2025-11-22T02:40:15.793793

Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity

Sebghati, HosseinNia

In this paper, a robust nonlinear control scheme is designed for the motion control of a class of piezo-actuated nano-positioning systems using frequency-domain analysis. The hysteresis, the nonlinearity in the piezoelectric material, degrades the precision in tracking references with high frequency contents and different travel ranges. The hysteresis compensation by the inverse model, as the state-of-the-art solution, is not reliable alone. Therefore, a control framework with robustness against the remaining nonlinearity is needed. It is shown that there is an unavoidable limitation in robust linear control design to improve the performance. A robust control methodology based on a complex-order element is established to relax the limitation. Then, a constant-in-gain-lead-in-phase (CgLp) reset controller is utilized to realize the complex-order control. The control design is based on the sinusoidal input describing function (SIDF) and the higher-order SIDF (HOSIDF) tools. A constrained optimization problem is provided to tune the control parameters. The achieved improvements by the CgLp control is validated by the simulation.

academic

圧電駆動ナノポジショナーのヒステリシス非線形性を考慮したロバストリセット制御設計

基本情報

論文ID: 2510.09445
タイトル: Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity
著者: A. Sebghati, S. H. HosseinNia (デルフト工科大学)
分類: eess.SY (システムと制御)、cs.SY (システムと制御)
発表日: 2025年10月10日 (arXiv プレプリント)
論文リンク: https://arxiv.org/abs/2510.09445

要約

本論文は、圧電駆動ナノポジショニングシステムのクラスに対して、周波数領域解析手法を用いたロバスト非線形制御方案を設計した。圧電材料に内在するヒステリシス非線形性は、高周波成分および異なるストローク範囲の参照信号に対する追従精度を低下させる。既存技術の逆モデルヒステリシス補償法は単独では信頼性が低いため、残留非線形性に対してロバストな制御フレームワークが必要である。研究により、ロバスト線形制御設計は性能改善の面で避けられない限界を有することが示された。本論文は、複素数次数要素に基づくロバスト制御手法を確立してこの限界を緩和し、その後、定ゲイン超前位相(CgLp)リセット制御器を利用して複素数次数制御を実現する。制御設計は正弦波入力記述関数(SIDF)および高次SIDF(HOSIDF)ツールに基づいており、制御パラメータを調整するための制約付き最適化問題を提供する。

研究背景と動機

問題定義

圧電駆動ナノポジショナーは高精密機械において重要な役割を果たし、広い振幅範囲を有する高速周期軌跡の正確な追従が必要である。しかし、圧電材料に固有のヒステリシス非線形性がシステム性能に深刻な影響を与える:

ヒステリシス非線形性の問題: 圧電材料のヒステリシス特性はDCゲインの不確実性として表現され、実験測定によるとDCゲイン変化は最大215%に達する
既存補償法の限界: 従来の逆モデル補償法は、モデルパラメータの精度に対する感度のため、ヒステリシス影響を完全に除去できない
線形制御の固有限界: ウォーターベッド効果とBodeゲイン-位相関係により、ロバスト線形制御は性能改善の面で避けられないトレードオフが存在する

研究動機

より広い帯域幅と高精度に対する高精密応用の需要の増加
残留ヒステリシス非線形性に対してロバストな運動制御システムの開発の必要性
従来の線形制御におけるロバスト性と帯域幅間のトレードオフ限界を突破する必要性

核心的貢献

理論的貢献: 複素数次数要素に基づくロバスト制御理論フレームワークを確立し、線形制御の固有限界を突破できることを証明した
方法の革新: CgLpリセット制御器を利用して複素数次数制御を実現する新しい方法を提案した
設計ツール: SIDFおよびHOSIDFに基づく周波数領域設計法と制約付き最適化調整戦略を開発した
性能向上: ロバスト性を維持しながら、約20%の帯域幅向上と顕著な精度改善を実現した

方法の詳細解説

タスク定義

DCゲイン不確実性を有する圧電ナノポジショニングシステムに対するロバスト制御器の設計。ここで:

入力: 参照位置信号
出力: 実際の位置
制約条件: 位相余裕φ ∈ φₘ, φₘ、DCゲイン不確実性κ ∈ 1, κ̄
目標: ロバスト帯域幅を最大化しながら、追従精度とシステム安定性を保証する

システムモデリング

圧電ポジショナーは不確実線形モデルを採用:

P(jω, κ) = Pₑ(jω) · Pₘ(jω, κ)
Pₘ(jω, κ) = κ · Pₘ(jω)

ここで:

Pₑ(jω) = Kₑ/(jω/ωₑ + 1) は電気動特性
Pₘ(jω) = Kₘ/((jω/ωₘ)² + 2ξₘ/ωₘ·jω + 1) は機械動特性
κは不確実DCゲインパラメータ

複素数次数制御理論

理論的基礎

DCゲイン不確実性を有する線形システムに対して、論文は複素数次数制御要素を提案:

C̃(jω) = e^(j(1-γ̃)/2 · arctan(ω/ω̃ᵣ))

ここでγ̃ ∈ -1,+1、ω̃ᵣは転折周波数。

定理1の重要な結論: 与えられたロバスト線形制御に基づいて理想的な複素数次数要素を追加することにより、開ループゲイン特性とロバスト性を損なうことなく、常により高いロバスト帯域幅を実現できる。

CgLpリセット制御器の実装

制御器構造

CgLp制御器は1次リセット要素(FORE)と1次超前フィルタの直列接続で構成:

FORE基本線形動特性: Rᵦₗ = 1/(jω/ωᵣ + 1)
超前フィルタ: Cₗ(jω) = (jω/αωᵣ + 1)/(jω/ωf + 1)

SIDF分析

CgLp制御器の正弦波入力記述関数:

C₁(jω) = R₁(jω) · Cₗ(jω)
R₁(jω) = 1/(jω/ωᵣ + 1) · (1 + j·2ω²(1-γ)(1+e^(-π·ω/ωᵣ))/(π(1+γe^(-π·ωᵣ/ω))(ω²+ωᵣ²)))

パラメータ最適化戦略

制約付き最適化法を採用してCgLpパラメータを調整:

max f_c(1)
γ,fᵣ,ff

subject to: ∠L₁(jωc) ∈ [-180° + φₘ, -180° + φₘ]
           γ ∈ [γₘ, 1], fᵣ > ν·ff, ff < fₘ

実験設定

実験プラットフォーム

装置: P-621.1CD PIHera単方向プラットフォーム、圧電駆動器と静電容量センサ搭載
ストローク範囲: -10, 120 μm
分解能: 0.2 nm
アンプ: E712デジタルモジュール、入力範囲-3, 13.5 V、出力範囲-30, 135 V

システムパラメータ

実験同定により得られたシステムパラメータ:

電気動特性: Kₑ = 10、fₑ = 935 Hz
機械動特性: Kₘ = 0.4986 μm/V、fₘ = 747 Hz、ξₘ = 0.0089
不確実性: κ = 1.6165 (DCゲイン変化62%)

評価指標

帯域幅指標: クロスオーバー周波数fcおよび平均クロスオーバー周波数f̄c
ロバスト性指標: 位相余裕φ ∈ 60°, 71°
精度指標: 相補感度関数±1 dB基準
時間領域性能: 立ち上がり時間、オーバーシュート、絶対誤差積分(IAE)

比較手法

ロバスト線形制御: 2次PI制御器とノッチフィルタに基づく線形方案
非ロバスト線形制御: 不確実性を考慮しない線形制御器

実験結果

主要結果

周波数領域性能

帯域幅向上:
- 公称条件: fc*(1)は220 Hzから269 Hzに向上 (22.3%向上)
- 最悪条件: fc*(κ)は376 Hzから441 Hzに向上 (17.3%向上)
- 平均帯域幅向上は約20%
ロバスト性の維持: 不確実性範囲全体で位相余裕は60°, 71°範囲内に維持