性方法性能下降2-3倍 - 验证了方法的鲁棒性和适应性 ### 稳定性分析 通过小增益定理证明了全局一致最终有界渐近稳定性(GUAS),满足: - 掩模版加热物理特性确保有界动态 - 标称模型和不确定模型都满足稳定性条件 - 平衡点$x^*$(其中$\|z\| = 0$)是GUAS ## 相关工作 ### 光刻系统控制 - 传统线性预测控制方法受"水床效应"限制 - 非线性方法包括变增益控制、滤波器和切换控制器 - 现有方法往往忽略空间-时间动态 ### 模型降阶技术 - 平衡截断、Krylov子空间方法、本征正交分解(POD) - 现有方法虽然降低维度但失去物理可解释性 - 本文方法保持物理解释的同时实现计算效率 ### 切换系统控制 - 基于历史信息的切换策略 - 事件驱动的控制方法 - Lur'e系统稳定性理论 ## 结论与讨论 ### 主要结论 1. 成功开发了部分状态反馈降阶切换预测模型 2. 实现了精度和产能的同时提升 3. 验证了在不确定操作条件下的鲁棒性 4. 提供了理论稳定性保证 ### 局限性 1. 方法的适用性依赖于特定的物理系统特性 2. 切换逻辑的设计需要领域专业知识 3. 模型降阶可能在某些极端条件下影响精度 ### 未来方向 1. **统一预测框架**:扩展到整个系统的空间和时间变化 2. **智能测量优化**:集成预测、学习和智能以减少不必要的测量 3. **实用假设验证**:缩小理论概念与实际应用之间的差距 ## 深度评价 ### 优点 1. **工业相关性强**:直接解决半导体制造中的实际问题 2. **理论基础扎实**:提供严格的稳定性分析 3. **实验验证充分**:在真实工业系统上验证效果 4. **方法创新性**:结合降阶建模、切换控制和部分反馈的新颖方法 5. **实用价值高**:同时提升精度和产能,具有直接经济价值 ### 不足 1. **应用局限性**:主要针对掩模版加热问题,其他应用的泛化性有待验证 2. **复杂性管理**:切换逻辑的设计和调优可能需要大量专业知识 3. **对比实验**:缺乏与其他先进控制方法的深入对比 4. **长期稳定性**:未充分讨论长期运行中的性能退化问题 ### 影响力 1. **学术价值**:为空间-时间系统控制提供新的理论框架 2. **工业价值**:直接应用于价值数十亿美元的半导体设备 3. **技术推广**:方法可扩展到其他精密制造系统 4. **可复现性**:提供了清晰的实现步骤和理论基础 ### 适用场景 1. **精密制造系统**:需要亚纳米级精度的制造过程 2. **热管理应用**:涉及热变形控制的系统 3. **高产能要求**:需要在保持精度的同时提高效率的场景 4. **不确定环境**:操作条件变化频繁的工业系统 ## 参考文献 论文引用了45篇相关文献,涵盖了控制理论、光刻技术、模型降阶和系统识别等多个领域的重要工作,为研究提供了坚实的理论基础和技术背景。 --- **总体评价**:这是一篇高质量的工程应用论文,成功将先进控制理论应用于实际工业问题,在理论严谨性和实用价值之间取得了良好平衡。论文的贡献不仅在于技术创新,更在于为半导体制造这一关键产业提供了切实可行的解决方案。