2025-11-21T14:40:15.746352

Partial State-Feedback Reduced-Order Switching Predictive Models for Next-Generation Optical Lithography Systems

Subramanian, Moest, Paarhuis
This paper presents a partial state-feedback reduced-order switching predictive model designed to support the next-generation lithography roadmap. The proposed approach addresses the trade-off between increasing the number of measurements to improve overlay accuracy and the resulting challenges, including higher measurement noise, reduced throughput and overlay/placement errors under uncertain operating conditions.. By minimizing (die-) placement errors and reducing unnecessary measurements, the method enhances system performance and throughput. This solution employs a streamlined model with adaptive switching logic to manage time-varying uncertainties induced by fluctuating operating conditions. The methodology is implemented on a state-of-the-art lithographic scanner to mitigate the spatial-temporal dynamics of reticle heating, serving as a representative industrial application. Reticle heating, which worsens with increased throughput, introduces spatial-temporal distortions that directly degrade die placement accuracy. Experimental results demonstrate significant improvements: placement errors are reduced by a factor of $2-3$x, and throughput is improved by $0.3$seconds per wafer. Importantly, the method accounts for the fact that increased throughput can exacerbate reticle heating, which directly impacts overlay performance. By actively compensating for these thermomechanical effects, the proposed approach ensures that overlay accuracy is maintained or improved -- even under increased throughput conditions -- highlighting its potential for broader application in advanced lithographic systems, particularly in thermal and vibration control.
academic

আংশিক অবস্থা-প্রতিক্রিয়া হ্রাসকৃত-ক্রম সুইচিং পূর্বাভাসমূলক মডেল পরবর্তী প্রজন্মের অপটিক্যাল লিথোগ্রাফি সিস্টেমের জন্য

মৌলিক তথ্য

  • পেপার আইডি: 2402.13928
  • শিরোনাম: আংশিক অবস্থা-প্রতিক্রিয়া হ্রাসকৃত-ক্রম সুইচিং পূর্বাভাসমূলক মডেল পরবর্তী প্রজন্মের অপটিক্যাল লিথোগ্রাফি সিস্টেমের জন্য
  • লেখক: রাজা গণপতি সুব্রমণিয়ান (আইনহোভেন প্রযুক্তি বিশ্ববিদ্যালয় এবং ASML NV), ব্যারি মোয়েস্ট (ASML NV), বার্ট পারহুইস (ASML NV)
  • শ্রেণীবিভাগ: math.OC (গণিত অপ্টিমাইজেশন এবং নিয়ন্ত্রণ)
  • প্রকাশনার সময়: নিয়ন্ত্রণ প্রকৌশল অনুশীলনে প্রাক-প্রিন্ট জমা, ২০২৫ সালের ১৫ অক্টোবর
  • পেপার লিঙ্ক: https://arxiv.org/abs/2402.13928

সারসংক্ষেপ

এই পেপারটি একটি আংশিক অবস্থা-প্রতিক্রিয়া হ্রাসকৃত-ক্রম সুইচিং পূর্বাভাসমূলক মডেল প্রস্তাব করে যা পরবর্তী প্রজন্মের লিথোগ্রাফি প্রযুক্তি রোডম্যাপকে সমর্থন করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। এই পদ্ধতিটি পরিমাপের সংখ্যা বৃদ্ধি করে সারিবদ্ধতার নির্ভুলতা উন্নত করার এবং এর ফলে উদ্ভূত চ্যালেঞ্জগুলির মধ্যে ভারসাম্য সমাধান করে - যার মধ্যে রয়েছে উচ্চতর পরিমাপ শব্দ, হ্রাসকৃত উৎপাদনশীলতা এবং অনিশ্চিত অপারেটিং অবস্থার অধীনে সারিবদ্ধতা/স্থাপনা ত্রুটি। চিপ স্থাপনা ত্রুটি কমিয়ে এবং অপ্রয়োজনীয় পরিমাপ হ্রাস করে, এই পদ্ধতিটি সিস্টেমের কর্মক্ষমতা এবং উৎপাদনশীলতা উন্নত করে। সমাধানটি অভিযোজিত সুইচিং যুক্তি সহ সুবিন্যস্ত মডেল ব্যবহার করে যা ওঠানামা করা অপারেটিং অবস্থার কারণে সময়-পরিবর্তনশীল অনিশ্চয়তা পরিচালনা করে। এই পদ্ধতিটি অত্যাধুনিক লিথোগ্রাফি স্ক্যানারে প্রয়োগ করা হয় মুখোশ প্লেট হিটিংয়ের স্থানিক-সময়গত গতিশীলতা প্রশমিত করার জন্য, একটি প্রতিনিধিত্বমূলক শিল্প প্রয়োগ হিসাবে। মুখোশ প্লেট হিটিং উৎপাদনশীলতা বৃদ্ধির সাথে সাথে খারাপ হয়, স্থানিক-সময়গত বিকৃতি প্রবর্তন করে যা সরাসরি চিপ স্থাপনার নির্ভুলতা হ্রাস করে। পরীক্ষামূলক ফলাফলগুলি উল্লেখযোগ্য উন্নতি প্রদর্শন করে: স্থাপনা ত্রুটি ২-৩ গুণ হ্রাস পায়, প্রতি ওয়েফার উৎপাদনশীলতা ০.৩ সেকেন্ড বৃদ্ধি পায়।

গবেষণা পটভূমি এবং প্রেরণা

সমস্যার পটভূমি

১. লিথোগ্রাফি প্রযুক্তির গুরুত্ব: লিথোগ্রাফি অর্ধপরিবাহী উৎপাদন প্রক্রিয়ার সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ প্রযুক্তি, যা চিপ উপাদানগুলির উৎপাদন স্কেল নির্ধারণ করে এবং একীভূত সার্কিটের উৎপাদন গুণমানকে সরাসরি প্রভাবিত করে।

२. প্রযুক্তিগত চ্যালেঞ্জ:

  • ন্যূনতম বৈশিষ্ট্য আকার ৩ ন্যানোমিটার থেকে ৫০০ ন্যানোমিটার, সাব-ন্যানোমিটার নির্ভুলতা প্রয়োজন
  • উচ্চ উৎপাদনশীলতার চাহিদা এবং উচ্চ নির্ভুলতার প্রয়োজনীয়তার মধ্যে দ্বন্দ্ব
  • স্থানিক-সময়গত গতিশীল আচরণ সিস্টেম কর্মক্ষমতার উপর প্রভাব

३. বিদ্যমান পদ্ধতির সীমাবদ্ধতা:

  • সিমুলেশন অনুমান এবং বাস্তব-সময় সিস্টেম আচরণের মধ্যে অমিল
  • অনিশ্চয়তা এবং বাহ্যিক বাধার প্রতি সংবেদনশীল
  • বাস্তব-সময় অপারেশনে বৈশ্বিক বন্ধ-লুপ স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করা কঠিন
  • ভৌত মডেলিং নির্ভুলতা এবং মডেল সরলতার মধ্যে ভারসাম্য
  • মডুলারিটি, স্কেলেবিলিটি এবং বাস্তবায়ন খরচের সীমাবদ্ধতা

গবেষণা প্রেরণা

এই পেপারটি তাত্ত্বিক নিয়ন্ত্রণ ধারণা এবং লিথোগ্রাফি সিস্টেমের বাস্তব বাস্তবায়নের মধ্যে ব্যবধান পূরণ করার লক্ষ্য রাখে, উৎপাদনশীলতা এবং সারিবদ্ধতা কর্মক্ষমতা বজায় রেখে একটি আংশিক অবস্থা-প্রতিক্রিয়া, হ্রাসকৃত-ক্রম সুইচিং পূর্বাভাসমূলক নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি প্রস্তাব করে।

মূল অবদান

१. হ্রাসকৃত-ক্রম মডেল ডিজাইন: নামমাত্র বড় আকারের সিস্টেম গতিশীলতা (সীমিত উপাদান মডেল) থেকে উদ্ভূত হ্রাসকৃত রৈখিক সময়-অপরিবর্তনীয় মডেল ব্যবহার করার প্রস্তাব, নির্বাচনী ডিকাপলিং মূল স্থানিক-সময়গত গতিশীলতার মাধ্যমে, গণনামূলক দক্ষতা নিশ্চিত করে মডেল আনুগত্য ক্ষতি ছাড়াই।

२. অভিযোজিত সুইচিং প্রক্রিয়া: সুইচিং যুক্তি প্রক্রিয়া প্রবর্তন করে যা ভৌত প্রভাবের কারণে অনিশ্চয়তার সাথে খাপ খায়, শক্তিশালীতা উন্নত করে।

३. স্থিতিশীলতা গ্যারান্টি: প্রস্তাবিত নিয়ন্ত্রণ কৌশল বৈশ্বিক সামঞ্জস্যপূর্ণ চূড়ান্ত সীমাবদ্ধ অ্যাসিম্পটোটিক স্থিতিশীলতা (GUAS) নিশ্চিত করে প্রমাণ করে, অরৈখিক সিস্টেম ছোট লাভ উপপাদ্য দ্বারা সমর্থিত।

४. শিল্প যাচাইকরণ: অত্যাধুনিক লিথোগ্রাফি সিস্টেমে বাস্তবায়ন এবং যাচাইকরণ, মুখোশ প্লেট হিটিং দ্বারা সৃষ্ট স্থানিক-সময়গত বিকৃতি প্রশমিত করার উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে।

পদ্ধতি বিস্তারিত

কাজের সংজ্ঞা

ইনপুট:

  • সিস্টেম অবস্থা x∈Rnx \in \mathbb{R}^n (পূর্বাভাসিত সম্পূর্ণ মুখোশ প্লেট বিকৃতি)
  • বাহ্যিক ইনপুট ue∈Rmu_e \in \mathbb{R}^m (তাপ উৎস)
  • বিরল সেন্সর ডেটা y∈Rqy \in \mathbb{R}^q

আউটপুট:

  • স্থাপনা ত্রুটির সাথে সম্পর্কিত আউটপুট z∈Rpz \in \mathbb{R}^p

সীমাবদ্ধতা: १. পূর্বাভাসিত অপসারণ সীমাবদ্ধ থাকে: ∥z∥≤ε\|z\| \leq \varepsilon (সাব-ন্যানোমিটার স্তর) २. পরিমাপের সময় হ্রাস করুন, নির্বাচনীভাবে নির্দিষ্ট চিহ্ন সেটের পরিমাপ এড়িয়ে যান

মডেল আর্কিটেকচার

অবস্থা-স্থান প্রকাশ

সিস্টেমের অবস্থা-স্থান প্রকাশ হল:

\dot{x}_i = A_i x_i + B_i u_e + B_f u_f \\ u_f = \Gamma(.)y \\ u_i = C_i x_i \end{cases}$$ যেখানে: - $x_i$: অভ্যন্তরীণ বিকৃতি অবস্থা - $u_e$: বাহ্যিক হিটিং প্রোফাইল - $u_f$: সারিবদ্ধতা সেন্সর থেকে প্রতিক্রিয়া সংকেত - $\Gamma(.)$: বিরল প্রতিক্রিয়া পরিমাপকে উপযুক্ত ঘন লেআউটে রূপান্তরকারী ফাংশন - $C_i$: $x_i$ থেকে $u_i$ এ আউটপুট ম্যাপিং #### চার-ধাপ ডিজাইন পদ্ধতি **ধাপ ১ - সময়সূচী একীকরণ এবং বন্ধ-লুপ প্রতিক্রিয়া**: সময়সূচী $\Phi$ সংজ্ঞায়িত করা হয়: $$\Phi = \{M_i | I \in R_i, \forall i \in \mathbb{Z}\}$$ যেখানে $I \in \{y, u_e, u_\Delta\}$ ঐতিহাসিক তথ্য সেট প্রতিনিধিত্ব করে। **ধাপ २ - নামমাত্র হ্রাসকৃত-ক্রম মডেল**: Krylov মুহূর্ত ম্যাচিং পদ্ধতি ব্যবহার করে প্যারামিটারাইজড হ্রাসকরণ: $$M_i := \begin{cases} \dot{x}_i = A_i x_i + B_i u_e \\ u_i = C_i x_i \end{cases}$$ **ধাপ ३ - আংশিক প্রতিক্রিয়া একীকরণ**: প্রতিক্রিয়া ইনপুট চ্যানেল $B_f$ স্পষ্টভাবে প্রবর্তন করে আংশিক অবস্থা প্রতিক্রিয়া হ্রাসকৃত মডেলে একীভূত করুন। **ধাপ ४ - অনিশ্চয়তা পরিচালনা**: মডেলটিকে প্রতিনিধিত্ব করতে কেন্দ্রীভূত পদ্ধতি ব্যবহার করুন: $$\hat{P}(\Phi|I) = M_n + M_\Delta = M_n + \Delta_m(\Phi|I)$$ ### প্রযুক্তিগত উদ্ভাবন পয়েন্ট १. **ঐতিহাসিক তথ্য-চালিত সুইচিং কৌশল**: শুধুমাত্র প্রতিক্রিয়া সংকেত প্রশস্ততার উপর ভিত্তি করে পরিবর্তনশীল-লাভ নিয়ন্ত্রণের বিপরীতে, এই পদ্ধতি মডেল নির্বাচন পরিচালনা করতে ঐতিহাসিক ডেটা $I$ ব্যবহার করে। २. **ভৌত ব্যাখ্যাযোগ্যতা সংরক্ষণ**: Krylov মুহূর্ত ম্যাচিং পদ্ধতির মাধ্যমে হ্রাসকৃত মডেলের মূল ভৌত ব্যাখ্যা সংরক্ষণ করুন। ३. **Lur'e-টাইপ সিস্টেম ফ্রেমওয়ার্ক**: সিস্টেমটিকে Lur'e-টাইপ সিস্টেমে রূপান্তরিত করুন, রৈখিক গতিশীল অংশ এবং অরৈখিক/অনিশ্চিত অংশ একত্রিত করে। ## পরীক্ষামূলক সেটআপ ### পরীক্ষামূলক প্ল্যাটফর্ম - **ডিভাইস**: ASML Twinscan অত্যাধুনিক লিথোগ্রাফি স্ক্যানার - **প্রয়োগের দৃশ্য**: মুখোশ প্লেট হিটিং প্রশমন - **পরীক্ষার শর্ত**: २ টি ব্যাচ, প্রতি ব্যাচে १६ টি ওয়েফার ### মূল্যায়ন সূচক १. **স্থাপনা ত্রুটি**: x-y দিকে সারিবদ্ধতা স্থাপনা ত্রুটি २. **উৎপাদনশীলতা বৃদ্ধি**: প্রতি ওয়েফার সময় সাশ্রয় ३. **স্থিতিশীলতা**: বিভিন্ন অপারেটিং অবস্থার অধীনে কর্মক্ষমতা সামঞ্জস্য ### তুলনা পদ্ধতি १. **ঐতিহ্যবাহী পদ্ধতি**: সেন্সর-ভিত্তিক বর্তমান মান পদ্ধতি २. **রৈখিক পদ্ধতি**: শুধুমাত্র নামমাত্র মডেল $M_n$ ব্যবহার করে রৈখিক সংস্করণ ### বাস্তবায়ন বিবরণ - নামমাত্র এবং অনিশ্চিত মুখোশ প্লেট হিটিং মডেল বর্ণনা করতে ३ টি মুহূর্ত ব্যবহার করুন - প্রান্ত সারিবদ্ধতা চিহ্ন এড়িয়ে যান, শুধুমাত্র শীর্ষ-নীচে সারিবদ্ধতা চিহ্ন ব্যবহার করুন - প্রতিটি পরিমাপ প্রায় ०.३ সেকেন্ড/ওয়েফার সাশ্রয় করে ## পরীক্ষামূলক ফলাফল ### প্রধান ফলাফল १. **স্থাপনা ত্রুটি উন্নতি**: - ঐতিহ্যবাহী পদ্ধতির তুলনায়, x-y দিক স্থাপনা ত্রুটি २-३ গুণ হ্রাস পায় - প্রথম २ টি ওয়েফারের x-y দিক কর্মক্ষমতা २ গুণ উন্নতি - নামমাত্র এবং অনিশ্চিত উভয় অবস্থার অধীনে স্থিতিশীল এবং উন্নত নির্ভুলতা বজায় রাখে २. **উৎপাদনশীলতা বৃদ্ধি**: - প্রতি ওয়েফার ०.३ সেকেন্ড সাশ্রয় - প্রতি ঘণ্টায় ৭ টি পর্যন্ত অতিরিক্ত ওয়েফার উৎপাদনশীলতা বৃদ্ধি করতে পারে ३. **শক্তিশালীতা যাচাইকরণ**: - রৈখিক পদ্ধতি অনিশ্চিত অবস্থার অধীনে কর্মক্ষমতা ३ গুণ হ্রাস পায় - প্রস্তাবিত পদ্ধতি বিভিন্ন ইমেজ অঞ্চলে সামঞ্জস্যপূর্ণ কর্মক্ষমতা বজায় রাখে ### বিভিন্ন ইমেজ অঞ্চল যাচাইকরণ ছোট এক্সপোজার অঞ্চলের পরীক্ষায়: - প্রস্তাবিত পদ্ধতি নামমাত্র এবং অনিশ্চিত অবস্থার অধীনে কর্মক্ষমতা ३ গুণ উন্নতি - রৈখিক পদ্ধতি কর্মক্ষমতা २-३ গুণ হ্রাস পায় - পদ্ধতির শক্তিশালীতা এবং অভিযোজনযোগ্যতা যাচাই করে ### স্থিতিশীলতা বিশ্লেষণ ছোট লাভ উপপাদ্যের মাধ্যমে বৈশ্বিক সামঞ্জস্যপূর্ণ চূড়ান্ত সীমাবদ্ধ অ্যাসিম্পটোটিক স্থিতিশীলতা (GUAS) প্রমাণ করা হয়েছে, যা সন্তুষ্ট করে: - মুখোশ প্লেট হিটিং ভৌত বৈশিষ্ট্য সীমাবদ্ধ গতিশীলতা নিশ্চিত করে - নামমাত্র এবং অনিশ্চিত উভয় মডেল স্থিতিশীলতা শর্ত সন্তুষ্ট করে - ভারসাম্য বিন্দু $x^*$ (যেখানে $\|z\| = 0$) হল GUAS ## সম্পর্কিত কাজ ### লিথোগ্রাফি সিস্টেম নিয়ন্ত্রণ - ঐতিহ্যবাহী রৈখিক পূর্বাভাসমূলক নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি "ওয়াটারবেড প্রভাব" দ্বারা সীমাবদ্ধ - অরৈখিক পদ্ধতিতে পরিবর্তনশীল-লাভ নিয়ন্ত্রণ, ফিল্টার এবং সুইচিং নিয়ন্ত্রক অন্তর্ভুক্ত - বিদ্যমান পদ্ধতি প্রায়শই স্থানিক-সময়গত গতিশীলতা উপেক্ষা করে ### মডেল হ্রাসকরণ কৌশল - ভারসাম্য ছাঁটাই, Krylov সাবস্পেস পদ্ধতি, প্রধান অর্থোগোনাল বিয়োজন (POD) - বিদ্যমান পদ্ধতি মাত্রা হ্রাস করে কিন্তু ভৌত ব্যাখ্যাযোগ্যতা হারায় - এই পেপারের পদ্ধতি গণনামূলক দক্ষতা অর্জন করার সময় ভৌত ব্যাখ্যা সংরক্ষণ করে ### সুইচিং সিস্টেম নিয়ন্ত্রণ - ঐতিহাসিক তথ্য-ভিত্তিক সুইচিং কৌশল - ইভেন্ট-চালিত নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি - Lur'e সিস্টেম স্থিতিশীলতা তত্ত্ব ## উপসংহার এবং আলোচনা ### প্রধান উপসংহার १. আংশিক অবস্থা-প্রতিক্রিয়া হ্রাসকৃত-ক্রম সুইচিং পূর্বাভাসমূলক মডেল সফলভাবে বিকশিত করা হয়েছে २. নির্ভুলতা এবং উৎপাদনশীলতার একযোগে বৃদ্ধি অর্জন করা হয়েছে ३. অনিশ্চিত অপারেটিং অবস্থার অধীনে শক্তিশালীতা যাচাই করা হয়েছে ४. তাত্ত্বিক স্থিতিশীলতা গ্যারান্টি প্রদান করা হয়েছে ### সীমাবদ্ধতা १. পদ্ধতির প্রয়োজনীয়তা নির্দিষ্ট ভৌত সিস্টেম বৈশিষ্ট্যের উপর নির্ভর করে २. সুইচিং যুক্তির ডিজাইনের জন্য ডোমেইন বিশেষজ্ঞ জ্ঞান প্রয়োজন ३. মডেল হ্রাসকরণ নির্দিষ্ট চরম অবস্থার অধীনে নির্ভুলতা প্রভাবিত করতে পারে ### ভবিষ্যত দিকনির্দেশনা १. **একীভূত পূর্বাভাস ফ্রেমওয়ার্ক**: সম্পূর্ণ সিস্টেমের স্থানিক এবং সময়গত পরিবর্তনে প্রসারিত করুন २. **বুদ্ধিমান পরিমাপ অপ্টিমাইজেশন**: অপ্রয়োজনীয় পরিমাপ হ্রাস করতে পূর্বাভাস, শেখা এবং বুদ্ধিমত্তা একীভূত করুন ३. **ব্যবহারিক অনুমান যাচাইকরণ**: তাত্ত্বিক ধারণা এবং বাস্তব প্রয়োগের মধ্যে ব্যবধান সংকুচিত করুন ## গভীর মূল্যায়ন ### সুবিধা १. **শিল্প প্রাসঙ্গিকতা শক্তিশালী**: অর্ধপরিবাহী উৎপাদনে বাস্তব সমস্যা সরাসরি সমাধান করে २. **তাত্ত্বিক ভিত্তি দৃঢ়**: কঠোর স্থিতিশীলতা বিশ্লেষণ প্রদান করে ३. **পরীক্ষামূলক যাচাইকরণ পর্যাপ্ত**: বাস্তব শিল্প সিস্টেমে প্রভাব যাচাই করা হয়েছে ४. **পদ্ধতি উদ্ভাবন**: হ্রাসকরণ মডেলিং, সুইচিং নিয়ন্ত্রণ এবং আংশিক প্রতিক্রিয়া একত্রিত করে নতুন পদ্ধতি ५. **ব্যবহারিক মূল্য উচ্চ**: নির্ভুলতা এবং উৎপাদনশীলতা একযোগে উন্নত করে, সরাসরি অর্থনৈতিক মূল্য রয়েছে ### অপূর্ণতা १. **প্রয়োগের সীমাবদ্ধতা**: প্রধানত মুখোশ প্লেট হিটিং সমস্যার উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে, অন্যান্য প্রয়োগে সাধারণীকরণ যাচাই করা প্রয়োজন २. **জটিলতা ব্যবস্থাপনা**: সুইচিং যুক্তির ডিজাইন এবং সমন্বয় উল্লেখযোগ্য বিশেষজ্ঞ জ্ঞান প্রয়োজন হতে পারে ३. **তুলনা পরীক্ষা**: অন্যান্য উন্নত নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতির সাথে গভীর তুলনার অভাব ४. **দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীলতা**: দীর্ঘমেয়াদী অপারেশনে কর্মক্ষমতা অবনতি যথাযথভাবে আলোচনা করা হয়নি ### প্রভাব १. **একাডেমিক মূল্য**: স্থানিক-সময়গত সিস্টেম নিয়ন্ত্রণের জন্য নতুন তাত্ত্বিক ফ্রেমওয়ার্ক প্রদান করে २. **শিল্প মূল্য**: দশ বিলিয়ন ডলার মূল্যের অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামে সরাসরি প্রয়োগ করা হয় ३. **প্রযুক্তি প্রচার**: পদ্ধতি অন্যান্য নির্ভুল উৎপাদন সিস্টেমে প্রসারিত করা যায় ४. **পুনরুৎপাদনযোগ্যতা**: স্পষ্ট বাস্তবায়ন পদক্ষেপ এবং তাত্ত্বিক ভিত্তি প্রদান করে ### প্রযোজ্য দৃশ্য १. **নির্ভুল উৎপাদন সিস্টেম**: সাব-ন্যানোমিটার নির্ভুলতা প্রয়োজনীয় উৎপাদন প্রক্রিয়া २. **তাপ ব্যবস্থাপনা প্রয়োগ**: তাপীয় বিকৃতি নিয়ন্ত্রণ জড়িত সিস্টেম ३. **উচ্চ উৎপাদনশীলতা প্রয়োজনীয়তা**: নির্ভুলতা বজায় রেখে দক্ষতা বৃদ্ধির প্রয়োজনীয় দৃশ্য ४. **অনিশ্চিত পরিবেশ**: অপারেটিং অবস্থা ঘন ঘন পরিবর্তনশীল শিল্প সিস্টেম ## সংদর্ভ এই পেপারটি নিয়ন্ত্রণ তত্ত্ব, লিথোগ্রাফি প্রযুক্তি, মডেল হ্রাসকরণ এবং সিস্টেম সনাক্তকরণ সহ একাধিক ক্ষেত্রের গুরুত্বপূর্ণ কাজ কভার করে এমন ४५ টি সম্পর্কিত সংদর্ভ উদ্ধৃত করে, গবেষণার জন্য দৃঢ় তাত্ত্বিক ভিত্তি এবং প্রযুক্তিগত পটভূমি প্রদান করে। --- **সামগ্রিক মূল্যায়ন**: এটি একটি উচ্চ-মানের প্রকৌশল প্রয়োগ পেপার যা উন্নত নিয়ন্ত্রণ তত্ত্বকে বাস্তব শিল্প সমস্যায় সফলভাবে প্রয়োগ করে, তাত্ত্বিক কঠোরতা এবং ব্যবহারিক মূল্যের মধ্যে ভাল ভারসাম্য অর্জন করে। পেপারের অবদান শুধুমাত্র প্রযুক্তিগত উদ্ভাবনে নয় বরং অর্ধপরিবাহী উৎপাদন যা একটি গুরুত্বপূর্ণ শিল্পের জন্য বাস্তবসম্মত সমাধান প্রদানে নিহিত।