Conception robuste de la commande par réinitialisation pour nano-positionneurs actionnés par piézoélectrique en présence de non-linéarité d'hystérésis

Informations fondamentales

• ID de l'article: 2510.09445
• Titre: Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity
• Auteurs: A. Sebghati, S. H. HosseinNia (Université de technologie de Delft)
• Classification: eess.SY (Systèmes et Contrôle), cs.SY (Systèmes et Contrôle)
• Date de publication: 10 octobre 2025 (prépublication arXiv)
• Lien de l'article: https://arxiv.org/abs/2510.09445

Résumé

Cet article propose une approche de commande non-linéaire robuste basée sur l'analyse fréquentielle pour une classe de systèmes de nano-positionnement actionnés par piézoélectrique. La non-linéarité d'hystérésis inhérente aux matériaux piézoélectriques réduit la précision de suivi pour les contenus haute fréquence et les signaux de référence sur différentes plages de course. Comme les méthodes de compensation d'hystérésis par modèle inverse existantes ne sont pas fiables lorsqu'elles sont utilisées seules, un cadre de commande robuste aux non-linéarités résiduelles est nécessaire. L'étude montre que la conception de commande linéaire robuste présente des limitations inévitables en matière d'amélioration des performances. Cet article établit une méthode de commande robuste basée sur des éléments d'ordre fractionnaire complexe pour atténuer cette limitation, puis réalise la commande d'ordre fractionnaire complexe en utilisant un contrôleur par réinitialisation à gain constant et avance de phase (CgLp). La conception de la commande repose sur les outils de fonction de description d'entrée sinusoïdale (SIDF) et de SIDF d'ordre supérieur (HOSIDF), et fournit des problèmes d'optimisation sous contrainte pour ajuster les paramètres de commande.

Contexte et motivation de la recherche

Définition du problème

Les nano-positionneurs actionnés par piézoélectrique jouent un rôle important dans les machines de haute précision et doivent suivre avec précision des trajectoires périodiques haute vitesse sur une large plage d'amplitudes. Cependant, la non-linéarité d'hystérésis inhérente aux matériaux piézoélectriques affecte gravement les performances du système :

1. Problème de non-linéarité d'hystérésis: La caractéristique d'hystérésis des matériaux piézoélectriques se manifeste par une incertitude du gain en continu, avec des mesures expérimentales montrant des variations de gain en continu jusqu'à 215%
2. Limitations des méthodes de compensation existantes: Les méthodes de compensation par modèle inverse traditionnelles ne peuvent pas éliminer complètement les effets d'hystérésis en raison de leur sensibilité à la précision des paramètres du modèle
3. Limitations intrinsèques de la commande linéaire: En raison de l'effet de lit d'eau et de la relation gain-phase de Bode, la commande linéaire robuste présente des compromis inévitables dans l'amélioration des performances

Motivation de la recherche

• Demande croissante de bande passante plus large et de précision plus élevée dans les applications de haute précision
• Nécessité de développer des systèmes de commande de mouvement robustes aux non-linéarités d'hystérésis résiduelles
• Dépassement des limitations des compromis entre robustesse et bande passante de la commande linéaire traditionnelle

Contributions principales

1. Contribution théorique: Établissement d'un cadre théorique de commande robuste basé sur des éléments d'ordre fractionnaire complexe, démontrant sa capacité à dépasser les limitations intrinsèques de la commande linéaire
2. Innovation méthodologique: Proposition d'une nouvelle méthode pour réaliser la commande d'ordre fractionnaire complexe en utilisant un contrôleur par réinitialisation CgLp
3. Outils de conception: Développement d'une méthode de conception fréquentielle basée sur SIDF et HOSIDF et d'une stratégie d'ajustement des paramètres par optimisation sous contrainte
4. Amélioration des performances: Réalisation d'une augmentation de bande passante d'environ 20% et d'une amélioration significative de la précision tout en maintenant la robustesse

Détail des méthodes

Définition de la tâche

Conception d'un contrôleur robuste pour un système de nano-positionnement piézoélectrique présentant une incertitude du gain en continu, où :

• Entrée: Signal de position de référence
• Sortie: Position réelle
• Conditions de contrainte: Marge de phase φ ∈ φₘ, φₘ, incertitude du gain en continu κ ∈ 1, κ̄
• Objectif: Maximiser la bande passante robuste tout en garantissant la précision de suivi et la stabilité du système

Modélisation du système

Le positionneur piézoélectrique adopte un modèle linéaire incertain :

P(jω, κ) = Pₑ(jω) · Pₘ(jω, κ)
Pₘ(jω, κ) = κ · Pₘ(jω)

où :

• Pₑ(jω) = Kₑ/(jω/ωₑ + 1) représente la dynamique électrique
• Pₘ(jω) = Kₘ/((jω/ωₘ)² + 2ξₘ/ωₘ·jω + 1) représente la dynamique mécanique
• κ est le paramètre d'incertitude du gain en continu

Théorie de la commande d'ordre fractionnaire complexe

Fondements théoriques

Pour les systèmes linéaires présentant une incertitude du gain en continu, l'article propose des éléments de commande d'ordre fractionnaire complexe :

C̃(jω) = e^(j(1-γ̃)/2 · arctan(ω/ω̃ᵣ))

où γ̃ ∈ -1,+1, ω̃ᵣ est la fréquence de transition.

Théorème 1 - Conclusion clé: En ajoutant un élément d'ordre fractionnaire complexe idéal à une base de commande linéaire robuste donnée, on peut toujours réaliser une bande passante robuste plus élevée sans compromettre les caractéristiques de gain en boucle ouverte et la robustesse.

Implémentation du contrôleur par réinitialisation CgLp

Structure du contrôleur

Le contrôleur CgLp est composé d'un élément de réinitialisation du premier ordre (FORE) et d'un filtre d'avance du premier ordre en série :

• Dynamique linéaire de base FORE: Rᵦₗ = 1/(jω/ωᵣ + 1)
• Filtre d'avance: Cₗ(jω) = (jω/αωᵣ + 1)/(jω/ωf + 1)

Analyse SIDF

La fonction de description d'entrée sinusoïdale du contrôleur CgLp est :

C₁(jω) = R₁(jω) · Cₗ(jω)
R₁(jω) = 1/(jω/ωᵣ + 1) · (1 + j·2ω²(1-γ)(1+e^(-π·ω/ωᵣ))/(π(1+γe^(-π·ωᵣ/ω))(ω²+ωᵣ²)))

Stratégie d'optimisation des paramètres

Une méthode d'optimisation sous contrainte est utilisée pour ajuster les paramètres CgLp :

max f_c(1)
γ,fᵣ,ff

subject to: ∠L₁(jωc) ∈ [-180° + φₘ, -180° + φₘ]
           γ ∈ [γₘ, 1], fᵣ > ν·ff, ff < fₘ

Configuration expérimentale

Plateforme expérimentale

• Équipement: Plateforme unidirectionnelle P-621.1CD PIHera, équipée d'un actionneur piézoélectrique et d'un capteur capacitif
• Plage de course: -10, 120 μm
• Résolution: 0,2 nm
• Amplificateur: Module numérique E712, plage d'entrée -3, 13,5 V, plage de sortie -30, 135 V

Paramètres du système

Paramètres du système identifiés expérimentalement :

• Dynamique électrique: Kₑ = 10, fₑ = 935 Hz
• Dynamique mécanique: Kₘ = 0,4986 μm/V, fₘ = 747 Hz, ξₘ = 0,0089
• Incertitude: κ = 1,6165 (variation du gain en continu de 62%)

Indicateurs d'évaluation

• Indicateurs de bande passante: Fréquence de croisement fc et fréquence de croisement moyenne f̄c
• Indicateurs de robustesse: Marge de phase φ ∈ 60°, 71°
• Indicateurs de précision: Critère ±1 dB de la fonction de sensibilité complémentaire
• Performances temporelles: Temps de montée, dépassement, intégrale de l'erreur absolue (IAE)

Méthodes de comparaison

1. Commande linéaire robuste: Approche linéaire basée sur un contrôleur PI du second ordre et un filtre d'encoche
2. Commande linéaire non robuste: Contrôleur linéaire ne tenant pas compte de l'incertitude

Résultats expérimentaux

Résultats principaux

Performances fréquentielles

• Augmentation de la bande passante:
  • Cas nominal: fc*(1) passe de 220 Hz à 269 Hz (augmentation de 22,3%)
  • Cas le plus défavorable: fc*(κ) passe de 376 Hz à 441 Hz (augmentation de 17,3%)
  • Augmentation moyenne de la bande passante d'environ 20%
• Maintien de la robustesse: La marge de phase reste dans la plage 60°, 71° sur toute la plage d'incertitude

Amélioration des caractéristiques en boucle ouverte

Grâce au contrôleur CgLp, la phase en boucle ouverte à proximité de fc*(κ) a été augmentée avec succès tout en maintenant le gain en boucle ouverte pratiquement inchangé, validant les prédictions théoriques de la commande d'ordre fractionnaire complexe.

Vérification temporelle

Réponse indicielle

• Temps de montée: Amélioration significative par rapport à la commande linéaire robuste
• Dépassement: Maintenu dans la plage 10%-13%, tandis que le dépassement de la commande linéaire non robuste varie entre 10%-18%
• Robustesse: Maintien de performances stables sur toute la plage d'incertitude du gain en continu

Performance de suivi sinusoïdal

Évaluation utilisant l'indicateur IAE, le contrôleur CgLp montre une amélioration significative de la précision par rapport aux méthodes de commande linéaire.

Vérification HOSIDF

L'analyse harmonique d'ordre supérieur montre que :

• |S∞(κ)| ≈ |S₁(κ)|, |T∞(κ)| ≈ |T₁(κ)|
• Validation de l'efficacité de l'analyse SIDF, avec une influence des harmoniques d'ordre supérieur suffisamment faible

Expériences d'ablation

Par comparaison avec différents schémas de commande, validation de :

1. La nécessité des éléments d'ordre fractionnaire complexe
2. L'efficacité de l'implémentation CgLp
3. La rationalité de la stratégie d'optimisation des paramètres

Travaux connexes

Commande des systèmes piézoélectriques

• Méthodes traditionnelles: Compensation d'hystérésis par modèle inverse, mais présentant des problèmes de complexité du modèle et de sensibilité des paramètres
• Commande linéaire: Méthodes telles que la commande à amortissement égal fournissant la robustesse par avance de phase, mais présentant des compromis bande passante-robustesse

Théorie de la commande par réinitialisation

• Intégrateur de Clegg: Concept de commande non-linéaire proposé en 1958
• Outils SIDF/HOSIDF: Permettant la conception et l'analyse en fréquence de la commande par réinitialisation
• Commande CgLp: Applications récentes dans les systèmes de mouvement de précision

Positionnement de la contribution de cet article

Cet article combine pour la première fois la théorie de la commande d'ordre fractionnaire complexe avec la commande par réinitialisation CgLp, fournissant une solution dépassant les limitations de la commande linéaire pour les systèmes de nano-positionnement piézoélectrique.

Conclusions et discussion

Conclusions principales

1. Percée théorique: Démonstration que la commande d'ordre fractionnaire complexe peut dépasser les limitations intrinsèques de la commande linéaire en matière de compromis robustesse-bande passante
2. Méthode pratique: Le contrôleur par réinitialisation CgLp réalise avec succès les avantages théoriques de la commande d'ordre fractionnaire complexe
3. Amélioration des performances: Réalisation d'une augmentation de bande passante de 20% et d'une amélioration significative de la précision tout en maintenant la robustesse

Limitations

1. Vérification expérimentale: Actuellement, seule une vérification par simulation a été effectuée, manquant d'expériences matérielles réelles
2. Considération du bruit: Bien que le problème du bruit soit mentionné, aucune analyse détaillée de la robustesse au bruit n'a été effectuée
3. Complexité de calcul: Le coût de calcul de l'analyse HOSIDF et de l'optimisation sous contrainte n'a pas été discuté en détail

Directions futures

L'article identifie clairement les directions de recherche suivantes :

1. Étude de la réponse temporelle du signal de commande et conception de filtres supplémentaires
2. Vérification expérimentale
3. Intégration de la commande en anticipation
4. Étude des problèmes de suppression des perturbations

Évaluation approfondie

Points forts

1. Innovativité théorique: La théorie de la commande d'ordre fractionnaire complexe offre une nouvelle perspective pour dépasser les limitations de la commande linéaire
2. Praticité de la méthode: Le schéma d'implémentation CgLp possède une bonne faisabilité d'ingénierie
3. Complétude de l'analyse: La méthode d'analyse fréquentielle combinant SIDF et HOSIDF est rigoureuse et complète
4. Pouvoir de conviction des résultats: Les résultats de simulation démontrent clairement l'efficacité de la méthode

Insuffisances

1. Limitations expérimentales: Absence de vérification matérielle, la précision du modèle de simulation reste à vérifier
2. Analyse de sensibilité aux paramètres: L'analyse de la sensibilité de l'ajustement des paramètres CgLp n'est pas suffisamment approfondie
3. Plage d'applicabilité: L'applicabilité de la méthode à d'autres types de non-linéarités n'a pas été discutée

Impact

1. Contribution académique: Fournit de nouveaux outils théoriques et méthodes de conception pour le domaine de la commande de précision
2. Valeur d'ingénierie: Importance significative pour les applications en fabrication de haute précision et nanotechnologie
3. Reproductibilité: L'article fournit des paramètres détaillés et un processus de conception, facilitant la reproduction

Scénarios d'application

• Systèmes de nano-positionnement actionnés par piézoélectrique
• Systèmes de commande de mouvement de précision présentant une incertitude du gain en continu
• Applications de suivi de commande nécessitant une bande passante élevée et une précision élevée
• Équipements de haute précision tels que la fabrication de semi-conducteurs et les microscopes à force atomique

Références

L'article cite des références importantes en théorie de la commande et systèmes de mouvement de précision, notamment :

• Clegg (1958): Travail fondateur en commande par réinitialisation
• Saikumar et al. (2019, 2021): Fondements théoriques de la commande CgLp
• Zhang et al. (2024): Développements récents des outils d'analyse SIDF/HOSIDF

Évaluation générale: Cet article est un travail de haute qualité présentant des innovations importantes tant sur le plan théorique que méthodologique, fournissant une nouvelle approche pour résoudre les problèmes de commande des systèmes de nano-positionnement piézoélectrique. Bien que la vérification expérimentale reste à renforcer, ses contributions théoriques et innovations méthodologiques possèdent une valeur académique et d'ingénierie importante.