Robuste Resetregelung für piezoelektrisch angetriebene Nanopositionierer bei Hysterese-Nichtlinearität

Grundinformationen

• Papier-ID: 2510.09445
• Titel: Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity
• Autoren: A. Sebghati, S. H. HosseinNia (Technische Universität Delft)
• Klassifizierung: eess.SY (Systeme und Regelung), cs.SY (Systeme und Regelung)
• Veröffentlichungsdatum: 10. Oktober 2025 (arXiv-Preprint)
• Papierlink: https://arxiv.org/abs/2510.09445

Zusammenfassung

Dieses Papier präsentiert ein robustes nichtlineares Regelungskonzept für eine Klasse piezoelektrisch angetriebener Nanopositionierungssysteme unter Verwendung von Frequenzbereichsanalysemethoden. Die Hysterese-Nichtlinearität in piezoelektrischen Materialien beeinträchtigt die Verfolgungsgenauigkeit bei hochfrequenten Inhalten und verschiedenen Stellbereichs-Referenzsignalen. Da die Inverse-Modell-Hysterese-Kompensationsmethoden des Standes der Technik bei isolierter Anwendung nicht zuverlässig sind, ist ein Regelungsrahmen erforderlich, der gegenüber verbleibenden Nichtlinearitäten robust ist. Die Forschung zeigt, dass robuste lineare Regelungskonzepte unvermeidbare Grenzen bei der Leistungsverbesserung aufweisen. Das Papier etabliert eine robuste Regelungsmethode basierend auf komplexwertigen Ordnungselementen zur Minderung dieser Grenze und realisiert dann die komplexwertige Ordnungsregelung mittels eines Constant-gain Lead-phase (CgLp) Resetreglers. Das Regelungskonzept basiert auf den Werkzeugen der Sinuseingangs-Beschreibungsfunktion (SIDF) und der höherwertigen SIDF (HOSIDF) und bietet ein eingeschränktes Optimierungsproblem zur Anpassung der Regelungsparameter.

Forschungshintergrund und Motivation

Problemdefinition

Piezoelektrisch angetriebene Nanopositionierer spielen eine wichtige Rolle in hochpräzisions-Maschinen und erfordern eine genaue Verfolgung hochgeschwindiger periodischer Trajektorien mit großem Amplitudenbereich. Die der piezoelektrischen Materialien innewohnende Hysterese-Nichtlinearität beeinträchtigt jedoch die Systemleistung erheblich:

1. Hysterese-Nichtlinearitätsproblem: Die Hysterese-Charakteristik piezoelektrischer Materialien manifestiert sich als Unsicherheit der Gleichstromverstärkung, wobei experimentelle Messungen Schwankungen der Gleichstromverstärkung von bis zu 215% zeigen
2. Einschränkungen bestehender Kompensationsmethoden: Herkömmliche Inverse-Modell-Kompensationsmethoden können die Hysterese-Auswirkungen aufgrund ihrer Empfindlichkeit gegenüber Modellparametergenauigkeit nicht vollständig eliminieren
3. Inhärente Grenzen linearer Regelung: Aufgrund des Wasserbett-Effekts und der Bode-Verstärkungs-Phasen-Beziehung gibt es unvermeidbare Kompromisse bei der Verbesserung der Leistung durch robuste lineare Regelung

Forschungsmotivation

• Wachsende Anforderungen hochpräziser Anwendungen an höhere Bandbreite und höhere Genauigkeit
• Notwendigkeit der Entwicklung von Bewegungsregelsystemen, die gegenüber verbleibenden Hysterese-Nichtlinearitäten robust sind
• Überwindung der Kompromisse zwischen Robustheit und Bandbreite bei herkömmlicher linearer Regelung

Kernbeiträge

1. Theoretischer Beitrag: Etablierung eines robusten Regelungstheoretischen Rahmens basierend auf komplexwertigen Ordnungselementen, der nachweist, dass die inhärenten Grenzen linearer Regelung überwunden werden können
2. Methodische Innovation: Vorschlag einer neuen Methode zur Realisierung komplexwertiger Ordnungsregelung mittels CgLp-Resetregler
3. Entwurfswerkzeuge: Entwicklung von Frequenzbereichs-Entwurfsmethoden basierend auf SIDF und HOSIDF sowie einer eingeschränkten Optimierungsstrategie zur Parameteranpassung
4. Leistungsverbesserung: Realisierung einer Bandbreitensteigerung von etwa 20% bei Beibehaltung der Robustheit und signifikanter Genauigkeitsverbesserung

Methodische Details

Aufgabendefinition

Entwurf eines robusten Reglers für ein piezoelektrisches Nanopositionierungssystem mit Gleichstromverstärkungs-Unsicherheit, wobei:

• Eingang: Referenz-Positionssignal
• Ausgang: Tatsächliche Position
• Nebenbedingungen: Phasenrand φ ∈ φₘ, φ̄ₘ, Gleichstromverstärkungs-Unsicherheit κ ∈ 1, κ̄
• Ziel: Maximierung der robusten Bandbreite bei gleichzeitiger Gewährleistung von Verfolgungsgenauigkeit und Systemstabilität

Systemmodellierung

Der piezoelektrische Positionierer verwendet ein unsicheres lineares Modell:

P(jω, κ) = Pₑ(jω) · Pₘ(jω, κ)
Pₘ(jω, κ) = κ · Pₘ(jω)

wobei:

• Pₑ(jω) = Kₑ/(jω/ωₑ + 1) die elektrische Dynamik darstellt
• Pₘ(jω) = Kₘ/((jω/ωₘ)² + 2ξₘ/ωₘ·jω + 1) die mechanische Dynamik darstellt
• κ der unsichere Gleichstromverstärkungs-Parameter ist

Komplexwertige Ordnungsregelungstheorie

Theoretische Grundlagen

Für lineare Systeme mit Gleichstromverstärkungs-Unsicherheit schlägt das Papier komplexwertige Ordnungselemente vor:

C̃(jω) = e^(j(1-γ̃)/2 · arctan(ω/ω̃ᵣ))

wobei γ̃ ∈ -1,+1 und ω̃ᵣ die Eckfrequenz ist.

Theorem 1 Schlüsselergebnis: Durch Hinzufügen eines idealen komplexwertigen Ordnungselements zu einer gegebenen robusten linearen Regelung kann immer eine höhere robuste Bandbreite erreicht werden, ohne die Eigenschaften der offenen Schleife und die Robustheit zu beeinträchtigen.

Realisierung des CgLp-Resetreglers

Reglerstruktur

Der CgLp-Regler besteht aus einem Reihenschluss eines Resetelements erster Ordnung (FORE) und eines Vorlauf-Filters erster Ordnung:

• FORE-Basis-Lineardynamik: Rᵦₗ = 1/(jω/ωᵣ + 1)
• Vorlauf-Filter: Cₗ(jω) = (jω/αωᵣ + 1)/(jω/ωf + 1)

SIDF-Analyse

Die Sinuseingangs-Beschreibungsfunktion des CgLp-Reglers ist:

C₁(jω) = R₁(jω) · Cₗ(jω)
R₁(jω) = 1/(jω/ωᵣ + 1) · (1 + j·2ω²(1-γ)(1+e^(-π·ω/ωᵣ))/(π(1+γe^(-π·ωᵣ/ω))(ω²+ωᵣ²)))

Parameteroptimierungsstrategie

Eine eingeschränkte Optimierungsmethode wird zur Anpassung der CgLp-Parameter verwendet:

max f_c(1)
γ,fᵣ,ff

subject to: ∠L₁(jωc) ∈ [-180° + φₘ, -180° + φ̄ₘ]
           γ ∈ [γₘ, 1], fᵣ > ν·ff, ff < fₘ

Experimentelle Einrichtung

Experimentelle Plattform

• Gerät: P-621.1CD PIHera Einfach-Plattform mit piezoelektrischem Antrieb und kapazitivem Sensor
• Stellbereich: -10, 120 μm
• Auflösung: 0,2 nm
• Verstärker: E712 Digitalmodul, Eingangsspanne -3, 13,5 V, Ausgangsspanne -30, 135 V

Systemparameter

Basierend auf experimentell identifizierten Systemparametern:

• Elektrische Dynamik: Kₑ = 10, fₑ = 935 Hz
• Mechanische Dynamik: Kₘ = 0,4986 μm/V, fₘ = 747 Hz, ξₘ = 0,0089
• Unsicherheit: κ = 1,6165 (62% Gleichstromverstärkungs-Variation)

Bewertungskriterien

• Bandbreitenmetriken: Überkreuzungsfrequenz fc und durchschnittliche Überkreuzungsfrequenz f̄c
• Robustheitsmetriken: Phasenrand φ ∈ 60°, 71°
• Genauigkeitsmetriken: Komplementäre Empfindlichkeitsfunktion ±1 dB Kriterium
• Zeitbereichsleistung: Anstiegszeit, Überschwingen, integraler absoluter Fehler (IAE)

Vergleichsmethoden

1. Robuste lineare Regelung: Lineares Schema basierend auf PI-Regler zweiter Ordnung und Sperrfilter
2. Nicht-robuste lineare Regelung: Linearer Regler ohne Berücksichtigung von Unsicherheiten

Experimentelle Ergebnisse

Hauptergebnisse

Frequenzbereichsleistung

• Bandbreitensteigerung:
  • Nominalfall: fc*(1) steigt von 220 Hz auf 269 Hz (22,3% Steigerung)
  • Schlechtester Fall: fc*(κ) steigt von 376 Hz auf 441 Hz (17,3% Steigerung)
  • Durchschnittliche Bandbreitensteigerung etwa 20%
• Robustheitsbeibehaltung: Der Phasenrand bleibt über den gesamten Unsicherheitsbereich hinweg im Bereich 60°, 71°

Verbesserung der Schleifencharakteristiken

Durch den CgLp-Regler wird die Schleifenphase in der Nähe von fc*(κ) erfolgreich erhöht, während die Schleifenverstärkung nahezu unverändert bleibt, was die theoretischen Erwartungen der komplexwertigen Ordnungsregelung bestätigt.

Zeitbereichsverifikation

Sprungantwort

• Anstiegszeit: Signifikante Verbesserung im Vergleich zur robusten linearen Regelung
• Überschwingen: Bleibt im Bereich von 10%-13%, während die nicht-robuste lineare Regelung ein Überschwingen von 10%-18% aufweist
• Robustheit: Stabile Leistung über den gesamten Bereich der Gleichstromverstärkungs-Unsicherheit

Sinusförmige Verfolgungsleistung

Mit dem IAE-Kriterium bewertet zeigt der CgLp-Regler signifikante Verbesserungen der Genauigkeit im Vergleich zu linearen Regelungsmethoden.

HOSIDF-Verifikation

Die Analyse höherwertiger Harmonischer zeigt:

• |S∞(κ)| ≈ |S₁(κ)|, |T∞(κ)| ≈ |T₁(κ)|
• Bestätigung der Gültigkeit der SIDF-Analyse mit ausreichend kleinen Auswirkungen höherwertiger Harmonischer

Ablationsexperimente

Durch Vergleiche mit verschiedenen Regelungskonzepten wird Folgendes bestätigt:

1. Notwendigkeit der komplexwertigen Ordnungselemente
2. Effektivität der CgLp-Realisierung
3. Rationalität der Parameteroptimierungsstrategie

Verwandte Arbeiten

Regelung piezoelektrischer Systeme

• Herkömmliche Methoden: Inverse-Modell-basierte Hysterese-Kompensation, aber mit Problemen der Modellkomplexität und Parameterempfindlichkeit
• Lineare Regelung: Methoden wie äquivalente Dämpfungsregelung bieten Robustheit durch Phasenvorlauf, weisen aber Bandbreiten-Robustheits-Kompromisse auf

Resetregelungstheorie

• Clegg-Integrator: Bahnbrechendes nichtlineares Regelungskonzept von 1958
• SIDF/HOSIDF-Werkzeuge: Ermöglichen Entwurf und Analyse von Resetregelung im Frequenzbereich
• CgLp-Regelung: Jüngste Anwendungen in hochpräzisions-Bewegungsregelsystemen

Positionierung des Beitrags dieses Papiers

Das Papier kombiniert erstmals die Theorie der komplexwertigen Ordnungsregelung mit CgLp-Resetregelung und bietet eine Lösung, die die Grenzen linearer Regelung für piezoelektrische Nanopositionierungssysteme überwindet.

Schlussfolgerungen und Diskussion

Hauptschlussfolgerungen

1. Theoretischer Durchbruch: Nachweis, dass komplexwertige Ordnungsregelung die inhärenten Grenzen linearer Regelung bei Robustheits-Bandbreiten-Kompromissen überwinden kann
2. Praktische Methode: Der CgLp-Resetregler realisiert erfolgreich die theoretischen Vorteile der komplexwertigen Ordnungsregelung
3. Leistungsverbesserung: Realisierung einer 20%igen Bandbreitensteigerung bei Beibehaltung der Robustheit und signifikanter Genauigkeitsverbesserung

Einschränkungen

1. Experimentelle Verifikation: Derzeit nur Simulationsverifikation durchgeführt, Hardwareexperimente fehlen
2. Rauschbetrachtung: Obwohl Rauschprobleme erwähnt werden, fehlt eine detaillierte Rausch-Robustheits-Analyse
3. Rechenkomplexität: Die Rechenkosten der HOSIDF-Analyse und eingeschränkten Optimierung werden nicht ausführlich diskutiert

Zukünftige Richtungen

Das Papier identifiziert explizit die folgenden Forschungsrichtungen:

1. Untersuchung der Zeitantwort des Regelsignals und Entwurf zusätzlicher Filter
2. Experimentelle Verifikation
3. Integration von Vorsteuerung
4. Untersuchung von Störungsunterdrückungsproblemen

Tiefgreifende Bewertung

Stärken

1. Theoretische Innovativität: Die Theorie der komplexwertigen Ordnungsregelung bietet neue Ansätze zur Überwindung linearer Regelungsgrenzen
2. Methodische Praktikabilität: Das CgLp-Realisierungsschema weist gute technische Machbarkeit auf
3. Analysevollständigkeit: Die Frequenzbereichsanalysemethode, die SIDF und HOSIDF kombiniert, ist streng und umfassend
4. Überzeugungskraft der Ergebnisse: Simulationsergebnisse zeigen die Effektivität der Methode deutlich

Mängel

1. Experimentelle Einschränkungen: Fehlende Hardwareexperimentverifikation, Genauigkeit des Simulationsmodells bedarf Verifikation
2. Parameterempfindlichkeitsanalyse: Analyse der Empfindlichkeit gegenüber CgLp-Parameteranpassung ist nicht ausreichend
3. Anwendungsbereich: Anwendbarkeit der Methode auf andere Arten von Nichtlinearitäten wird nicht diskutiert

Auswirkungen

1. Akademischer Beitrag: Bietet neue theoretische Werkzeuge und Entwurfsmethoden für das Präzisionsregelungsfeld
2. Ingenieurwert: Wichtige Anwendungswerte für hochpräzisions-Fertigung und Nanotechnologie
3. Reproduzierbarkeit: Das Papier bietet detaillierte Parameter und Entwurfsprozesse für einfache Reproduktion

Anwendungsszenarien

• Piezoelektrisch angetriebene Nanopositionierungssysteme
• Hochpräzisions-Bewegungsregelsysteme mit Gleichstromverstärkungs-Unsicherheit
• Verfolgungsregelanwendungen, die hohe Bandbreite und hohe Genauigkeit erfordern
• Halbleiterfertigung, Rasterkraftmikroskopie und andere hochpräzisions-Geräte

Literaturverzeichnis

Das Papier zitiert wichtige Literatur aus Regelungstheorie und hochpräzisions-Bewegungsregelsystemen, einschließlich:

• Clegg (1958): Bahnbrechendes Werk zur Resetregelung
• Saikumar et al. (2019, 2021): Theoretische Grundlagen der CgLp-Regelung
• Zhang et al. (2024): Jüngste Entwicklungen in SIDF/HOSIDF-Analysewerkzeugen

Gesamtbewertung: Dies ist ein hochqualitatives Papier mit wichtigen Innovationen in Theorie und Methodik, das neue Lösungsansätze für Regelungsprobleme piezoelektrischer Nanopositionierungssysteme bietet. Obwohl die experimentelle Verifikation noch verstärkt werden muss, haben seine theoretischen Beiträge und methodischen Innovationen wichtige akademische und technische Werte.