Performances optiques améliorées des micro-diodes électroluminescentes GaN avec une couche poreuse unique

Informations de base

• ID de l'article: 2501.00455
• Titre: Enhanced optical performance of GaN Micro-light-emitting diodes with a single porous layer
• Auteurs: Ziwen Yan, Xianfei Zhang, Yuyin Li, Zili Xie, Xiangqian Xiu, Dunjun Chen, Ping Han, Yi Shi, Rong Zhang, Youdou Zheng, et Peng Chen
• Institution: École des sciences et de l'ingénierie électroniques, Université de Nanjing, Laboratoire clé provincial du Jiangsu pour les matériaux photoniques et électroniques avancés
• Classification: physics.optics physics.app-ph
• Lien de l'article: https://arxiv.org/abs/2501.00455

Résumé

Les micro-diodes électroluminescentes (Micro-LEDs) efficaces sont des dispositifs clés pour les technologies d'affichage de nouvelle génération. Cependant, lorsque la taille de la mesa est réduite à quelques dizaines de micromètres ou moins, l'efficacité lumineuse est limitée par l'« effet d'efficacité-taille ». Cette étude décrit en détail la fabrication de Micro-LEDs à base de nitrure de gallium (GaN) avec une couche poreuse unique sous différentes formes de mesa et régions actives. Une couche poreuse est créée en combinant une structure d'épitaxie LED verte améliorée avec une couche n-GaN dopée différemment et une gravure électrochimique. La forte confinement optique réalisé par la couche poreuse et la mesa polygonale améliore considérablement l'émission spontanée. L'intensité lumineuse des Micro-LEDs avec couche poreuse est environ 22 fois supérieure à celle des dispositifs sans couche poreuse. Une réduction significative de la largeur à mi-hauteur (FWHM) minimale est observée dans les dispositifs polygonaux, indiquant un changement du mécanisme d'émission. L'influence de différentes géométries de dispositifs sur les performances d'émission a été étudiée. Les résultats expérimentaux montrent que, contrairement aux Micro-LEDs poreux circulaires, les Micro-LEDs poreux carrés et hexagonaux présentent une émission résonante plus prononcée.

Contexte de recherche et motivation

Identification des problèmes

1. Problème de l'« effet d'efficacité-taille »: L'efficacité maximale diminue considérablement lorsque la taille des Micro-LEDs est réduite à quelques dizaines de micromètres ou moins
2. Recombinaison non radiative en surface: À mesure que la taille du dispositif diminue, le rapport surface-volume augmente, entraînant une augmentation de la recombinaison non radiative sur les surfaces latérales
3. Limitations des solutions existantes: Les structures traditionnelles de réflecteurs de Bragg distribués (DBRs) nécessitent des techniques de fabrication complexes et une croissance épitaxiale précise

Importance de la recherche

• Les Micro-LEDs sont des dispositifs essentiels pour les technologies d'affichage de nouvelle génération, avec une demande croissante dans les affichages haute résolution, l'AR/VR et les applications médicales
• La demande de dispositifs Micro-LED à haute luminosité et ligne étroite augmente continuellement
• La résolution du problème d'efficacité des petits dispositifs est essentielle pour réaliser une technologie d'affichage haute performance

Limitations des méthodes existantes

• La fabrication de structures DBRs est complexe et nécessite une croissance épitaxiale précise
• Les structures multicouches augmentent la difficulté et le coût de fabrication
• Elles peuvent avoir des effets négatifs sur la conduction du courant vertical

Contributions principales

1. Proposition d'une structure de couche poreuse unique: Comparée aux structures DBRs complexes, une couche poreuse GaN monocouche est plus facile à fabriquer et favorable à la conduction du courant vertical
2. Réalisation d'une augmentation significative de l'intensité lumineuse: L'intensité lumineuse des Micro-LEDs poreux est 22 fois supérieure à celle des dispositifs traditionnels
3. Découverte d'effets résonants dépendant de la forme: Les Micro-LEDs poreux carrés et hexagonaux présentent une émission résonante plus prononcée que les dispositifs circulaires
4. Fourniture d'un processus de fabrication complet: Description détaillée du processus complet de la croissance épitaxiale à la fabrication du dispositif
5. Réalisation d'une émission à ligne étroite: FWHM minimal d'environ 5,9 nm, indiquant un changement du mécanisme d'émission

Détails méthodologiques

Définition de la tâche

Concevoir et fabriquer des Micro-LEDs à base de GaN avec une couche poreuse unique, améliorer les performances lumineuses du dispositif par effet de confinement optique, et étudier l'influence de différentes formes géométriques sur l'émission résonante.

Conception de la structure du dispositif

Structure d'épitaxie

• Substrat: Substrat Si (111)
• Couche tampon: Couche tampon AlN/AlGaN
• Couche conductrice: GaN non dopé (u-GaN) d'épaisseur 1 μm
• Couche de type n:
  • GaN de type n légèrement dopé d'épaisseur 1 μm (Si: 1,5×10¹⁸/cm³)
  • GaN de type n fortement dopé d'épaisseur 1 μm (Si: 8,5×10¹⁸/cm³) - convertie en couche poreuse
• Couche de protection: Couche u-GaN de 100 nm
• Région active: Puits quantiques multiples (MQWs) InGaN/GaN de 150 nm
• Couche de type p: Couche p-GaN d'épaisseur 100 nm

Processus de fabrication

1. Transfert de motif: Dépôt de couche SiO₂ par PECVD pour le transfert de motif
2. Gravure de mesa: Gravure ICP pour former la mesa Micro-LED, gravée jusqu'à la couche n-GaN légèrement dopée
3. Gravure électrochimique: Conversion de la couche n-GaN fortement dopée en structure poreuse
4. Passivation: Élimination de SiO₂ de surface avec solution BOE, regénération d'une couche de passivation SiO₂
5. Métallisation: Dépôt de multicouches métalliques Cr/Al/Ni/Au comme contacts de type p et n

Points d'innovation technique

Conception de couche poreuse unique

• Ajustement de l'indice de réfraction effectif: L'indice de réfraction effectif de la couche poreuse varie avec le diamètre des pores, passant de 2,39 à 1,87
• Mécanisme de confinement optique: Augmentation de la différence d'indice de réfraction entre la région active et le milieu environnant, renforçant la capacité de confinement des photons dans la région active
• Optimisation de la conduction du courant: Comparée aux structures DBRs multicouches, la conception monocouche est favorable à la conduction du courant vertical

Optimisation de la forme géométrique

• Circulaire: Supporte principalement les modes de galerie à susurrement (WGM) en bordure
• Carré et hexagonal: Les modes sont uniformément distribués dans tout le dispositif, avec un effet de résonance plus prononcé

Modèle d'analyse de résistance

Établissement d'un modèle de rapport de résistance effectif pour la structure poreuse:

rS = (S₀ - Shole) / S₀ = 1 - n·π·rhole²/π·r²
rR = 1/rS

où n est le nombre de pores, déterminé par la géométrie du dispositif et l'espacement des pores.

Configuration expérimentale

Paramètres du dispositif

• Forme du dispositif: Circulaire (diamètre 60 μm), carré (côté 50 μm), hexagonal (côté 30 μm)
• Paramètres de la couche poreuse: Diamètre des pores 20-60 nm, espacement ajustable
• Température de test: Température ambiante

Méthodes de test

• Observation morphologique: Microscope optique
• Caractéristiques électriques: Mesure des caractéristiques I-V avec source Keithley 2601A
• Caractéristiques optiques: Système de spectroscopie de photoluminescence Renishaw inVia Reflex pour mesurer les spectres EL
• Analyse comparative: Fabrication de dispositifs poreux et conventionnels sur le même échantillon pour comparaison directe

Indicateurs d'évaluation

• Intensité lumineuse: Comparaison de l'intensité EL à courant d'injection identique
• Largeur de ligne: Largeur à mi-hauteur (FWHM)
• Longueur d'onde de pic: Variation avec la densité de courant
• Performances électriques: Courbes caractéristiques J-V

Résultats expérimentaux

Résultats principaux

Performances électriques

• Bonnes performances de conduction: Tous les dispositifs présentent une bonne tension de seuil et une montée rapide de la densité de courant
• Influence de la résistance contrôlable: Avec le diamètre de pore maximal (60 nm), la résistance effective n'est que 2 fois celle du dispositif conventionnel, restant acceptable
• Conduction du courant: La couche poreuse n'affecte pas significativement la capacité de conduction du courant du dispositif

Amélioration des performances optiques

1. Augmentation significative de l'intensité lumineuse:
   • Micro-LED poreux circulaire: Augmentation de 2,64 fois
   • Micro-LED poreux carré: Augmentation de 4,86 fois
   • Micro-LED poreux hexagonal: Augmentation de 22 fois
2. Réduction significative de la largeur de ligne:
   • FWHM minimal d'environ 5,9 nm
   • Les dispositifs polygonaux présentent des pics de résonance évidents
3. Changement du mécanisme d'émission:
   • Les dispositifs conventionnels sont principalement basés sur l'émission spontanée
   • Les dispositifs poreux présentent un pic aigu à 510 nm différent de l'émission spontanée

Effets résonants dépendant de la forme

Dispositif circulaire

• Présente principalement l'émission spontanée
• Seul un petit pic aigu à 510 nm
• Les modes de galerie à susurrement sont principalement situés en bordure du dispositif, facilement endommagés par la gravure sèche

Dispositif carré

• Apparition progressive de pics de résonance multiples avec l'augmentation du courant d'injection
• Les modes de résonance sont uniformément distribués dans tout le dispositif
• Densité de courant au point d'inflexion: 320 A/cm²

Dispositif hexagonal

• Affiche un pic aigu à 510 nm avec une largeur de ligne qui se rétrécit progressivement
• Effet d'émission résonante le plus prononcé
• Densité de courant au point d'inflexion: 213 A/cm² (la plus basse)

Caractéristiques de la longueur d'onde de pic

• Dispositifs poreux: La longueur d'onde de pic se décale vers le bleu de 535 nm à 510 nm puis reste stable
• Dispositifs conventionnels: Présentent également un décalage vers le bleu accompagné de petites variations continues
• Stabilité: Les dispositifs poreux présentent une longueur d'onde plus stable à courant élevé

Travaux connexes

Solutions traditionnelles

1. Structures DBRs: Utilisation de miroirs TiO₂/SiO₂ ou métalliques pour construire une cavité résonante
2. Structures poreuses multicouches: DBRs GaN poreux supérieur et inférieur
3. Structures hybrides: Combinaison de GaN poreux et DBRs diélectriques

Avantages de ce travail

• Fabrication simple: La structure monocouche est plus facile à fabriquer que les DBRs multicouches
• Bonne conductivité: Favorable à la conduction du courant vertical
• Performances excellentes: Réalisation d'une augmentation plus élevée de l'intensité lumineuse
• Forte ajustabilité: Réalisation de différentes caractéristiques résonantes en changeant la forme géométrique

Conclusions et discussion

Conclusions principales

1. Vérification réussie du concept de couche poreuse unique: Démonstration qu'une structure poreuse monocouche peut améliorer efficacement les performances des Micro-LEDs
2. Réalisation d'une amélioration significative des performances: Augmentation maximale de 22 fois de l'intensité lumineuse et ligne étroite de 5,9 nm
3. Découverte d'effets dépendant de la forme: Les dispositifs polygonaux présentent des effets de résonance plus forts que les dispositifs circulaires
4. Fourniture d'une méthode de fabrication pratique: Un processus complet adapté aux applications pratiques

Mécanisme physique

• Amélioration du confinement optique: La couche poreuse réduit l'indice de réfraction effectif, renforçant le confinement des photons dans la région active
• Effet de cavité résonante: La structure poreuse monocouche forme une cavité optique résonante efficace
• Optimisation de la distribution des modes: La forme géométrique influence la distribution des modes de résonance et la propagation de la lumière

Limitations

1. Augmentation de la résistance: Bien que contrôlable, la structure poreuse augmente toujours la résistance du dispositif
2. Complexité de fabrication: Nécessite un contrôle précis du processus de gravure électrochimique
3. Dépendance à la taille: L'effet peut être lié à la taille spécifique du dispositif
4. Stabilité à long terme: La stabilité à long terme de la structure poreuse nécessite une vérification supplémentaire

Directions futures

1. Optimisation de la structure poreuse: Optimisation supplémentaire des paramètres tels que le diamètre et l'espacement des pores
2. Extension des applications: Application à d'autres longueurs d'onde et tailles de dispositifs
3. Applications laser: Exploration du potentiel d'application dans les lasers
4. Fabrication en masse: Développement de processus adaptés à la production à grande échelle

Évaluation approfondie

Points forts

1. Innovation forte: Le concept de couche poreuse unique simplifie la méthode DBRs traditionnelle
2. Expérimentation complète: Étude systématique des performances sous différentes formes et conditions de courant
3. Support théorique: Fourniture d'analyses théoriques de l'indice de réfraction effectif et de la résistance
4. Valeur pratique élevée: Processus relativement simple, adapté aux applications pratiques
5. Données convaincantes: L'amélioration de performance de 22 fois est très convaincante

Insuffisances

1. Profondeur d'analyse des mécanismes: L'analyse théorique des modes de résonance pourrait être plus approfondie
2. Stabilité à long terme: Absence de données sur la stabilité du fonctionnement à long terme du dispositif
3. Caractéristiques de température: Absence d'étude des performances à différentes températures
4. Cohérence de la production en masse: Absence de données statistiques sur la cohérence des dispositifs en grande quantité

Impact

1. Valeur académique: Fournit une nouvelle perspective pour l'amélioration des performances des Micro-LEDs
2. Signification industrielle: Fournit une solution pratique pour les technologies d'affichage de nouvelle génération
3. Promotion technologique: Le processus relativement simple facilite la promotion et l'application technologiques
4. Signification inspirante: Peut inspirer davantage de recherches sur les dispositifs optoélectroniques basés sur des structures poreuses

Scénarios d'application

1. Affichages haute performance: Applications d'affichage haute résolution et haute luminosité
2. Dispositifs AR/VR: Applications nécessitant des sources lumineuses haute performance de petite taille
3. Éclairage professionnel: Éclairage professionnel nécessitant une ligne étroite et une haute luminosité
4. Communications optiques: Application potentielle dans les systèmes de communication par lumière visible
5. Lasers: Fourniture d'une base technologique pour les micro-lasers

Références

L'article cite 36 références connexes, couvrant principalement:

• Développement de la technologie Micro-LED à base de GaN
• Recherche sur les LEDs à cavité résonante et les lasers
• Préparation et application de structures GaN poreuses
• Théorie de l'optique microcavité et des modes de résonance

Évaluation globale: Cet article est un travail de recherche en physique appliquée de haute qualité qui propose un concept innovant de couche poreuse unique pour améliorer les performances des Micro-LEDs. La conception expérimentale est rationnelle et les résultats sont impressionnants. L'amélioration de performance de 22 fois et le processus de fabrication simplifié lui confèrent une valeur académique importante et des perspectives d'application. L'article fournit une solution pratique et efficace au problème de l'« effet d'efficacité-taille » des Micro-LEDs.