2025-11-23T23:40:17.754325

Double-layer Thin-film LiNbO3 Longitudinally Excited Shear Wave Resonators with Ultra-large Electromechanical Coupling Coefficient and Spurious-Free Performance

Qin, Wu, Hao et al.
This work proposes a double-layer thin-film lithium niobate (LiNbO3) longitudinally excited shear wave resonator with a theoretical electromechanical coupling coefficient exceeding 60%, RaR close to 28%, and no spurious modes. This ultra-large electromechanical coupling coefficient, which is close to the upper limit of LiNbO3, is much larger than all microwave acoustic resonators reported so far. Based on X-cut thin-film LiNbO3, when the film thickness is in the order of hundreds of nanometers, the frequency of the fundamental mode of the resonator can cover 1GHz to10GHz. The resonator design is convenient and flexible. The resonant frequency can be modulated monotonically by changing either the electrode or the thickness of the thin-film LiNbO3 without introducing additional spurious modes. This ideal resonator architecture is also applicable to LiTaO3. With the development of the new generation of mobile communications, this resonator is expected to become a key solution for future high-performance, ultra-wide-bandwidth acoustic filters.
academic

डबल-लेयर थिन-फिल्म LiNbO3 अनुदैर्ध्य रूप से उत्तेजित शियर वेव रेजोनेटर्स अल्ट्रा-बड़े इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक और स्पुरियस-मुक्त प्रदर्शन के साथ

मूल जानकारी

  • पेपर ID: 2405.17168
  • शीर्षक: डबल-लेयर थिन-फिल्म LiNbO3 अनुदैर्ध्य रूप से उत्तेजित शियर वेव रेजोनेटर्स अल्ट्रा-बड़े इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक और स्पुरियस-मुक्त प्रदर्शन के साथ
  • लेखक: Zhen-Hui Qin, Shu-Mao Wu, Chen-Bei Hao, Hua-Yang Chen, Sheng-Nan Liang, Si-Yuan Yu, Yan-Feng Chen
  • वर्गीकरण: physics.app-ph
  • संस्थान: नानजिंग विश्वविद्यालय ठोस सूक्ष्मसंरचना भौतिकी राष्ट्रीय मुख्य प्रयोगशाला, नानजिंग विश्वविद्यालय इंजीनियरिंग और अनुप्रयुक्त विज्ञान कॉलेज
  • पेपर लिंक: https://arxiv.org/abs/2405.17168

सारांश

यह अनुसंधान एक डबल-लेयर थिन-फिल्म लिथियम नाइओबेट (LiNbO3) अनुदैर्ध्य रूप से उत्तेजित शियर वेव रेजोनेटर प्रस्तावित करता है, जिसमें सैद्धांतिक इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक 60% से अधिक है, अनुनाद-विरोधी अनुनाद (RaR) 28% के करीब है, और कोई स्पुरियस मोड नहीं है। यह अल्ट्रा-बड़ा इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक LiNbO3 के सैद्धांतिक ऊपरी सीमा के करीब है, जो वर्तमान में रिपोर्ट किए गए सभी माइक्रोवेव ध्वनिक रेजोनेटर्स से बहुत अधिक है। X-कट थिन-फिल्म LiNbO3 के आधार पर, जब फिल्म की मोटाई सैकड़ों नैनोमीटर के क्रम में होती है, तो रेजोनेटर के मूल मोड की आवृत्ति 1GHz से 10GHz तक फैल सकती है। यह रेजोनेटर डिजाइन सुविधाजनक और लचीला है, और इलेक्ट्रोड या थिन-फिल्म LiNbO3 की मोटाई को बदलकर अनुनाद आवृत्ति को एकरूप रूप से समायोजित किया जा सकता है बिना किसी अतिरिक्त स्पुरियस मोड के।

अनुसंधान पृष्ठभूमि और प्रेरणा

समस्या विवरण

5G/6G मोबाइल संचार और संवेदन उद्योग के विकास के साथ, RF फिल्टर पर उच्च प्रदर्शन आवश्यकताएं लगाई गई हैं, जिनमें उच्च आवृत्ति, बड़ी बैंडविड्थ, कम सम्मिलन हानि, उच्च बैंड-बाहर दमन, उच्च शक्ति सहनशीलता, तापमान स्थिरता, यांत्रिक स्थिरता और पोर्टेबिलिटी शामिल हैं। वर्तमान में माइक्रोवेव ध्वनिक फिल्टर का सामना करने वाली मुख्य चुनौती कम सम्मिलन हानि की स्थिति में बड़ी बैंडविड्थ प्राप्त करना है।

समस्या की महत्ता

  • 4G संचार में RF फिल्टर की बैंडविड्थ आवश्यकता आमतौर पर 10% से कम होती है
  • भविष्य के 6G आदि संचार में RF फिल्टर की बैंडविड्थ 20% से अधिक हो सकती है
  • यह माइक्रोवेव ध्वनिक फिल्टर पर विशाल चुनौती प्रस्तुत करता है

मौजूदा विधियों की सीमाएं

  1. विलंब लाइन फिल्टर: बैंडविड्थ और सम्मिलन हानि अक्सर एक साथ बदलते हैं
  2. अनुनाद फिल्टर: बैंडविड्थ फिल्टर बनाने वाले रेजोनेटर्स के इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक पर निर्भर करता है
  3. मौजूदा LiNbO3 रेजोनेटर्स:
    • Rayleigh मोड पर आधारित इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक अपेक्षाकृत छोटा है
    • अनुप्रस्थ रूप से उत्तेजित ध्वनिक मोड की विद्युत क्षेत्र उपयोग दक्षता अभी भी अपेक्षाकृत अपर्याप्त है
    • बड़े इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक वाले रेजोनेटर्स में आमतौर पर स्पुरियस मोड समस्या होती है

अनुसंधान प्रेरणा

LiNbO3 के सैद्धांतिक ऊपरी सीमा के करीब अल्ट्रा-बड़े इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक वाले रेजोनेटर्स विकसित करना, साथ ही स्पुरियस मोड समस्या को हल करना, भविष्य के अल्ट्रा-वाइडबैंड मोबाइल संचार के लिए महत्वपूर्ण समाधान प्रदान करना।

मुख्य योगदान

  1. डबल-लेयर थिन-फिल्म LiNbO3 अनुदैर्ध्य रूप से उत्तेजित शियर वेव रेजोनेटर प्रस्तावित किया, जिसमें 60.5% का इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक और 27.9% का RaR प्राप्त किया गया है
  2. स्पुरियस मोड समस्या को हल किया, मुख्य मोड पासबैंड के भीतर स्पुरियस मोड का पूर्ण दमन प्राप्त किया
  3. लचीली आवृत्ति मॉड्यूलेशन प्राप्त की, इलेक्ट्रोड या फिल्म मोटाई को बदलकर आवृत्ति को एकरूप रूप से समायोजित किया जा सकता है बिना स्पुरियस मोड के
  4. सैद्धांतिक विश्लेषण ढांचा प्रदान किया, डबल-लेयर संरचना द्वारा स्पुरियस मोड दमन के भौतिक तंत्र की व्याख्या की
  5. डिजाइन की व्यावहारिकता सत्यापित की, डिवाइस प्रसंस्करण सटीकता के लिए उच्च सहनशीलता प्रदर्शित की

विधि विवरण

कार्य परिभाषा

एक माइक्रोवेव ध्वनिक रेजोनेटर डिजाइन करना, जिसमें निम्नलिखित आवश्यकताएं हों:

  • इनपुट: माइक्रोवेव विद्युत चुम्बकीय संकेत
  • आउटपुट: संसाधित माइक्रोवेव संकेत
  • बाधा शर्तें: अल्ट्रा-बड़ा इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक (>60%), कोई स्पुरियस मोड नहीं, आवृत्ति समायोज्य

डिवाइस आर्किटेक्चर

समग्र संरचना डिजाइन

डबल-लेयर थिन-फिल्म LiNbO3 रेजोनेटर निम्नलिखित भागों से बना है:

  • ऊपरी X-कट थिन-फिल्म LiNbO3
  • निचली -X-कट थिन-फिल्म LiNbO3
  • शीर्ष और निचले सोने के इलेक्ट्रोड

सामग्री चयन सिद्धांत

विभिन्न कट दिशाओं वाले LiNbO3 के पीजोइलेक्ट्रिक गुणांक e34 का विश्लेषण करके, यह पाया गया कि X-कट LiNbO3 अनुदैर्ध्य रूप से उत्तेजित शियर वेव में महत्वपूर्ण लाभ रखता है, इसलिए X-कट थिन-फिल्म LiNbO3 को रेजोनेटर बनाने के लिए चुना गया।

डबल-लेयर संरचना का भौतिक तंत्र

पीजोइलेक्ट्रिक कपलिंग समीकरण के आधार पर:

T = c(∂u/∂x) - e(∂φ/∂x)
D = e(∂u/∂x) + ε(∂φ/∂x)

डबल-लेयर समान-मोटाई थिन-फिल्म LiNbO3 रेजोनेटर के लिए, दो स्थितियां मौजूद हैं:

स्थिति एक: ऊपरी और निचली LiNbO3 फिल्मों के पीजोइलेक्ट्रिक गुणांक समान हैं

  • अनुनाद शर्त: 2πfd/v = nπ + π/2
  • ध्वनिक क्षेत्र ऊपरी और निचली फिल्मों में मोटाई दिशा में विषम है

स्थिति दो: ऊपरी और निचली LiNbO3 फिल्मों के पीजोइलेक्ट्रिक गुणांक परिमाण में समान लेकिन दिशा में विपरीत हैं

  • अनुनाद शर्त: πfd/v = nπ + π/2
  • ध्वनिक क्षेत्र ऊपरी और निचली फिल्मों में मोटाई दिशा में सममित है

तकनीकी नवाचार बिंदु

स्पुरियस मोड दमन तंत्र

  • मुख्य मोड SH2: पीजोइलेक्ट्रिक गुणांक e34 के अनुरूप, X-कट और -X-कट LiNbO3 में संख्यात्मक रूप से समान लेकिन चिन्ह विपरीत हैं, स्थिति दो से संबंधित है
  • स्पुरियस मोड A1: पीजोइलेक्ट्रिक गुणांक e35 के अनुरूप, X-कट और -X-कट LiNbO3 में संख्यात्मक मान और चिन्ह दोनों समान हैं, स्थिति एक से संबंधित है
  • परिणाम: स्पुरियस A1 मोड की आवृत्ति मुख्य SH2 मोड पासबैंड से दूर है, स्पुरियस दमन प्राप्त करता है

आवृत्ति मॉड्यूलेशन रणनीति

  1. इलेक्ट्रोड मोटाई मॉड्यूलेशन: ऊपरी और निचली इलेक्ट्रोड की मोटाई को एक साथ बदलने से सर्वोत्तम प्रदर्शन प्राप्त होता है
  2. थिन-फिल्म मोटाई मॉड्यूलेशन: क्षेत्र पतलेपन विधि के माध्यम से केवल ऊपरी फिल्म की मोटाई को बदला जा सकता है
  3. क्रिस्टल दिशा मॉड्यूलेशन: ऊपरी और निचली फिल्मों को एक साथ घुमाने पर प्रदर्शन सुसंगत रहता है

प्रायोगिक सेटअप

सिमुलेशन पैरामीटर

  • फिल्म मोटाई: 300nm X-कट LiNbO3 + 300nm -X-कट LiNbO3
  • इलेक्ट्रोड सामग्री: सोना (Au), मोटाई 20nm
  • सिमुलेशन विधि: त्रि-आयामी (3D) परिमित तत्व सिमुलेशन
  • विश्लेषण आवृत्ति बैंड: 1-10GHz

मूल्यांकन संकेतक

  • इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक (kt²): विद्युत ऊर्जा से यांत्रिक ऊर्जा रूपांतरण दक्षता को मापता है
  • अनुनाद-विरोधी अनुनाद अनुपात (RaR): फिल्टर बैंडविड्थ क्षमता को दर्शाता है
  • गुणवत्ता कारक (Q): रेजोनेटर की हानि विशेषताओं को दर्शाता है
  • स्पुरियस मोड दमन: मुख्य मोड पासबैंड के भीतर स्पुरियस मोड की तीव्रता

तुलना बेंचमार्क

  • एकल-लेयर थिन-फिल्म LiNbO3 रेजोनेटर
  • वर्तमान में रिपोर्ट किए गए विभिन्न LiNbO3 रेजोनेटर्स (SH0 मोड 55%, Love मोड 44%, A1 मोड 46% आदि)

प्रायोगिक परिणाम

मुख्य परिणाम

प्रदर्शन तुलना

रेजोनेटर प्रकारइलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांकRaRस्पुरियस मोड
एकल-लेयर LiNbO365.9%-गंभीर (4.45GHz)
डबल-लेयर LiNbO360.5%27.9%कमजोर (2.68GHz)
मौजूदा सर्वोत्तम रिपोर्ट55%22%व्यापक रूप से मौजूद

आवृत्ति कवरेज रेंज

  • 200-400nm फिल्म मोटाई 3.7-6.8GHz आवृत्ति के अनुरूप है
  • सैकड़ों नैनोमीटर मोटाई 1-10GHz बैंड को कवर कर सकती है

पैरामीटर मॉड्यूलेशन विश्लेषण

इलेक्ट्रोड मोटाई प्रभाव

  • सिंक्रोनस मॉड्यूलेशन: इलेक्ट्रोड जितना पतला होता है, आवृत्ति उतनी अधिक होती है, कपलिंग गुणांक उतना अधिक होता है, कोई स्पुरियस मोड नहीं
  • असिंक्रोनस मॉड्यूलेशन: प्रदर्शन में थोड़ी गिरावट, लेकिन अभी भी स्वीकार्य है

थिन-फिल्म मोटाई प्रभाव

  • सिंक्रोनस मॉड्यूलेशन: मोटाई और आवृत्ति के बीच अनुमानित रैखिक व्युत्क्रम संबंध, कपलिंग गुणांक मूलतः अपरिवर्तित रहता है
  • एकल-लेयर मॉड्यूलेशन: केवल ऊपरी लेयर की मोटाई बदलते समय, आवृत्ति अभी भी अनुमानित रैखिक रूप से समायोज्य है, कपलिंग गुणांक >56%

क्रिस्टल दिशा सहनशीलता

  • एकल-लेयर घुमाते समय प्रदर्शन एकरूप रूप से घटता है
  • डबल-लेयर को एक साथ घुमाते समय प्रदर्शन पूरी तरह से सुसंगत रहता है, अत्यधिक उच्च प्रसंस्करण सहनशीलता दर्शाता है

महत्वपूर्ण निष्कर्ष

  1. डबल-लेयर संरचना स्पुरियस मोड को सफलतापूर्वक दबाती है, साथ ही अल्ट्रा-बड़ा इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक बनाए रखती है
  2. आवृत्ति मॉड्यूलेशन अत्यधिक लचीला है, कई पैरामीटर के माध्यम से प्राप्त किया जा सकता है बिना स्पुरियस मोड के
  3. प्रसंस्करण सहनशीलता अधिक है, मुख्य रूप से फिल्म गुणवत्ता पर निर्भर करता है न कि इलेक्ट्रोड सटीकता पर

संबंधित कार्य

विकास इतिहास

  • 1960 के दशक के अंत: पहली बार LiNbO3 ध्वनिक रेजोनेटर दिखाई दिए, Rayleigh मोड पर आधारित
  • हाल के विकास: एकल-क्रिस्टल थिन-फिल्म LiNbO3 तकनीक के परिपक्व होने के साथ, कई नए प्रकार के रेजोनेटर दिखाई दिए
    • Lamb तरंगों में A और S मोड
    • निलंबित थिन-फिल्म और निश्चित सबस्ट्रेट पर आधारित क्षैतिज शियर मोड

मुख्य प्रगति

  • 2019 में Zhou आदि: 30Y-X-कट थिन-फिल्म LiNbO3 SH0 मोड, कपलिंग गुणांक 55%
  • 2020 में Hsu आदि: X-कट थिन-फिल्म LiNbO3 Love मोड, कपलिंग गुणांक 44%
  • 2020 में Lu आदि: 128Y-X-कट थिन-फिल्म LiNbO3 A1 मोड, कपलिंग गुणांक 46%
  • 2020 में Plessky आदि: Y-कट थिन-फिल्म LiNbO3 अनुदैर्ध्य उत्तेजन (YBAR), अपेक्षित 50%
  • 2024 में Hartmann आदि: X-कट थिन-फिल्म LiNbO3 अनुदैर्ध्य उत्तेजन, 40% से अधिक

इस कार्य के लाभ

मौजूदा कार्य की तुलना में, यह अनुसंधान पहली बार LiNbO3 के सैद्धांतिक ऊपरी सीमा के करीब इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक प्राप्त करता है, और स्पुरियस मोड समस्या को पूरी तरह से हल करता है।

निष्कर्ष और चर्चा

मुख्य निष्कर्ष

  1. सफलता के साथ प्रदर्शन संकेतक: 60.5% का इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक, 27.9% का RaR प्राप्त किया, LiNbO3 के सैद्धांतिक ऊपरी सीमा के करीब
  2. महत्वपूर्ण समस्या को हल किया: स्पुरियस मोड को पूरी तरह से दबाया, व्यावहारिकीकरण के लिए बाधा को दूर किया
  3. डिजाइन लचीलापन: आवृत्ति को कई पैरामीटर के माध्यम से समायोजित किया जा सकता है, फिल्टर डिजाइन आवश्यकताओं के अनुकूल
  4. तकनीक विस्तार योग्य: योजना समान रूप से उच्च तापमान स्थिरता वाली LiTaO3 जैसी सामग्रियों पर लागू होती है

सीमाएं

  1. तैयारी जटिलता: उच्च गुणवत्ता वाली डबल-लेयर थिन-फिल्म LiNbO3 की तैयारी की आवश्यकता है, तकनीकी आवश्यकताएं अधिक हैं
  2. लागत विचार: एकल-लेयर संरचना की तुलना में, सामग्री और प्रक्रिया लागत बढ़ सकती है
  3. प्रायोगिक सत्यापन: पेपर मुख्य रूप से सिमुलेशन परिणामों पर आधारित है, वास्तविक डिवाइस परीक्षण डेटा की कमी है

भविष्य की दिशाएं

  1. प्रायोगिक सत्यापन: वास्तविक डिवाइस तैयार करना और प्रदर्शन परीक्षण करना
  2. फिल्टर एकीकरण: इस रेजोनेटर के आधार पर अल्ट्रा-वाइडबैंड फिल्टर बनाना
  3. सामग्री विस्तार: LiTaO3 जैसी अन्य सामग्रियों पर अनुप्रयोग की खोज करना
  4. प्रक्रिया अनुकूलन: डबल-लेयर थिन-फिल्म तैयारी और प्रसंस्करण के लिए कुशल तरीके विकसित करना

गहन मूल्यांकन

लाभ

  1. सैद्धांतिक नवाचार मजबूत है: डबल-लेयर संरचना द्वारा स्पुरियस मोड दमन का भौतिक तंत्र स्पष्ट और नवीन है
  2. प्रदर्शन संकेतक उत्कृष्ट हैं: इलेक्ट्रोमैकेनिकल कपलिंग गुणांक और RaR दोनों अभूतपूर्व स्तर तक पहुंचते हैं
  3. व्यावहारिक मूल्य अधिक है: बड़े कपलिंग गुणांक रेजोनेटर्स की स्पुरियस मोड समस्या को हल किया
  4. विश्लेषण व्यापक है: सामग्री चयन से डिवाइस डिजाइन तक पूर्ण सैद्धांतिक विश्लेषण
  5. डिजाइन लचीला है: व्यावहारिक अनुप्रयोग के लिए कई पैरामीटर मॉड्यूलेशन विधियां सुविधा प्रदान करती हैं

कमियां

  1. प्रायोगिक सत्यापन की कमी: केवल सिमुलेशन परिणाम हैं, वास्तविक डिवाइस के प्रायोगिक डेटा की कमी है
  2. तैयारी व्यावहारिकता: डबल-लेयर थिन-फिल्म की तैयारी और बॉन्डिंग प्रक्रिया की व्यावहारिकता सत्यापन की आवश्यकता है
  3. तापमान विशेषताएं: डिवाइस की तापमान स्थिरता और तापमान गुणांक का विश्लेषण नहीं किया गया है
  4. शक्ति प्रबंधन क्षमता: डिवाइस की शक्ति सहनशीलता विश्लेषण शामिल नहीं है
  5. लागत-लाभ: मौजूदा योजनाओं के सापेक्ष लागत लाभ पर विचार नहीं किया गया है

प्रभाव

  1. शैक्षणिक मूल्य: ध्वनिक रेजोनेटर डिजाइन के लिए नया सैद्धांतिक ढांचा और डिजाइन विचार प्रदान करता है
  2. औद्योगिक महत्व: अगली पीढ़ी के अल्ट्रा-वाइडबैंड मोबाइल संचार की मुख्य तकनीक बन सकता है
  3. तकनीकी प्रेरणा: थिन-फिल्म LiNbO3 प्रसंस्करण तकनीक के आगे विकास को प्रेरित करेगा
  4. अनुप्रयोग संभावनाएं: 5G/6G संचार, रडार, संवेदन आदि क्षेत्रों में व्यापक अनुप्रयोग संभावनाएं हैं

लागू परिस्थितियां

  1. अल्ट्रा-वाइडबैंड फिल्टर: बैंडविड्थ आवश्यकता >20% वाली भविष्य की संचार प्रणालियों के लिए उपयुक्त
  2. उच्च आवृत्ति अनुप्रयोग: 1-10GHz आवृत्ति बैंड में माइक्रोवेव डिवाइस
  3. कम हानि आवश्यकता: सम्मिलन हानि पर कठोर आवश्यकताओं वाले RF फ्रंट-एंड
  4. लघुकरण आवश्यकता: पोर्टेबल संचार उपकरण और IoT टर्मिनल

संदर्भ

पेपर ने 24 महत्वपूर्ण संदर्भों का हवाला दिया है, जो LiNbO3 ध्वनिक डिवाइस के विकास इतिहास, संबंधित सैद्धांतिक आधार और नवीनतम तकनीकी प्रगति को शामिल करते हैं, अनुसंधान के लिए मजबूत सैद्धांतिक आधार और तकनीकी तुलना बेंचमार्क प्रदान करते हैं।

समग्र मूल्यांकन: यह एक उच्च गुणवत्ता वाला अनुप्रयुक्त भौतिकी अनुसंधान पेपर है, जो नवीन डबल-लेयर थिन-फिल्म LiNbO3 रेजोनेटर डिजाइन प्रस्तावित करता है, जो सैद्धांतिक रूप से सफलता के साथ प्रदर्शन संकेतक प्राप्त करता है। हालांकि प्रायोगिक सत्यापन की कमी है, लेकिन इसका सैद्धांतिक विश्लेषण कठोर है, डिजाइन विचार नवीन है, और अगली पीढ़ी की मोबाइल संचार तकनीक के विकास को आगे बढ़ाने में महत्वपूर्ण महत्व है।