2025-11-17T22:25:13.445698

Cryogenic temperature dependence and hysteresis of surface-trap-induced gate leakage in GaN high-electron-mobility transistors

Pan, Lin, Chen et al.
This work provides a detailed mapping of various mechanisms of surface-trap-induced gate leakage in GaN HEMTs across a temperature range from room to cryogenic levels. Two-dimensional variable-range hopping is observed at small gate bias. Under higher reverse gate bias, the leakage is dominated by the Poole--Frenkel emission above 220 K, but gradually transitions to the trap-assisted tunneling below 220 K owing to the frozen-trap effect. The trap barrier height extracted from the gate leakage current under the upward gate sweep is 0.65 V, which is 12\% higher than that from the downward sweep. The gate leakage current as a function of the gate bias exhibits clockwise hysteresis loops above 220 K but counterclockwise ones below 220 K. This remarkable opposite hysteresis phenomenon is thoroughly explained by the trap mechanisms.
academic

Dependencia de temperatura criogénica e histéresis de la fuga de puerta inducida por trampas superficiales en transistores de alta movilidad de electrones de GaN

Información Básica

  • ID del Artículo: 2510.14456
  • Título: Cryogenic temperature dependence and hysteresis of surface-trap-induced gate leakage in GaN high-electron-mobility transistors
  • Autores: Ching-Yang Pan, Shi-Kai Lin, Yu-An Chen, Pei-hsun Jiang (National Taiwan Normal University)
  • Clasificación: cond-mat.mes-hall physics.app-ph
  • Fecha de Publicación: 16 de octubre de 2024
  • Enlace del Artículo: https://arxiv.org/abs/2510.14456

Resumen

Este estudio mapea detalladamente varios mecanismos de fuga de puerta inducida por trampas superficiales en transistores de alta movilidad de electrones de GaN (HEMTs), en un rango de temperatura desde temperatura ambiente hasta temperaturas extremadamente bajas. Se observa conducción de salto de rango variable bidimensional (2D-VRH) bajo pequeñas polarizaciones de puerta. Bajo polarizaciones de puerta inversas más altas, la fuga por encima de 220 K está dominada principalmente por emisión de Poole-Frenkel, pero se transforma gradualmente en tunelización asistida por trampas por debajo de 220 K debido al efecto de congelación de trampas. La altura de barrera de trampa extraída del barrido de puerta ascendente es de 0.65 V, un 12% más alta que la del barrido descendente. La relación funcional entre la corriente de fuga de puerta y la polarización de puerta exhibe un ciclo de histéresis en sentido horario por encima de 220 K, pero un ciclo de histéresis en sentido antihorario por debajo de 220 K. Este fenómeno de histéresis opuesta significativa se explica completamente mediante mecanismos de trampa.

Antecedentes de Investigación y Motivación

  1. Problemas a Resolver:
    • Los mecanismos de fuga de puerta en GaN HEMTs en ambientes criogénicos extremos aún no han sido suficientemente estudiados
    • La fuga de puerta inducida por trampas superficiales tiene un impacto grave en la confiabilidad del dispositivo
    • Falta una investigación sistemática del comportamiento de histéresis de fuga de puerta a temperaturas extremadamente bajas
  2. Importancia del Problema:
    • La demanda de dispositivos electrónicos criogénicos crece continuamente en aplicaciones aeroespaciales, computación cuántica y sistemas superconductores
    • Los GaN HEMTs muestran un desempeño superior a bajas temperaturas, pero los efectos de trampa limitan la confiabilidad del dispositivo
    • La fuga de puerta reduce el voltaje de ruptura e incrementa el consumo de potencia en estado apagado
  3. Limitaciones de Métodos Existentes:
    • Investigaciones previas se enfocaron principalmente en la dependencia de temperatura de fuga de puerta por encima de temperatura ambiente
    • Falta investigación profunda sobre fuga de puerta superficial a temperaturas extremadamente bajas
    • Comprensión insuficiente del mecanismo físico del comportamiento de histéresis de fuga de puerta
  4. Motivación de la Investigación:
    • Proporcionar base teórica para el desarrollo y aplicación de dispositivos GaN a temperaturas extremadamente bajas
    • Revelar mecanismos físicos de fuga de puerta en diferentes rangos de temperatura
    • Establecer la correlación entre mecanismos de trampa y comportamiento de histéresis

Contribuciones Principales

  1. Mapeo sistemático de varios mecanismos de fuga de puerta en GaN HEMTs en el rango de temperatura de 300 K a 1.5 K
  2. Descubrimiento y explicación de la transición de mecanismo de emisión de Poole-Frenkel a tunelización asistida por trampas alrededor de 220 K
  3. Primera observación del fenómeno de inversión de dirección del ciclo de histéresis de fuga de puerta antes y después de 220 K
  4. Proporcionar medición precisa de altura de barrera de trampa (0.65 V) y su relación con la dirección de barrido
  5. Establecer modelo de correlación física entre diferentes mecanismos de fuga e comportamiento de histéresis

Explicación Detallada de Métodos

Estructura y Preparación del Dispositivo

  • Sustrato: Capa amortiguadora de superlattice GaN/AlGaN de 4 μm de espesor en sustrato Si(111)
  • Heteroestructura: GaN(200 nm)/Al₀.₂Ga₀.₈N(25 nm) formando canal de gas de electrones bidimensional
  • Electrodos: Electrodos fuente-drenaje Ti/Al/Ti/Au, electrodo de puerta Ni/Au/Ti
  • Capa de Pasivación: Capa de pasivación SiO₂ de 450 nm
  • Dimensiones del Dispositivo: Ancho de puerta 100 μm, longitud de puerta 3-5 μm, distancia fuente-puerta 3-5 μm, distancia puerta-drenaje 20-30 μm

Métodos de Prueba

  • Rango de Temperatura: Mediciones sistemáticas de 300 K a 1.5 K
  • Caracterización Eléctrica: Características I-V, características C-V, mediciones de movilidad y concentración de portadores
  • Prueba de Fuga de Puerta: Barrido de voltaje de puerta bidireccional, pruebas a diferentes velocidades de barrido
  • Pruebas de Estrés: Mediciones dependientes del tiempo bajo voltaje de puerta fijo

Modelos Teóricos

  1. Conducción de Salto de Rango Variable Bidimensional (2D-VRH): I2DVRH=I0exp[(T0T)1/3]I_{2D-VRH} = I_0 \exp\left[-\left(\frac{T_0}{T}\right)^{1/3}\right]
  2. Emisión de Poole-Frenkel (PFE): IPFEEexp[qkT(qEπϵϕPFE)]I_{PFE} \propto E \exp\left[\frac{q}{kT}\left(\sqrt{\frac{qE}{\pi\epsilon}} - \phi_{PFE}\right)\right]
  3. Tunelización Asistida por Trampa (TAT): ITATexp(8π2mq3hϕTAT3/2E)I_{TAT} \propto \exp\left(-\frac{8\pi\sqrt{2m^*q}}{3h}\frac{\phi_{TAT}^{3/2}}{E}\right)

Configuración Experimental

Parámetros del Dispositivo

  • Muestra representativa: LG = 5 μm, LSG = 3 μm, LGD = 30 μm
  • Densidad de portadores a temperatura ambiente: ~9×10¹² cm⁻²
  • Movilidad a temperatura ambiente: 1108 cm²/(V·s)
  • Movilidad a 1.5 K: 2323 cm²/(V·s)

Condiciones de Medición

  • Paso de temperatura: cada 25 K por encima de 200 K, cada 20 K por debajo de 200 K
  • Rango de barrido de voltaje de puerta: -10 V a +2 V
  • Velocidad de barrido: ±0.05 V por 18-250 ms
  • Tiempo de estrés: máximo 90 segundos

Indicadores de Evaluación

  • Relación entre corriente de fuga de puerta IG y voltaje de puerta VG
  • Alturas de barrera de trampa φPFE y φTAT
  • Área y dirección del ciclo de histéresis
  • Índice de dependencia de temperatura

Resultados Experimentales

Resultados Principales

  1. Clasificación por Temperatura:
    • Región de alta temperatura (300-220 K): PFE dominante
    • Región de temperatura media (200-140 K): Transición de PFE a TAT
    • Región de baja temperatura (120-1.5 K): TAT dominante, dependencia de temperatura desaparece
  2. Identificación de Mecanismo de Fuga:
    • VG > 0.3 V: Emisión termiónica de Schottky
    • -1 V < VG < 0.3 V: Mecanismo 2D-VRH
    • VG < -4 V: PFE (alta temperatura) o TAT (baja temperatura)
  3. Altura de Barrera de Trampa:
    • Barrido ascendente: φPFE = 0.65 V
    • Barrido descendente: φPFE = 0.58 V
    • Diferencia: 12%

Fenómeno de Histéresis

  1. Dirección de Histéresis:
    • T > 220 K: Ciclo de histéresis en sentido horario
    • T < 220 K: Ciclo de histéresis en sentido antihorario
    • T = 220 K: Histéresis mínima
  2. Dependencia de Velocidad de Barrido:
    • Alta temperatura: Histéresis insensible a velocidad de barrido
    • Baja temperatura: Fuerte dependencia de velocidad de barrido
  3. Dependencia Temporal:
    • T > 220 K: IG aumenta con el tiempo
    • T < 220 K: IG disminuye con el tiempo

Explicación del Mecanismo Físico

  1. Mecanismo PFE (T > 220 K):
    • Excitación térmica de electrones desde trampas a la banda de conducción
    • Más electrones de trampa proporcionan un depósito de portadores más grande
    • Produce histéresis en sentido horario
  2. Mecanismo TAT (T < 220 K):
    • Efecto de congelación de trampa, emisión de electrones mediante tunelización
    • Aumento de ocupación de trampa suprime corriente de tunelización
    • Produce histéresis en sentido antihorario

Trabajo Relacionado

Direcciones Principales de Investigación

  1. Investigación de características criogénicas extremas de GaN HEMTs
  2. Investigación de mecanismos de trampa en dispositivos semiconductores
  3. Análisis de dependencia de temperatura de fuga de puerta
  4. Fenómeno de histéresis en diodos Schottky

Singularidad de Este Artículo

  • Primera investigación sistemática de fuga de puerta en GaN HEMTs en un rango de temperatura extremadamente amplio
  • Descubrimiento y explicación de la inversión de dirección de histéresis dependiente de temperatura
  • Establecimiento de límites claros entre diferentes mecanismos de fuga

Conclusiones y Discusión

Conclusiones Principales

  1. Transición de Mecanismo: 220 K es el punto de temperatura crítico para la transición de PFE a TAT
  2. Inversión de Histéresis: La inversión de dirección de histéresis corresponde directamente al cambio en el mecanismo de fuga
  3. Efecto de Congelación de Trampa: La congelación de trampas a baja temperatura es la causa fundamental del mecanismo TAT e histéresis antihoraria
  4. Valor Práctico: La medición de histéresis puede servir como herramienta conveniente para identificar mecanismos de fuga

Limitaciones

  1. Limitaciones de Material: La investigación se limita a dispositivos de crecimiento MOCVD con pasivación SiO₂
  2. Rango de Temperatura: La relación señal-ruido en ciertos rangos de temperatura limita el análisis preciso
  3. Modelo Teórico: La no uniformidad de la distribución de campo eléctrico afecta la extracción precisa de altura de barrera TAT

Direcciones Futuras

  1. Optimización de Proceso: Investigar efectos de diferentes materiales de pasivación y métodos de crecimiento
  2. Perfeccionamiento Teórico: Establecer modelo más preciso de distribución de campo eléctrico superficial
  3. Aplicación de Dispositivos: Desarrollar estrategias de mejora de confiabilidad basadas en comprensión de mecanismos de trampa

Evaluación Profunda

Ventajas

  1. Sistematicidad Fuerte: Cubre un rango de temperatura extremadamente amplio, proporcionando una imagen física completa
  2. Mecanismo Claro: Identifica claramente diferentes mecanismos de fuga mediante ajuste de múltiples modelos teóricos
  3. Fenómeno Novedoso: Primera observación de inversión de dirección de histéresis dependiente de temperatura
  4. Explicación Razonable: La explicación del mecanismo basada en física de trampa es lógicamente clara y convincente
  5. Valor Práctico: Proporciona referencia importante para diseño de dispositivos GaN a temperaturas extremadamente bajas y evaluación de confiabilidad

Deficiencias

  1. Limitaciones de Muestra: Solo estudia una estructura de dispositivo específica y condiciones de proceso
  2. Simplificación de Modelo: Algunas interacciones complejas de trampa pueden ser ignoradas
  3. Análisis Cuantitativo: Extracción de algunos parámetros limitada por condiciones experimentales

Impacto

  1. Valor Académico: Proporciona nueva perspectiva y método para investigación de física de dispositivos GaN
  2. Perspectiva de Aplicación: Tiene importancia significativa para aplicaciones criogénicas extremas como computación cuántica
  3. Contribución de Método: La medición de histéresis como herramienta de identificación de mecanismo tiene valor de promoción

Escenarios Aplicables

  1. Electrónica Criogénica Extrema: Sistemas aeroespaciales, computación cuántica
  2. Electrónica de Potencia: Convertidores de fuente de alimentación de alta eficiencia
  3. Aplicaciones de Radiofrecuencia: Amplificadores de bajo ruido, amplificadores de potencia
  4. Confiabilidad de Dispositivos: Análisis de fallos y predicción de vida útil

Referencias

El artículo cita 93 referencias relacionadas, cubriendo trabajo importante en múltiples campos incluyendo física de dispositivos GaN, mecanismos de trampa y electrónica criogénica extrema, proporcionando base teórica sólida y referencias comparativas para la investigación.


Evaluación General: Este es un artículo de física experimental de alta calidad que investiga sistemática y profundamente los mecanismos de fuga de puerta en GaN HEMTs a temperaturas criogénicas extremas, descubre nuevos fenómenos físicos y proporciona explicaciones teóricas razonables. Los resultados de la investigación tienen importancia significativa para promover la aplicación de dispositivos GaN en ambientes extremos.