2025-11-22T02:40:15.793793

Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity

Sebghati, HosseinNia
In this paper, a robust nonlinear control scheme is designed for the motion control of a class of piezo-actuated nano-positioning systems using frequency-domain analysis. The hysteresis, the nonlinearity in the piezoelectric material, degrades the precision in tracking references with high frequency contents and different travel ranges. The hysteresis compensation by the inverse model, as the state-of-the-art solution, is not reliable alone. Therefore, a control framework with robustness against the remaining nonlinearity is needed. It is shown that there is an unavoidable limitation in robust linear control design to improve the performance. A robust control methodology based on a complex-order element is established to relax the limitation. Then, a constant-in-gain-lead-in-phase (CgLp) reset controller is utilized to realize the complex-order control. The control design is based on the sinusoidal input describing function (SIDF) and the higher-order SIDF (HOSIDF) tools. A constrained optimization problem is provided to tune the control parameters. The achieved improvements by the CgLp control is validated by the simulation.
academic

Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity

基本信息

  • 论文ID: 2510.09445
  • 标题: Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity
  • 作者: A. Sebghati, S. H. HosseinNia (Delft University of Technology)
  • 分类: eess.SY (Systems and Control), cs.SY (Systems and Control)
  • 发表时间: 2025年10月10日 (arXiv预印本)
  • 论文链接: https://arxiv.org/abs/2510.09445

摘要

本文针对一类压电驱动纳米定位系统，采用频域分析方法设计了鲁棒非线性控制方案。压电材料中的迟滞非线性会降低高频内容和不同行程范围参考信号的跟踪精度。作为现有技术的逆模型迟滞补偿方法单独使用并不可靠，因此需要对剩余非线性具有鲁棒性的控制框架。研究表明，鲁棒线性控制设计在性能改进方面存在不可避免的限制。本文建立了基于复数阶元素的鲁棒控制方法来缓解这一限制，然后利用恒增益超前相位(CgLp)复位控制器实现复数阶控制。控制设计基于正弦输入描述函数(SIDF)和高阶SIDF(HOSIDF)工具，并提供约束优化问题来调整控制参数。

研究背景与动机

问题定义

压电驱动纳米定位器在高精密机器中发挥重要作用，需要精确跟踪具有宽幅度范围的高速周期轨迹。然而，压电材料固有的迟滞非线性严重影响了系统性能：

  1. 迟滞非线性问题：压电材料的迟滞特性表现为DC增益的不确定性，根据实验测量显示DC增益变化高达215%
  2. 现有补偿方法的局限性：传统的逆模型补偿方法由于对模型参数精度的敏感性，无法完全消除迟滞影响
  3. 线性控制的固有限制：由于水床效应和Bode增益-相位关系，鲁棒线性控制在改善性能方面存在不可避免的权衡

研究动机

  • 高精密应用对更宽带宽和更高精度的需求日益增长
  • 需要开发对剩余迟滞非线性具有鲁棒性的运动控制系统
  • 突破传统线性控制在鲁棒性与带宽之间的权衡限制

核心贡献

  1. 理论贡献：建立了基于复数阶元素的鲁棒控制理论框架，证明了其能够突破线性控制的固有限制
  2. 方法创新：提出了利用CgLp复位控制器实现复数阶控制的新方法
  3. 设计工具：开发了基于SIDF和HOSIDF的频域设计方法和约束优化调参策略
  4. 性能提升：在保持鲁棒性的前提下，实现了约20%的带宽提升和显著的精度改善

方法详解

任务定义

设计针对具有DC增益不确定性的压电纳米定位系统的鲁棒控制器，其中：

  • 输入：参考位置信号
  • 输出：实际位置
  • 约束条件：相位裕度φ ∈ φₘ, φₘ，DC增益不确定性κ ∈ 1, κ̄
  • 目标：最大化鲁棒带宽，同时保证跟踪精度和系统稳定性

系统建模

压电定位器采用不确定线性模型：

P(jω, κ) = Pₑ(jω) · Pₘ(jω, κ)
Pₘ(jω, κ) = κ · Pₘ(jω)

其中：

  • Pₑ(jω) = Kₑ/(jω/ωₑ + 1) 为电气动态
  • Pₘ(jω) = Kₘ/((jω/ωₘ)² + 2ξₘ/ωₘ·jω + 1) 为机械动态
  • κ为不确定DC增益参数

复数阶控制理论

理论基础

针对具有DC增益不确定性的线性系统，论文提出了复数阶控制元素：

C̃(jω) = e^(j(1-γ̃)/2 · arctan(ω/ω̃ᵣ))

其中γ̃ ∈ -1,+1，ω̃ᵣ为转折频率。

定理1关键结论：通过在给定鲁棒线性控制基础上添加理想复数阶元素，总能实现更高的鲁棒带宽而不损害开环增益特性和鲁棒性。

CgLp复位控制器实现

控制器结构

CgLp控制器由一阶复位元素(FORE)和一阶超前滤波器串联组成：

  • FORE基础线性动态：Rᵦₗ = 1/(jω/ωᵣ + 1)
  • 超前滤波器：Cₗ(jω) = (jω/αωᵣ + 1)/(jω/ωf + 1)

SIDF分析

CgLp控制器的正弦输入描述函数为：

C₁(jω) = R₁(jω) · Cₗ(jω)
R₁(jω) = 1/(jω/ωᵣ + 1) · (1 + j·2ω²(1-γ)(1+e^(-π·ω/ωᵣ))/(π(1+γe^(-π·ωᵣ/ω))(ω²+ωᵣ²)))

参数优化策略

采用约束优化方法调整CgLp参数：

max f_c(1)
γ,fᵣ,ff

subject to: ∠L₁(jωc) ∈ [-180° + φₘ, -180° + φₘ]
           γ ∈ [γₘ, 1], fᵣ > ν·ff, ff < fₘ

实验设置

实验平台

  • 设备：P-621.1CD PIHera单向平台，配备压电驱动器和电容传感器
  • 行程范围：-10, 120 μm
  • 分辨率：0.2 nm
  • 放大器：E712数字模块，输入范围-3, 13.5 V，输出范围-30, 135 V

系统参数

根据实验识别得到的系统参数：

  • 电气动态：Kₑ = 10, fₑ = 935 Hz
  • 机械动态：Kₘ = 0.4986 μm/V, fₘ = 747 Hz, ξₘ = 0.0089
  • 不确定性：κ = 1.6165 (62%的DC增益变化)

评价指标

  • 带宽指标：交叉频率fc和平均交叉频率f̄c
  • 鲁棒性指标：相位裕度φ ∈ 60°, 71°
  • 精度指标：互补灵敏度函数±1 dB准则
  • 时域性能：上升时间、超调量、绝对误差积分(IAE)

对比方法

  1. 鲁棒线性控制：基于二阶PI控制器和陷波滤波器的线性方案
  2. 非鲁棒线性控制：不考虑不确定性的线性控制器

实验结果

主要结果

频域性能

  • 带宽提升：
    • 标称情况：fc*(1) 从220 Hz提升到269 Hz (22.3%提升)
    • 最坏情况：fc*(κ) 从376 Hz提升到441 Hz (17.3%提升)
    • 平均带宽提升约20%
  • 鲁棒性保持：在整个不确定性范围内相位裕度保持在60°, 71°范围内

开环特性改善

通过CgLp控制器，在fc*(κ)附近成功提升了开环相位，同时保持开环增益几乎不变，验证了复数阶控制的理论预期。

时域验证

阶跃响应

  • 上升时间：相比鲁棒线性控制有显著改善
  • 超调量：保持在10%-13%范围内，而非鲁棒线性控制的超调量在10%-18%变化
  • 鲁棒性：在全DC增益不确定性范围内保持稳定性能

正弦跟踪性能

采用IAE指标评估，CgLp控制在精度方面相比线性控制方法有显著提升。

HOSIDF验证

高阶谐波分析表明：

  • |S∞(κ)| ≈ |S₁(κ)|, |T∞(κ)| ≈ |T₁(κ)|
  • 验证了SIDF分析的有效性，高阶谐波影响sufficiently小

消融实验

通过与不同控制方案的对比，验证了：

  1. 复数阶元素的必要性
  2. CgLp实现的有效性
  3. 参数优化策略的合理性

相关工作

压电系统控制

  • 传统方法：基于逆模型的迟滞补偿，但存在模型复杂度和参数敏感性问题
  • 线性控制：等阻尼控制等方法通过相位超前提供鲁棒性，但存在带宽-鲁棒性权衡

复位控制理论

  • Clegg积分器：1958年提出的非线性控制概念
  • SIDF/HOSIDF工具：使得复位控制能够在频域进行设计和分析
  • CgLp控制：近年来在精密运动系统中的应用

本文贡献定位

本文首次将复数阶控制理论与CgLp复位控制相结合，为压电纳米定位系统提供了突破线性控制限制的解决方案。

结论与讨论

主要结论

  1. 理论突破：证明了复数阶控制能够突破线性控制在鲁棒性-带宽权衡方面的固有限制
  2. 实用方法：CgLp复位控制器成功实现了复数阶控制的理论优势
  3. 性能提升：在保持鲁棒性的前提下实现了20%的带宽提升和显著的精度改善

局限性

  1. 实验验证：目前仅进行了仿真验证，缺乏实际硬件实验
  2. 噪声考虑：虽然提到了噪声问题，但未进行详细的噪声鲁棒性分析
  3. 计算复杂度：HOSIDF分析和约束优化的计算成本未详细讨论

未来方向

论文明确提出了以下研究方向：

  1. 控制信号时间响应的研究和额外滤波器设计
  2. 实验验证
  3. 前馈控制的集成
  4. 扰动抑制问题的研究

深度评价

优点

  1. 理论创新性：复数阶控制理论为突破线性控制限制提供了新思路
  2. 方法实用性：CgLp实现方案具有良好的工程可行性
  3. 分析完整性：结合SIDF和HOSIDF的频域分析方法严谨完整
  4. 结果说服力：仿真结果清晰展示了方法的有效性

不足

  1. 实验局限：缺乏硬件实验验证，仿真模型的准确性有待验证
  2. 参数敏感性：对CgLp参数调整的敏感性分析不够充分
  3. 适用范围：方法对其他类型非线性的适用性未讨论

影响力

  1. 学术贡献：为精密控制领域提供了新的理论工具和设计方法
  2. 工程价值：对高精密制造和纳米技术具有重要应用价值
  3. 可复现性：论文提供了详细的参数和设计流程，便于复现

适用场景

  • 压电驱动的纳米定位系统
  • 具有DC增益不确定性的精密运动控制系统
  • 需要高带宽和高精度的跟踪控制应用
  • 半导体制造、原子力显微镜等高精密设备

参考文献

论文引用了控制理论和精密运动系统的重要文献，包括：

  • Clegg (1958): 复位控制的开创性工作
  • Saikumar et al. (2019, 2021): CgLp控制的理论基础
  • Zhang et al. (2024): SIDF/HOSIDF分析工具的最新发展

总体评价：这是一篇在理论和方法上都有重要创新的高质量论文，为压电纳米定位系统的控制问题提供了新的解决思路。虽然在实验验证方面还有待加强，但其理论贡献和方法创新具有重要的学术和工程价值。