Rendimiento óptico mejorado de microdiodos emisores de luz GaN con una única capa porosa

Información Básica

• ID del Artículo: 2501.00455
• Título: Enhanced optical performance of GaN Micro-light-emitting diodes with a single porous layer
• Autores: Ziwen Yan, Xianfei Zhang, Yuyin Li, Zili Xie, Xiangqian Xiu, Dunjun Chen, Ping Han, Yi Shi, Rong Zhang, Youdou Zheng, y Peng Chen
• Institución: Escuela de Ciencias e Ingeniería Electrónica, Universidad de Nanjing; Laboratorio Clave Provincial de Materiales Fotónicos y Electrónicos Avanzados de Jiangsu
• Clasificación: physics.optics physics.app-ph
• Enlace del Artículo: https://arxiv.org/abs/2501.00455

Resumen

Los microdiodos emisores de luz (Micro-LEDs) de alta eficiencia son dispositivos clave para la tecnología de visualización de próxima generación. Sin embargo, cuando el tamaño de la mesa se reduce a decenas de micrómetros o menos, la eficiencia luminosa se ve limitada por el "efecto de eficiencia-tamaño". Este estudio describe en detalle la fabricación de Micro-LEDs basados en nitruro de galio (GaN) con diferentes formas de mesa y una única capa porosa debajo de la región activa. Se crea la capa porosa combinando una estructura de LED verde mejorada con capas de n-GaN con diferentes dopajes mediante grabado electroquímico. La fuerte limitación de luz lograda por la capa porosa y la mesa poligonal mejora significativamente la emisión espontánea. La intensidad luminosa de los Micro-LEDs con capa porosa es aproximadamente 22 veces mayor que la de los dispositivos sin capa porosa. Se observa una reducción significativa del ancho total a media altura (FWHM) mínimo en dispositivos poligonales, lo que indica un cambio en el mecanismo de emisión. Se investigó el efecto de diferentes geometrías de dispositivos en el rendimiento de emisión. Los resultados experimentales demuestran que, a diferencia de los Micro-LEDs porosos circulares, los Micro-LEDs porosos cuadrados y hexagonales exhiben emisión resonante más pronunciada.

Antecedentes de Investigación y Motivación

Identificación de Problemas

1. Problema del "efecto de eficiencia-tamaño": Cuando el tamaño del Micro-LED se reduce a decenas de micrómetros o menos, la eficiencia máxima disminuye significativamente
2. Recombinación no radiativa en la superficie: A medida que disminuye el tamaño del dispositivo, aumenta la relación superficie-volumen, lo que provoca un aumento de la recombinación no radiativa en las superficies laterales
3. Limitaciones de las soluciones existentes: Las estructuras tradicionales de reflectores de Bragg distribuidos (DBRs) requieren técnicas de fabricación complejas y crecimiento epitaxial preciso

Importancia de la Investigación

• Los Micro-LEDs son dispositivos centrales para la tecnología de visualización de próxima generación, con demanda creciente en pantallas de alta resolución, AR/VR y aplicaciones médicas
• Existe una demanda cada vez mayor de dispositivos Micro-LED de alto brillo y línea estrecha
• Resolver el problema de eficiencia en dispositivos de pequeño tamaño es crucial para lograr tecnología de visualización de alto rendimiento

Limitaciones de los Métodos Existentes

• La fabricación de estructuras DBRs es compleja y requiere crecimiento epitaxial preciso
• Las estructuras multicapa aumentan la dificultad y el costo de fabricación
• Pueden tener efectos adversos en la conducción de corriente vertical

Contribuciones Principales

1. Se propuso una estructura de capa porosa única: Comparada con la compleja estructura DBRs, una única capa de GaN poroso es más fácil de fabricar y favorece la conducción de corriente vertical
2. Se logró un aumento significativo de la intensidad luminosa: La intensidad luminosa de los Micro-LEDs porosos es 22 veces mayor que la de los dispositivos convencionales
3. Se descubrió un efecto resonante dependiente de la forma: Los Micro-LEDs porosos cuadrados y hexagonales exhiben emisión resonante más pronunciada que los dispositivos circulares
4. Se proporcionó un proceso de fabricación completo: Se describe en detalle el flujo completo desde el crecimiento epitaxial hasta la fabricación del dispositivo
5. Se logró emisión de línea estrecha: El FWHM mínimo alcanza aproximadamente 5,9 nm, lo que indica un cambio en el mecanismo de emisión

Explicación Detallada del Método

Definición de la Tarea

Diseñar y fabricar Micro-LEDs basados en GaN con una única capa porosa, mejorar el rendimiento luminoso del dispositivo a través del efecto de limitación de luz, e investigar el impacto de diferentes formas geométricas en la emisión resonante.

Diseño de la Estructura del Dispositivo

Estructura Epitaxial

• Sustrato: Sustrato (111)Si
• Capa amortiguadora: Capa amortiguadora AlN/AlGaN
• Capa conductora: GaN sin dopar (u-GaN) de 1 μm de espesor
• Capa tipo n:
  • GaN tipo n ligeramente dopado de 1 μm (Si: 1,5×10¹⁸/cm³)
  • GaN tipo n fuertemente dopado de 1 μm (Si: 8,5×10¹⁸/cm³) - convertido en capa porosa
• Capa de protección: Capa u-GaN de 100 nm
• Región activa: Pozo cuántico múltiple (MQW) InGaN/GaN de 150 nm
• Capa tipo p: Capa p-GaN de 100 nm de espesor

Flujo del Proceso de Fabricación

1. Transferencia de patrón: Deposición de capa SiO₂ mediante PECVD para transferencia de patrón
2. Grabado de mesa: Grabado ICP para formar la mesa del Micro-LED, grabando hasta la capa n-GaN ligeramente dopada
3. Grabado electroquímico: Conversión de la capa n-GaN fuertemente dopada en estructura porosa
4. Pasivación: Eliminación de SiO₂ de la superficie mediante solución BOE, recrecimiento de capa SiO₂ de pasivación
5. Metalización: Deposición de metal multicapa Cr/Al/Ni/Au como contacto tipo p y tipo n

Puntos de Innovación Técnica

Diseño de Capa Porosa Única

• Ajuste del índice de refracción efectivo: El índice de refracción efectivo de la capa porosa varía con el diámetro del poro, disminuyendo de 2,39 a 1,87
• Mecanismo de limitación de luz: Aumenta la diferencia de índice de refracción entre la región activa y el medio circundante, mejorando la capacidad de limitación de fotones en la región activa
• Optimización de conducción de corriente: Comparado con la estructura DBRs multicapa, el diseño de capa única favorece la conducción de corriente vertical

Optimización de Forma Geométrica

• Circular: Soporta principalmente el modo de galería de susurros (WGM) en los bordes
• Cuadrado y hexagonal: Los modos se distribuyen uniformemente en todo el dispositivo, con efecto resonante más pronunciado

Modelo de Análisis de Resistencia

Se establece el modelo de relación de resistencia efectiva de la estructura porosa:

rS = (S₀ - Shole) / S₀ = 1 - n·π·rhole²/π·r²
rR = 1/rS

donde n es el número de poros, determinado por el tamaño geométrico del dispositivo y el espaciamiento de los poros.

Configuración Experimental

Parámetros del Dispositivo

• Forma del dispositivo: Circular (diámetro 60 μm), cuadrado (lado 50 μm), hexagonal (lado 30 μm)
• Parámetros de capa porosa: Rango de diámetro de poro 20-60 nm, espaciamiento ajustable
• Temperatura de prueba: Temperatura ambiente

Métodos de Prueba

• Observación morfológica: Microscopio óptico
• Características eléctricas: Medición de características I-V mediante fuente de CC Keithley 2601A
• Características ópticas: Sistema de espectroscopia de fotoluminiscencia Renishaw inVia Reflex para medir espectros EL
• Análisis comparativo: Fabricación de dispositivos porosos y convencionales en la misma muestra para comparación directa

Indicadores de Evaluación

• Intensidad luminosa: Comparación de intensidad EL bajo la misma corriente de inyección
• Ancho de línea: Ancho total a media altura (FWHM)
• Longitud de onda de pico: Variación con la densidad de corriente
• Rendimiento eléctrico: Curva característica J-V

Resultados Experimentales

Resultados Principales

Rendimiento Eléctrico

• Buen rendimiento de conducción: Todos los dispositivos muestran buen voltaje de encendido y aumento rápido de densidad de corriente
• Impacto de resistencia controlable: Con el diámetro de poro máximo (60 nm), la resistencia efectiva es solo 2 veces la del dispositivo convencional, aún dentro del rango aceptable
• Conducción de corriente: La capa porosa no afecta significativamente la capacidad de conducción de corriente del dispositivo

Mejora del Rendimiento Óptico

1. Aumento significativo de intensidad luminosa:
   • Micro-LED poroso circular: aumento de 2,64 veces
   • Micro-LED poroso cuadrado: aumento de 4,86 veces
   • Micro-LED poroso hexagonal: aumento de 22 veces
2. Reducción significativa del ancho de línea:
   • FWHM mínimo alcanza aproximadamente 5,9 nm
   • Los dispositivos poligonales muestran picos resonantes claros
3. Cambio en el mecanismo de emisión:
   • Los dispositivos convencionales son principalmente emisión espontánea
   • Los dispositivos porosos muestran un pico agudo a 510 nm diferente de la emisión espontánea

Efecto Resonante Dependiente de la Forma

Dispositivo Circular

• Muestra principalmente emisión espontánea
• Solo aparece un pequeño pico a 510 nm
• El modo de galería de susurros se ubica principalmente en los bordes del dispositivo, fácilmente dañado por grabado seco

Dispositivo Cuadrado

• Gradualmente aparecen múltiples picos resonantes con el aumento de corriente de inyección
• Los modos resonantes se distribuyen uniformemente en todo el dispositivo
• Densidad de corriente de punto de inflexión: 320 A/cm²

Dispositivo Hexagonal

• Muestra un pico agudo a 510 nm con ancho de línea gradualmente más estrecho
• Efecto de emisión resonante más pronunciado
• Densidad de corriente de punto de inflexión: 213 A/cm² (la más baja)

Características de Longitud de Onda de Pico

• Dispositivo poroso: La longitud de onda de pico se desplaza hacia el azul de 535 nm a 510 nm y luego se mantiene estable
• Dispositivo convencional: También muestra desplazamiento hacia el azul pero con cambios pequeños continuos
• Estabilidad: El dispositivo poroso tiene una longitud de onda más estable a corriente alta

Trabajo Relacionado

Soluciones Tradicionales

1. Estructura DBRs: Uso de espejos reflectantes TiO₂/SiO₂ o metálicos para construir cavidades resonantes
2. Estructura porosa multicapa: DBRs de GaN poroso superior e inferior
3. Estructura híbrida: Combinación de GaN poroso con DBRs dieléctricos

Ventajas de Este Trabajo

• Fabricación simple: La estructura de capa única es más fácil de fabricar que los DBRs multicapa
• Buena conductividad: Favorece la conducción de corriente vertical
• Rendimiento excelente: Logra un aumento de intensidad luminosa más alto
• Fuerte ajustabilidad: Logra diferentes características resonantes cambiando la forma geométrica

Conclusiones y Discusión

Conclusiones Principales

1. Se verificó exitosamente el concepto de capa porosa única: Se demuestra que la estructura porosa de capa única puede mejorar efectivamente el rendimiento del Micro-LED
2. Se logró una mejora de rendimiento significativa: Aumento máximo de 22 veces en intensidad luminosa y línea estrecha de 5,9 nm
3. Se descubrió el efecto dependiente de la forma: Los dispositivos poligonales muestran efecto resonante más fuerte que los dispositivos circulares
4. Se proporcionó un método de fabricación práctico: El flujo de proceso completo es adecuado para aplicaciones prácticas

Mecanismo Físico

• Mejora de limitación de luz: La capa porosa reduce el índice de refracción efectivo, mejorando la limitación de fotones en la región activa
• Efecto de cavidad resonante: La estructura porosa de capa única forma una cavidad óptica resonante efectiva
• Optimización de distribución de modos: La forma geométrica afecta la distribución de modos resonantes y la distancia de propagación de luz

Limitaciones

1. Aumento de resistencia: Aunque controlable, la estructura porosa aún aumenta la resistencia del dispositivo
2. Complejidad de fabricación: Requiere control preciso del proceso de grabado electroquímico
3. Dependencia de tamaño: El efecto puede estar relacionado con el tamaño específico del dispositivo
4. Estabilidad a largo plazo: La estabilidad a largo plazo de la estructura porosa requiere verificación adicional

Direcciones Futuras

1. Optimización de estructura porosa: Optimización adicional de parámetros como diámetro de poro y espaciamiento
2. Expansión de aplicaciones: Aplicación a otras longitudes de onda y tamaños de dispositivos
3. Aplicaciones en láseres: Exploración del potencial de aplicación en láseres
4. Fabricación en lote: Desarrollo de procesos adecuados para producción a gran escala

Evaluación Profunda

Ventajas

1. Fuerte innovación: El concepto de capa porosa única simplifica el método tradicional de DBRs
2. Experimentación suficiente: Investigación sistemática del rendimiento bajo diferentes formas y condiciones de corriente
3. Apoyo teórico: Proporciona análisis teórico del índice de refracción efectivo y resistencia
4. Alto valor práctico: El proceso es relativamente simple y adecuado para aplicaciones prácticas
5. Datos confiables: El aumento de rendimiento de 22 veces tiene gran poder de persuasión

Deficiencias

1. Profundidad del análisis de mecanismo: El análisis teórico de modos resonantes podría ser más profundo
2. Estabilidad a largo plazo: Faltan datos sobre la estabilidad de funcionamiento a largo plazo del dispositivo
3. Características de temperatura: No se investigó el rendimiento a diferentes temperaturas
4. Consistencia de lote: Faltan datos estadísticos sobre la consistencia de dispositivos en lotes grandes

Impacto

1. Valor académico: Proporciona nuevas ideas para mejorar el rendimiento del Micro-LED
2. Significado industrial: Proporciona una solución práctica para la tecnología de visualización de próxima generación
3. Promoción tecnológica: El proceso relativamente simple favorece la promoción y aplicación de la tecnología
4. Significado inspirador: Puede inspirar más investigación en dispositivos optoelectrónicos basados en estructuras porosas

Escenarios Aplicables

1. Visualización de alta gama: Aplicaciones de visualización de alta resolución y alto brillo
2. Dispositivos AR/VR: Aplicaciones que requieren fuentes de luz de pequeño tamaño y alto rendimiento
3. Iluminación profesional: Iluminación profesional que requiere línea estrecha y alto brillo
4. Comunicación óptica: Posible aplicación en sistemas de comunicación por luz visible
5. Láseres: Proporciona base técnica para láseres en miniatura

Referencias

El artículo cita 36 referencias relacionadas, cubriendo principalmente:

• Desarrollo de tecnología Micro-LED basada en GaN
• Investigación de LED de cavidad resonante y láseres
• Preparación y aplicación de estructura GaN porosa
• Teoría de óptica de microcavidad y modos resonantes

Evaluación General: Este es un artículo de investigación de física aplicada de alta calidad que propone el concepto innovador de capa porosa única para mejorar el rendimiento del Micro-LED, con diseño experimental razonable y resultados impresionantes. El aumento de rendimiento de 22 veces y el proceso de fabricación simplificado le confieren importante valor académico y perspectivas de aplicación. El artículo proporciona una solución práctica y efectiva para resolver el problema del "efecto de eficiencia-tamaño" del Micro-LED.