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Cryogenic temperature dependence and hysteresis of surface-trap-induced gate leakage in GaN high-electron-mobility transistors

Pan, Lin, Chen et al.
This work provides a detailed mapping of various mechanisms of surface-trap-induced gate leakage in GaN HEMTs across a temperature range from room to cryogenic levels. Two-dimensional variable-range hopping is observed at small gate bias. Under higher reverse gate bias, the leakage is dominated by the Poole--Frenkel emission above 220 K, but gradually transitions to the trap-assisted tunneling below 220 K owing to the frozen-trap effect. The trap barrier height extracted from the gate leakage current under the upward gate sweep is 0.65 V, which is 12\% higher than that from the downward sweep. The gate leakage current as a function of the gate bias exhibits clockwise hysteresis loops above 220 K but counterclockwise ones below 220 K. This remarkable opposite hysteresis phenomenon is thoroughly explained by the trap mechanisms.
academic

Dipendenza dalla temperatura criogenica e isteresi della perdita di gate indotta da trappole di superficie nei transistor ad alta mobilità di elettroni in GaN

Informazioni Fondamentali

  • ID Articolo: 2510.14456
  • Titolo: Cryogenic temperature dependence and hysteresis of surface-trap-induced gate leakage in GaN high-electron-mobility transistors
  • Autori: Ching-Yang Pan, Shi-Kai Lin, Yu-An Chen, Pei-hsun Jiang (National Taiwan Normal University)
  • Classificazione: cond-mat.mes-hall physics.app-ph
  • Data di Pubblicazione: 16 ottobre 2024
  • Link Articolo: https://arxiv.org/abs/2510.14456

Riassunto

Questo studio traccia in dettaglio i vari meccanismi della perdita di gate indotta da trappole di superficie nei transistor ad alta mobilità di elettroni in GaN (HEMTs), in un intervallo di temperatura da quella ambiente a temperature estremamente criogeniche. A bassi bias di gate è stata osservata una conduzione di salto a intervallo variabile bidimensionale (2D-VRH). A bias di gate inversi più elevati, la perdita al di sopra di 220 K è principalmente dominata dall'emissione di Poole-Frenkel, ma gradualmente si trasforma in tunneling assistito da trappole al di sotto di 220 K a causa dell'effetto di congelamento delle trappole. L'altezza della barriera di trappola estratta dalla scansione di gate verso l'alto è di 0,65 V, superiore del 12% rispetto alla scansione verso il basso. La relazione funzionale tra la corrente di perdita di gate e il bias di gate mostra un'isteresi in senso orario al di sopra di 220 K, mentre mostra un'isteresi in senso antiorario al di sotto di 220 K. Questo notevole fenomeno di isteresi opposta è pienamente spiegato attraverso i meccanismi di trappola.

Contesto di Ricerca e Motivazione

  1. Problemi da Affrontare:
    • I meccanismi di perdita di gate nei GaN HEMTs in ambienti criogenici estremi non sono stati sufficientemente studiati
    • La perdita di gate indotta da trappole di superficie ha gravi effetti sulla affidabilità del dispositivo
    • Manca uno studio sistematico del comportamento di isteresi della perdita di gate a temperature estremamente basse
  2. Importanza del Problema:
    • La domanda di dispositivi elettronici criogenici è in continua crescita per applicazioni aerospaziali, computazione quantistica e sistemi superconduttori
    • I GaN HEMTs mostrano prestazioni eccellenti a basse temperature, ma gli effetti di trappola limitano l'affidabilità del dispositivo
    • La perdita di gate riduce la tensione di breakdown e aumenta il consumo di potenza nello stato di spegnimento
  3. Limitazioni dei Metodi Esistenti:
    • Gli studi precedenti si sono principalmente concentrati sulla dipendenza dalla temperatura della perdita di gate al di sopra della temperatura ambiente
    • Manca una ricerca approfondita sulla perdita di gate di superficie a temperature estremamente basse
    • La comprensione dei meccanismi fisici del comportamento di isteresi della perdita di gate è insufficiente
  4. Motivazione della Ricerca:
    • Fornire una base teorica per lo sviluppo e l'applicazione di dispositivi GaN a temperature criogeniche
    • Rivelare i meccanismi fisici della perdita di gate in diversi intervalli di temperatura
    • Stabilire l'associazione tra i meccanismi di trappola e il comportamento di isteresi

Contributi Principali

  1. Tracciamento sistematico dei vari meccanismi di perdita di gate nei GaN HEMTs nell'intervallo di temperatura da 300 K a 1,5 K
  2. Scoperta e spiegazione della transizione di meccanismo da emissione di Poole-Frenkel a tunneling assistito da trappole intorno a 220 K
  3. Prima osservazione del fenomeno di inversione della direzione dell'isteresi della perdita di gate prima e dopo 220 K
  4. Fornitura di misurazioni precise dell'altezza della barriera di trappola (0,65 V) e della sua relazione con la direzione di scansione
  5. Stabilimento di un modello di associazione fisica tra diversi meccanismi di perdita e comportamento di isteresi

Dettagli Metodologici

Struttura e Preparazione del Dispositivo

  • Substrato: Buffer superlattice GaN/AlGaN di 4 μm di spessore su substrato Si(111)
  • Eterogiunzione: GaN(200 nm)/Al₀.₂Ga₀.₈N(25 nm) che forma il canale di gas di elettroni bidimensionale
  • Elettrodi: Elettrodi source-drain Ti/Al/Ti/Au, elettrodo gate Ni/Au/Ti
  • Strato di Passivazione: Strato di passivazione SiO₂ di 450 nm
  • Dimensioni del Dispositivo: Larghezza del gate 100 μm, lunghezza del gate 3-5 μm, distanza source-gate 3-5 μm, distanza gate-drain 20-30 μm

Metodi di Test

  • Intervallo di Temperatura: Misurazioni sistematiche da 300 K a 1,5 K
  • Caratterizzazione Elettrica: Caratteristiche I-V, caratteristiche C-V, misurazioni di mobilità e concentrazione di portatori
  • Test di Perdita di Gate: Scansione bidirezionale di tensione di gate, test a diverse velocità di scansione
  • Test di Stress: Misurazioni dipendenti dal tempo a tensione di gate fissa

Modelli Teorici

  1. Conduzione di Salto a Intervallo Variabile Bidimensionale (2D-VRH): I2DVRH=I0exp[(T0T)1/3]I_{2D-VRH} = I_0 \exp\left[-\left(\frac{T_0}{T}\right)^{1/3}\right]
  2. Emissione di Poole-Frenkel (PFE): IPFEEexp[qkT(qEπϵϕPFE)]I_{PFE} \propto E \exp\left[\frac{q}{kT}\left(\sqrt{\frac{qE}{\pi\epsilon}} - \phi_{PFE}\right)\right]
  3. Tunneling Assistito da Trappole (TAT): ITATexp(8π2mq3hϕTAT3/2E)I_{TAT} \propto \exp\left(-\frac{8\pi\sqrt{2m^*q}}{3h}\frac{\phi_{TAT}^{3/2}}{E}\right)

Configurazione Sperimentale

Parametri del Dispositivo

  • Campione rappresentativo: LG = 5 μm, LSG = 3 μm, LGD = 30 μm
  • Densità di portatori a temperatura ambiente: ~9×10¹² cm⁻²
  • Mobilità a temperatura ambiente: 1108 cm²/(V·s)
  • Mobilità a 1,5 K: 2323 cm²/(V·s)

Condizioni di Misurazione

  • Incremento di temperatura: ogni 25 K al di sopra di 200 K, ogni 20 K al di sotto di 200 K
  • Intervallo di scansione di tensione di gate: da -10 V a +2 V
  • Velocità di scansione: ±0,05 V per 18-250 ms
  • Tempo di stress: fino a 90 secondi

Indici di Valutazione

  • Relazione tra corrente di perdita di gate IG e tensione di gate VG
  • Altezze di barriera di trappola φPFE e φTAT
  • Area e direzione dell'anello di isteresi
  • Indice di dipendenza dalla temperatura

Risultati Sperimentali

Risultati Principali

  1. Classificazione per Temperatura:
    • Regione ad alta temperatura (300-220 K): PFE dominante
    • Regione a temperatura intermedia (200-140 K): transizione da PFE a TAT
    • Regione a bassa temperatura (120-1,5 K): TAT dominante, dipendenza dalla temperatura scompare
  2. Identificazione del Meccanismo di Perdita:
    • VG > 0,3 V: emissione termoelettronica di Schottky
    • -1 V < VG < 0,3 V: meccanismo 2D-VRH
    • VG < -4 V: PFE (alta temperatura) o TAT (bassa temperatura)
  3. Altezza della Barriera di Trappola:
    • Scansione verso l'alto: φPFE = 0,65 V
    • Scansione verso il basso: φPFE = 0,58 V
    • Differenza: 12%

Fenomeni di Isteresi

  1. Direzione dell'Isteresi:
    • T > 220 K: anello di isteresi in senso orario
    • T < 220 K: anello di isteresi in senso antiorario
    • T = 220 K: isteresi minima
  2. Dipendenza dalla Velocità di Scansione:
    • Alta temperatura: isteresi insensibile alla velocità di scansione
    • Bassa temperatura: forte dipendenza dalla velocità di scansione
  3. Dipendenza dal Tempo:
    • T > 220 K: IG aumenta nel tempo
    • T < 220 K: IG diminuisce nel tempo

Spiegazione del Meccanismo Fisico

  1. Meccanismo PFE (T > 220 K):
    • Eccitazione termica di elettroni da trappole alla banda di conduzione
    • Più elettroni di trappola forniscono un serbatoio di portatori più grande
    • Produce isteresi in senso orario
  2. Meccanismo TAT (T < 220 K):
    • Effetto di congelamento delle trappole, emissione di elettroni attraverso tunneling
    • L'aumento dell'occupazione di trappole inibisce la corrente di tunneling
    • Produce isteresi in senso antiorario

Lavori Correlati

Principali Direzioni di Ricerca

  1. Ricerca sulle caratteristiche criogeniche estreme dei GaN HEMTs
  2. Ricerca sui meccanismi di trappola nei dispositivi semiconduttori
  3. Analisi della dipendenza dalla temperatura della perdita di gate
  4. Fenomeni di isteresi nei diodi Schottky

Unicità di Questo Articolo

  • Prima ricerca sistematica della perdita di gate nei GaN HEMTs in un intervallo di temperatura estremamente ampio
  • Scoperta e spiegazione dell'inversione della direzione dell'isteresi dipendente dalla temperatura
  • Stabilimento di confini chiari tra diversi meccanismi di perdita

Conclusioni e Discussione

Conclusioni Principali

  1. Transizione di Meccanismo: 220 K è il punto di temperatura critico per la transizione da PFE a TAT
  2. Inversione di Isteresi: L'inversione della direzione dell'isteresi corrisponde direttamente al cambiamento del meccanismo di perdita
  3. Effetto di Congelamento delle Trappole: Il congelamento delle trappole a bassa temperatura è la causa fondamentale del meccanismo TAT e dell'isteresi in senso antiorario
  4. Valore Pratico: La misurazione dell'isteresi può servire come strumento conveniente per identificare il meccanismo di perdita

Limitazioni

  1. Limitazioni Materiali: Lo studio è limitato a dispositivi MOCVD cresciuti con passivazione SiO₂
  2. Intervallo di Temperatura: Il rapporto segnale-rumore in alcuni intervalli di temperatura limita l'analisi precisa
  3. Modello Teorico: La non uniformità della distribuzione del campo elettrico influisce sull'estrazione precisa dell'altezza della barriera TAT

Direzioni Future

  1. Ottimizzazione del Processo: Ricerca degli effetti di diversi materiali di passivazione e metodi di crescita
  2. Perfezionamento Teorico: Stabilimento di modelli di distribuzione del campo di superficie più precisi
  3. Applicazione del Dispositivo: Sviluppo di strategie di miglioramento dell'affidabilità basate sulla comprensione dei meccanismi di trappola

Valutazione Approfondita

Punti di Forza

  1. Sistematicità Forte: Copre un intervallo di temperatura estremamente ampio, fornendo un quadro fisico completo
  2. Meccanismi Chiari: L'identificazione di diversi meccanismi di perdita è chiara attraverso l'adattamento di molteplici modelli teorici
  3. Fenomeni Innovativi: Prima scoperta dell'inversione della direzione dell'isteresi dipendente dalla temperatura
  4. Spiegazione Ragionevole: La spiegazione del meccanismo basata sulla fisica delle trappole è logicamente chiara e convincente
  5. Valore Pratico: Fornisce importanti riferimenti per la progettazione e la valutazione dell'affidabilità dei dispositivi GaN a temperature criogeniche

Insufficienze

  1. Limitazioni del Campione: Studio limitato a una struttura di dispositivo e condizioni di processo specifiche
  2. Semplificazione del Modello: Alcune complesse interazioni di trappola potrebbero essere trascurate
  3. Analisi Quantitativa: L'estrazione di alcuni parametri è limitata dalle condizioni sperimentali

Impatto

  1. Valore Accademico: Fornisce nuove prospettive e metodi per la ricerca sulla fisica dei dispositivi GaN
  2. Prospettive di Applicazione: Ha un significato guida importante per applicazioni criogeniche estreme come il calcolo quantistico
  3. Contributo Metodologico: La misurazione dell'isteresi come strumento di identificazione del meccanismo ha valore di promozione

Scenari Applicabili

  1. Elettronica Criogenica Estrema: Sistemi aerospaziali, sistemi di computazione quantistica
  2. Elettronica di Potenza: Convertitori di alimentazione ad alta efficienza
  3. Applicazioni RF: Amplificatori a basso rumore, amplificatori di potenza
  4. Affidabilità del Dispositivo: Analisi dei guasti e previsione della durata di vita

Bibliografia

L'articolo cita 93 articoli correlati, coprendo importanti lavori in più campi inclusa la fisica dei dispositivi GaN, i meccanismi di trappola e l'elettronica criogenica estrema, fornendo una solida base teorica e riferimenti comparativi per la ricerca.


Valutazione Complessiva: Questo è un articolo di fisica sperimentale di alta qualità che studia sistematicamente e approfonditamente i meccanismi di perdita di gate nei GaN HEMTs a temperature criogeniche estreme, scopre nuovi fenomeni fisici e fornisce spiegazioni teoriche ragionevoli. I risultati della ricerca hanno un significato importante per promuovere l'applicazione dei dispositivi GaN in ambienti estremi.