2025-11-12T03:58:09.663372

Enhanced optical performance of GaN Micro-light-emitting diodes with a single porous layer

Yan, Zhang, Li et al.
High-efficiency micro-light-emitting diodes (Micro-LEDs) are key devices for next-generation display technology. However, when the mesa size is reduced to around tens of micrometers or less, the luminous efficiency is constrained by the "efficiency-on-size effect". This work details the fabrication of gallium nitride (GaN) based Micro-LEDs with various mesa shapes and a single porous layer under the active region. A modified green LED epitaxial structure with different doped n-GaN layers combined with electrochemical etching created the porous layer. The strong light confinement achieved by the porous layer and the polygonal mesa greatly enhances spontaneous emission. The luminous intensity of the Micro-LEDs with the porous layer is approximately 22 times greater than those Micro-LEDs without the porous layer. A significant reduction in minimum full width at half maximum (FWHM) was observed in polygonal devices, suggesting a change in the luminescence mechanism. The influence of varying device geometry on emission performance was investigated. Experimental results reveal that, unlike circular porous Micro-LEDs, square and hexagonal porous Micro-LEDs exhibit more pronounced resonant emission, which provides a new technological approach for the further development of high-performance Micro-LEDs and lasers.
academic

Enhanced optical performance of GaN Micro-light-emitting diodes with a single porous layer

基本信息

  • 论文ID: 2501.00455
  • 标题: Enhanced optical performance of GaN Micro-light-emitting diodes with a single porous layer
  • 作者: Ziwen Yan, Xianfei Zhang, Yuyin Li, Zili Xie, Xiangqian Xiu, Dunjun Chen, Ping Han, Yi Shi, Rong Zhang, Youdou Zheng, and Peng Chen
  • 机构: 南京大学电子科学与工程学院，江苏省先进光子电子材料重点实验室
  • 分类: physics.optics physics.app-ph
  • 论文链接: https://arxiv.org/abs/2501.00455

摘要

高效微型发光二极管(Micro-LEDs)是下一代显示技术的关键器件。然而，当台面尺寸缩小到几十微米或更小时，发光效率受到"效率-尺寸效应"的限制。本研究详细描述了基于氮化镓(GaN)的不同台面形状和活性区下方单一多孔层的Micro-LEDs制备。通过改进的绿光LED外延结构与不同掺杂的n-GaN层结合电化学蚀刻创建多孔层。多孔层和多边形台面实现的强光限制显著增强了自发发射。带有多孔层的Micro-LEDs的发光强度比没有多孔层的器件高约22倍。在多边形器件中观察到最小半高全宽(FWHM)的显著减少，表明发光机制发生了变化。研究了不同器件几何形状对发射性能的影响。实验结果表明，与圆形多孔Micro-LEDs不同，方形和六边形多孔Micro-LEDs表现出更明显的共振发射。

研究背景与动机

问题识别

  1. "效率-尺寸效应"问题: 当Micro-LED尺寸缩小到几十微米或更小时，峰值效率显著下降
  2. 表面非辐射复合: 随着器件尺寸减小，表面积与体积比增加，导致侧表面的非辐射复合增加
  3. 现有解决方案的局限性: 传统的分布式布拉格反射器(DBRs)结构需要复杂的制备技术和精确的外延生长

研究重要性

  • Micro-LEDs是下一代显示技术的核心器件，在高分辨率显示、AR/VR和医疗领域需求增长
  • 对高亮度和窄线宽Micro-LED器件的需求不断增加
  • 解决小尺寸器件的效率问题对于实现高性能显示技术至关重要

现有方法局限性

  • DBRs结构制备复杂，需要精确的外延生长
  • 多层结构增加了制造难度和成本
  • 对纵向电流传导可能产生不利影响

核心贡献

  1. 提出了单一多孔层结构: 相比复杂的DBRs结构，单层多孔GaN层更易制备且有利于纵向电流传导
  2. 实现了显著的发光强度提升: 多孔Micro-LEDs的发光强度比传统器件高22倍
  3. 发现了形状依赖的共振效应: 方形和六边形多孔Micro-LEDs比圆形器件表现出更明显的共振发射
  4. 提供了完整的制备工艺: 详细描述了从外延生长到器件制备的完整流程
  5. 实现了窄线宽发射: 最小FWHM达到约5.9 nm，表明发光机制的改变

方法详解

任务定义

设计和制备具有单一多孔层的GaN基Micro-LEDs，通过光限制效应提升器件的发光性能，并研究不同几何形状对共振发射的影响。

器件结构设计

外延结构

  • 基底: (111)Si衬底
  • 缓冲层: AlN/AlGaN缓冲层
  • 导电层: 1 μm厚未掺杂GaN (u-GaN)
  • n型层:
    • 1 μm轻掺杂n-GaN (Si: 1.5×10¹⁸/cm³)
    • 1 μm重掺杂n-GaN (Si: 8.5×10¹⁸/cm³) - 转换为多孔层
  • 保护层: 100 nm u-GaN层
  • 有源区: 150 nm InGaN/GaN多量子阱(MQWs)
  • p型层: 100 nm厚p-GaN层

制备工艺流程

  1. 图案转移: 使用PECVD沉积SiO₂层进行图案转移
  2. 台面蚀刻: ICP蚀刻形成Micro-LED台面，蚀刻至轻掺杂n-GaN层
  3. 电化学蚀刻: 将重掺杂n-GaN层转换为多孔结构
  4. 钝化处理: 使用BOE溶液去除表面SiO₂，重新生长SiO₂钝化层
  5. 金属化: 沉积Cr/Al/Ni/Au多层金属作为p型和n型接触

技术创新点

单一多孔层设计

  • 有效折射率调节: 多孔层的有效折射率随孔径变化，从2.39降至1.87
  • 光限制机制: 增加活性区与周围介质的折射率差，增强光子在活性区的限制能力
  • 电流传导优化: 相比多层DBRs结构，单层设计有利于纵向电流传导

几何形状优化

  • 圆形: 主要支持边缘的回音壁模式(WGM)
  • 方形和六边形: 模式在整个器件中均匀分布，共振效果更明显

电阻分析模型

建立了多孔结构的有效电阻比模型：

rS = (S₀ - Shole) / S₀ = 1 - n·π·rhole²/π·r²
rR = 1/rS

其中n为孔数量，由器件几何尺寸和孔间距确定。

实验设置

器件参数

  • 器件形状: 圆形(直径60 μm)、方形(边长50 μm)、六边形(边长30 μm)
  • 多孔层参数: 孔径范围20-60 nm，间距可调
  • 测试温度: 室温

测试方法

  • 形貌观察: 光学显微镜
  • 电学特性: Keithley 2601A直流电源测量I-V特性
  • 光学特性: Renishaw inVia Reflex显微光致发光光谱系统测量EL光谱
  • 对比分析: 同一样品上制备多孔和常规器件进行直接对比

评价指标

  • 发光强度: 相同注入电流下的EL强度对比
  • 线宽: 半高全宽(FWHM)
  • 峰值波长: 随电流密度的变化
  • 电学性能: J-V特性曲线

实验结果

主要结果

电学性能

  • 导通性能良好: 所有器件表现出良好的导通电压和快速的电流密度上升
  • 电阻影响可控: 最大孔径(60 nm)时，有效电阻仅为常规器件的2倍，仍在可接受范围内
  • 电流传导: 多孔层不显著影响器件的电流传导能力

光学性能提升

  1. 发光强度大幅提升:
    • 圆形多孔Micro-LED: 2.64倍提升
    • 方形多孔Micro-LED: 4.86倍提升
    • 六边形多孔Micro-LED: 22倍提升
  2. 线宽显著减少:
    • 最小FWHM达到约5.9 nm
    • 多边形器件表现出明显的共振峰
  3. 发光机制变化:
    • 常规器件主要为自发发射
    • 多孔器件在510 nm处出现不同于自发发射的尖锐峰

形状依赖的共振效应

圆形器件

  • 主要表现为自发发射
  • 在510 nm处仅出现小的尖峰
  • 回音壁模式主要位于器件边缘，易受干法蚀刻损伤

方形器件

  • 随注入电流增加逐渐出现多个共振峰
  • 共振模式在整个器件中均匀分布
  • 拐点电流密度: 320 A/cm²

六边形器件

  • 在510 nm处显示尖锐峰，线宽逐渐变窄
  • 最明显的共振发射效果
  • 拐点电流密度: 213 A/cm²(最低)

峰值波长特性

  • 多孔器件: 峰值波长从535 nm蓝移至510 nm后保持稳定
  • 常规器件: 也表现出蓝移但伴随持续的小幅变化
  • 稳定性: 多孔器件在高电流下波长更稳定

相关工作

传统解决方案

  1. DBRs结构: 使用TiO₂/SiO₂或金属反射镜构建共振腔
  2. 多层多孔结构: 顶部和底部多孔GaN DBRs
  3. 混合结构: 多孔GaN与介质DBRs结合

本工作优势

  • 制备简单: 单层结构相比多层DBRs更易制备
  • 电导性好: 有利于纵向电流传导
  • 性能优异: 实现了更高的发光强度提升
  • 可调性强: 通过改变几何形状实现不同的共振特性

结论与讨论

主要结论

  1. 成功验证了单一多孔层概念: 证明单层多孔结构可以有效提升Micro-LED性能
  2. 实现了显著性能提升: 最高22倍的发光强度提升和5.9 nm的窄线宽
  3. 发现了形状依赖效应: 多边形器件比圆形器件表现出更强的共振效应
  4. 提供了实用的制备方法: 完整的工艺流程适合实际应用

物理机制

  • 光限制增强: 多孔层降低有效折射率，增强光子在活性区的限制
  • 共振腔效应: 单层多孔结构形成有效的光学共振腔
  • 模式分布优化: 几何形状影响共振模式的分布和光传播距离

局限性

  1. 电阻增加: 虽然可控，但多孔结构仍会增加器件电阻
  2. 制备复杂性: 需要精确控制电化学蚀刻过程
  3. 尺寸依赖: 效果可能与器件具体尺寸相关
  4. 长期稳定性: 多孔结构的长期稳定性需要进一步验证

未来方向

  1. 优化多孔结构: 进一步优化孔径、间距等参数
  2. 扩展应用: 应用到其他波长和器件尺寸
  3. 激光应用: 探索在激光器中的应用潜力
  4. 批量制备: 开发适合大规模生产的工艺

深度评价

优点

  1. 创新性强: 单一多孔层概念简化了传统DBRs方法
  2. 实验充分: 系统研究了不同形状和电流条件下的性能
  3. 理论支撑: 提供了有效折射率和电阻的理论分析
  4. 实用价值高: 工艺相对简单，适合实际应用
  5. 数据可信: 22倍的性能提升具有很强的说服力

不足

  1. 机理分析深度: 对共振模式的理论分析可以更深入
  2. 长期稳定性: 缺乏器件长期工作稳定性的数据
  3. 温度特性: 未研究不同温度下的性能表现
  4. 批量一致性: 缺乏大批量器件一致性的统计数据

影响力

  1. 学术价值: 为Micro-LED性能提升提供了新思路
  2. 产业意义: 为下一代显示技术提供了实用方案
  3. 技术推广: 相对简单的工艺有利于技术推广应用
  4. 启发意义: 可能启发更多基于多孔结构的光电器件研究

适用场景

  1. 高端显示: 高分辨率、高亮度显示应用
  2. AR/VR设备: 需要高性能小尺寸光源的应用
  3. 专业照明: 需要窄线宽、高亮度的专业照明
  4. 光通信: 可能应用于可见光通信系统
  5. 激光器: 为微型激光器提供技术基础

参考文献

论文引用了36篇相关文献，主要涵盖：

  • GaN基Micro-LED技术发展
  • 共振腔LED和激光器研究
  • 多孔GaN结构制备和应用
  • 微腔光学和共振模式理论

总体评价: 这是一篇高质量的应用物理研究论文，提出了创新的单一多孔层概念来提升Micro-LED性能，实验设计合理，结果令人印象深刻。22倍的性能提升和简化的制备工艺使其具有重要的学术价值和应用前景。论文为解决Micro-LED的"效率-尺寸效应"问题提供了一个实用且有效的解决方案。