2025-11-22T02:40:15.793793

Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity

Sebghati, HosseinNia
In this paper, a robust nonlinear control scheme is designed for the motion control of a class of piezo-actuated nano-positioning systems using frequency-domain analysis. The hysteresis, the nonlinearity in the piezoelectric material, degrades the precision in tracking references with high frequency contents and different travel ranges. The hysteresis compensation by the inverse model, as the state-of-the-art solution, is not reliable alone. Therefore, a control framework with robustness against the remaining nonlinearity is needed. It is shown that there is an unavoidable limitation in robust linear control design to improve the performance. A robust control methodology based on a complex-order element is established to relax the limitation. Then, a constant-in-gain-lead-in-phase (CgLp) reset controller is utilized to realize the complex-order control. The control design is based on the sinusoidal input describing function (SIDF) and the higher-order SIDF (HOSIDF) tools. A constrained optimization problem is provided to tune the control parameters. The achieved improvements by the CgLp control is validated by the simulation.
academic

Progettazione robusta del controllo di reset per nano-posizionatore attuato da piezoelettrici in presenza di non linearità di isteresi

Informazioni Fondamentali

  • ID Articolo: 2510.09445
  • Titolo: Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity
  • Autori: A. Sebghati, S. H. HosseinNia (Delft University of Technology)
  • Classificazione: eess.SY (Sistemi e Controllo), cs.SY (Sistemi e Controllo)
  • Data di Pubblicazione: 10 ottobre 2025 (preprint arXiv)
  • Link dell'Articolo: https://arxiv.org/abs/2510.09445

Riassunto

Il presente articolo affronta il problema del controllo di un sistema di nano-posizionamento attuato da piezoelettrici mediante un approccio di analisi nel dominio della frequenza. La non linearità di isteresi nei materiali piezoelettrici riduce la precisione di inseguimento per contenuti ad alta frequenza e segnali di riferimento con diversi intervalli di escursione. Poiché i metodi di compensazione dell'isteresi basati su modelli inversi, utilizzati isolatamente, non risultano affidabili, è necessario un framework di controllo robusto rispetto alle non linearità residue. Lo studio dimostra che il progetto di controllo lineare robusto presenta limitazioni inevitabili nel miglioramento delle prestazioni. L'articolo sviluppa un metodo di controllo robusto basato su elementi di ordine complesso per attenuare tale limitazione, implementando successivamente il controllo di ordine complesso mediante un controllore di reset con fase in anticipo a guadagno costante (CgLp). Il progetto di controllo si basa su strumenti di funzione descrittiva per ingresso sinusoidale (SIDF) e SIDF di ordine superiore (HOSIDF), fornendo problemi di ottimizzazione vincolata per l'accordo dei parametri di controllo.

Contesto di Ricerca e Motivazione

Definizione del Problema

I nano-posizionatori attuati da piezoelettrici svolgono un ruolo cruciale in macchine di alta precisione, richiedendo il tracciamento accurato di traiettorie periodiche ad alta velocità con ampi intervalli di ampiezza. Tuttavia, la non linearità di isteresi intrinseca ai materiali piezoelettrici compromette significativamente le prestazioni del sistema:

  1. Problema della non linearità di isteresi: La caratteristica di isteresi dei materiali piezoelettrici si manifesta come incertezza nel guadagno in continua, con variazioni del guadagno in continua fino al 215% secondo le misurazioni sperimentali
  2. Limitazioni dei metodi di compensazione esistenti: I metodi di compensazione tradizionali basati su modelli inversi non riescono a eliminare completamente gli effetti dell'isteresi a causa della sensibilità alla precisione dei parametri del modello
  3. Limitazioni intrinseche del controllo lineare: A causa dell'effetto di letto d'acqua e della relazione guadagno-fase di Bode, il controllo lineare robusto presenta compromessi inevitabili nel miglioramento delle prestazioni

Motivazione della Ricerca

  • Crescente necessità di applicazioni ad alta precisione per larghezze di banda più ampie e maggiore accuratezza
  • Necessità di sviluppare sistemi di controllo del movimento robusti rispetto alle non linearità di isteresi residue
  • Superamento dei compromessi tra robustezza e larghezza di banda del controllo lineare tradizionale

Contributi Fondamentali

  1. Contributo Teorico: Sviluppo di un framework teorico di controllo robusto basato su elementi di ordine complesso, dimostrando la capacità di superare le limitazioni intrinseche del controllo lineare
  2. Innovazione Metodologica: Proposta di un nuovo metodo per l'implementazione del controllo di ordine complesso mediante controllore di reset CgLp
  3. Strumenti di Progettazione: Sviluppo di metodi di progettazione nel dominio della frequenza basati su SIDF e HOSIDF e strategia di accordo dei parametri mediante ottimizzazione vincolata
  4. Miglioramento delle Prestazioni: Realizzazione di un aumento della larghezza di banda di circa il 20% mantenendo la robustezza e ottenendo miglioramenti significativi nella precisione

Dettagli Metodologici

Definizione del Compito

Progettazione di un controllore robusto per un sistema di nano-posizionamento piezoelettrico con incertezza nel guadagno in continua, dove:

  • Ingresso: Segnale di posizione di riferimento
  • Uscita: Posizione effettiva
  • Vincoli: Margine di fase φ ∈ φₘ, φ̄ₘ, incertezza nel guadagno in continua κ ∈ 1, κ̄
  • Obiettivo: Massimizzazione della larghezza di banda robusta mantenendo la precisione di inseguimento e la stabilità del sistema

Modellazione del Sistema

Il posizionatore piezoelettrico è modellato mediante un modello lineare incerto:

P(jω, κ) = Pₑ(jω) · Pₘ(jω, κ)
Pₘ(jω, κ) = κ · Pₘ(jω)

dove:

  • Pₑ(jω) = Kₑ/(jω/ωₑ + 1) rappresenta la dinamica elettrica
  • Pₘ(jω) = Kₘ/((jω/ωₘ)² + 2ξₘ/ωₘ·jω + 1) rappresenta la dinamica meccanica
  • κ è il parametro incerto del guadagno in continua

Teoria del Controllo di Ordine Complesso

Fondamenti Teorici

Per sistemi lineari con incertezza nel guadagno in continua, l'articolo propone elementi di controllo di ordine complesso:

C̃(jω) = e^(j(1-γ̃)/2 · arctan(ω/ω̃ᵣ))

dove γ̃ ∈ -1,+1 e ω̃ᵣ è la frequenza di transizione.

Teorema 1 - Conclusione Chiave: Aggiungendo un elemento di ordine complesso ideale a un dato controllo lineare robusto, è sempre possibile realizzare una larghezza di banda robusta più elevata senza compromettere le caratteristiche del guadagno in anello aperto e la robustezza.

Implementazione del Controllore di Reset CgLp

Struttura del Controllore

Il controllore CgLp è composto da un elemento di reset del primo ordine (FORE) e un filtro di anticipo del primo ordine in serie:

  • Dinamica lineare di base FORE: Rᵦₗ = 1/(jω/ωᵣ + 1)
  • Filtro di anticipo: Cₗ(jω) = (jω/αωᵣ + 1)/(jω/ωf + 1)

Analisi SIDF

La funzione descrittiva per ingresso sinusoidale del controllore CgLp è:

C₁(jω) = R₁(jω) · Cₗ(jω)
R₁(jω) = 1/(jω/ωᵣ + 1) · (1 + j·2ω²(1-γ)(1+e^(-π·ω/ωᵣ))/(π(1+γe^(-π·ωᵣ/ω))(ω²+ωᵣ²)))

Strategia di Ottimizzazione dei Parametri

Viene adottato un metodo di ottimizzazione vincolata per l'accordo dei parametri CgLp:

max f_c(1)
γ,fᵣ,ff

subject to: ∠L₁(jωc) ∈ [-180° + φₘ, -180° + φ̄ₘ]
           γ ∈ [γₘ, 1], fᵣ > ν·ff, ff < fₘ

Configurazione Sperimentale

Piattaforma Sperimentale

  • Dispositivo: Piattaforma unidirezionale P-621.1CD PIHera con attuatore piezoelettrico e sensore capacitivo
  • Intervallo di Escursione: -10, 120 μm
  • Risoluzione: 0.2 nm
  • Amplificatore: Modulo digitale E712, intervallo di ingresso -3, 13.5 V, intervallo di uscita -30, 135 V

Parametri del Sistema

Parametri del sistema identificati sperimentalmente:

  • Dinamica elettrica: Kₑ = 10, fₑ = 935 Hz
  • Dinamica meccanica: Kₘ = 0.4986 μm/V, fₘ = 747 Hz, ξₘ = 0.0089
  • Incertezza: κ = 1.6165 (variazione del guadagno in continua del 62%)

Indicatori di Valutazione

  • Indicatori di Larghezza di Banda: Frequenza di crossover fc e frequenza di crossover media f̄c
  • Indicatori di Robustezza: Margine di fase φ ∈ 60°, 71°
  • Indicatori di Precisione: Criterio ±1 dB della funzione di sensibilità complementare
  • Prestazioni nel Dominio del Tempo: Tempo di salita, sovraelongazione, integrale dell'errore assoluto (IAE)

Metodi di Confronto

  1. Controllo Lineare Robusto: Schema lineare basato su controllore PI del secondo ordine e filtro notch
  2. Controllo Lineare Non Robusto: Controllore lineare che non considera l'incertezza

Risultati Sperimentali

Risultati Principali

Prestazioni nel Dominio della Frequenza

  • Aumento della Larghezza di Banda:
    • Caso nominale: fc*(1) aumenta da 220 Hz a 269 Hz (aumento del 22.3%)
    • Caso peggiore: fc*(κ) aumenta da 376 Hz a 441 Hz (aumento del 17.3%)
    • Aumento medio della larghezza di banda di circa il 20%
  • Mantenimento della Robustezza: Il margine di fase rimane nell'intervallo 60°, 71° su tutto l'intervallo di incertezza

Miglioramento delle Caratteristiche in Anello Aperto

Mediante il controllore CgLp, è stato possibile elevare con successo la fase in anello aperto nelle vicinanze di fc*(κ) mantenendo il guadagno in anello aperto praticamente invariato, verificando le previsioni teoriche del controllo di ordine complesso.

Verifica nel Dominio del Tempo

Risposta al Gradino

  • Tempo di Salita: Miglioramento significativo rispetto al controllo lineare robusto
  • Sovraelongazione: Mantenuta nell'intervallo 10%-13%, mentre il controllo lineare non robusto presenta sovraelongazione variabile tra il 10%-18%
  • Robustezza: Prestazioni stabili mantenute su tutto l'intervallo di incertezza del guadagno in continua

Prestazioni di Inseguimento Sinusoidale

Utilizzando l'indicatore IAE, il controllo CgLp mostra miglioramenti significativi in termini di precisione rispetto ai metodi di controllo lineare.

Verifica HOSIDF

L'analisi delle armoniche di ordine superiore dimostra che:

  • |S∞(κ)| ≈ |S₁(κ)|, |T∞(κ)| ≈ |T₁(κ)|
  • Verifica l'efficacia dell'analisi SIDF, con effetti delle armoniche di ordine superiore sufficientemente piccoli

Esperimenti di Ablazione

Mediante il confronto con diversi schemi di controllo, è stato verificato:

  1. La necessità degli elementi di ordine complesso
  2. L'efficacia dell'implementazione CgLp
  3. La razionalità della strategia di ottimizzazione dei parametri

Lavori Correlati

Controllo di Sistemi Piezoelettrici

  • Metodi Tradizionali: Compensazione dell'isteresi basata su modelli inversi, ma con problemi di complessità del modello e sensibilità ai parametri
  • Controllo Lineare: Metodi come il controllo a smorzamento equivalente forniscono robustezza mediante anticipo di fase, ma presentano compromessi tra larghezza di banda e robustezza

Teoria del Controllo di Reset

  • Integratore di Clegg: Concetto di controllo non lineare proposto nel 1958
  • Strumenti SIDF/HOSIDF: Consentono la progettazione e l'analisi del controllo di reset nel dominio della frequenza
  • Controllo CgLp: Applicazioni recenti in sistemi di movimento di precisione

Posizionamento del Contributo dell'Articolo

L'articolo combina per la prima volta la teoria del controllo di ordine complesso con il controllo di reset CgLp, fornendo una soluzione che supera le limitazioni del controllo lineare per sistemi di nano-posizionamento piezoelettrico.

Conclusioni e Discussione

Conclusioni Principali

  1. Avanzamento Teorico: Dimostrazione che il controllo di ordine complesso può superare le limitazioni intrinseche del controllo lineare nel compromesso tra robustezza e larghezza di banda
  2. Metodo Pratico: Il controllore di reset CgLp implementa con successo i vantaggi teorici del controllo di ordine complesso
  3. Miglioramento delle Prestazioni: Realizzazione di un aumento della larghezza di banda del 20% mantenendo la robustezza e ottenendo miglioramenti significativi nella precisione

Limitazioni

  1. Verifica Sperimentale: Attualmente sono state condotte solo verifiche mediante simulazione, mancano esperimenti su hardware reale
  2. Considerazione del Rumore: Sebbene il problema del rumore sia menzionato, non è stata condotta un'analisi dettagliata della robustezza al rumore
  3. Complessità Computazionale: Il costo computazionale dell'analisi HOSIDF e dell'ottimizzazione vincolata non è stato discusso in dettaglio

Direzioni Future

L'articolo identifica chiaramente le seguenti direzioni di ricerca:

  1. Studio della risposta temporale del segnale di controllo e progettazione di filtri aggiuntivi
  2. Verifica sperimentale
  3. Integrazione del controllo in feedforward
  4. Studio del problema di soppressione dei disturbi

Valutazione Approfondita

Punti di Forza

  1. Innovazione Teorica: La teoria del controllo di ordine complesso fornisce nuove prospettive per superare le limitazioni del controllo lineare
  2. Praticità del Metodo: Lo schema di implementazione CgLp presenta buona fattibilità ingegneristica
  3. Completezza dell'Analisi: Il metodo di analisi nel dominio della frequenza che combina SIDF e HOSIDF è rigoroso e completo
  4. Convincenza dei Risultati: I risultati della simulazione dimostrano chiaramente l'efficacia del metodo

Insufficienze

  1. Limitazioni Sperimentali: Mancanza di verifica su hardware reale, l'accuratezza del modello di simulazione rimane da verificare
  2. Analisi di Sensibilità ai Parametri: L'analisi della sensibilità all'accordo dei parametri CgLp non è sufficientemente approfondita
  3. Ambito di Applicabilità: L'applicabilità del metodo ad altri tipi di non linearità non è stata discussa

Impatto

  1. Contributo Accademico: Fornisce nuovi strumenti teorici e metodi di progettazione al campo del controllo di precisione
  2. Valore Ingegneristico: Presenta importante valore applicativo per la produzione ad alta precisione e la nanotecnologia
  3. Riproducibilità: L'articolo fornisce parametri dettagliati e procedura di progettazione, facilitando la riproduzione

Scenari di Applicazione

  • Sistemi di nano-posizionamento attuati da piezoelettrici
  • Sistemi di controllo del movimento di precisione con incertezza nel guadagno in continua
  • Applicazioni di controllo di tracciamento che richiedono alta larghezza di banda e alta precisione
  • Apparecchiature ad alta precisione come la produzione di semiconduttori e i microscopi a forza atomica

Bibliografia

L'articolo cita importanti riferimenti nella teoria del controllo e nei sistemi di movimento di precisione, inclusi:

  • Clegg (1958): Lavoro fondamentale nel controllo di reset
  • Saikumar et al. (2019, 2021): Fondamenti teorici del controllo CgLp
  • Zhang et al. (2024): Sviluppi recenti negli strumenti di analisi SIDF/HOSIDF

Valutazione Complessiva: Si tratta di un articolo di alta qualità con importanti innovazioni sia dal punto di vista teorico che metodologico, fornendo nuove soluzioni al problema del controllo di nano-posizionatori piezoelettrici. Sebbene la verifica sperimentale richieda ulteriori sviluppi, i suoi contributi teorici e l'innovazione metodologica possiedono importante valore accademico e ingegneristico.