Двухслойные тонкопленочные резонаторы LiNbO3 с продольным возбуждением сдвиговых волн с ультра-большим коэффициентом электромеханической связи и без паразитных мод

Основная информация

• ID статьи: 2405.17168
• Название: Double-layer Thin-film LiNbO3 Longitudinally Excited Shear Wave Resonators with Ultra-large Electromechanical Coupling Coefficient and Spurious-Free Performance
• Авторы: Чжэнь-Хуэй Цинь, Шу-Мао У, Чэнь-Бэй Хао, Хуа-Ян Чэнь, Шэн-Нань Лян, Сы-Юань Юй, Янь-Фэн Чэнь
• Классификация: physics.app-ph
• Учреждение: Государственная ключевая лаборатория физики твёрдотельной микроструктуры Нанкинского университета, Школа инженерии и прикладных наук Нанкинского университета
• Ссылка на статью: https://arxiv.org/abs/2405.17168

Аннотация

В данном исследовании предложен двухслойный тонкопленочный резонатор ниобата лития (LiNbO3) с продольным возбуждением сдвиговых волн, обладающий теоретическим коэффициентом электромеханической связи, превышающим 60%, с отношением резонанс-антирезонанс (RaR) близким к 28% и без паразитных мод. Этот ультра-большой коэффициент электромеханической связи приближается к теоретическому пределу LiNbO3 и значительно превосходит все ранее опубликованные микроволновые акустические резонаторы. На основе X-срезанной тонкопленочной LiNbO3 при толщине пленки порядка сотен нанометров основная мода резонатора может охватывать частотный диапазон от 1 ГГц до 10 ГГц. Конструкция резонатора удобна и гибка, позволяя монотонно регулировать резонансную частоту путём изменения электродов или толщины тонкопленочной LiNbO3 без введения дополнительных паразитных мод.

Научный контекст и мотивация

Описание проблемы

С развитием мобильной связи 5G/6G и сенсорной промышленности предъявляются повышенные требования к РЧ-фильтрам, включая высокую частоту, большую полосу пропускания, низкие потери вносимые, высокое подавление вне полосы, высокую мощность, температурную стабильность, механическую стабильность и портативность. Ключевой вызов, стоящий перед микроволновыми акустическими фильтрами, заключается в достижении большой полосы пропускания при низких потерях вносимых.

Важность проблемы

• Требования к полосе пропускания РЧ-фильтров в 4G-связи обычно составляют менее 10%
• В будущей 6G-связи и далее полоса пропускания РЧ-фильтров может потребоваться превышать 20%
• Это создаёт огромные вызовы для микроволновых акустических фильтров

Ограничения существующих методов

1. Фильтры линии задержки: полоса пропускания и потери вносимые часто изменяются одновременно
2. Резонансные фильтры: полоса пропускания зависит от коэффициента электромеханической связи резонаторов, составляющих фильтр
3. Существующие резонаторы LiNbO3:
   • Коэффициент электромеханической связи на основе мод Рэлея относительно небольшой
   • Использование электрического поля в поперечно возбуждаемых акустических модах остаётся относительно недостаточным
   • Резонаторы с большим коэффициентом электромеханической связи обычно имеют проблемы с паразитными модами

Научная мотивация

Разработка резонатора с ультра-большим коэффициентом электромеханической связи, приближающимся к теоретическому пределу LiNbO3, при одновременном решении проблемы паразитных мод для обеспечения ключевого решения для будущей сверхширокополосной мобильной связи.

Основные вклады

1. Предложен двухслойный тонкопленочный резонатор LiNbO3 с продольным возбуждением сдвиговых волн, достигающий коэффициента электромеханической связи 60,5% и RaR 27,9%
2. Решена проблема паразитных мод, достигнуто совершенное подавление паразитных мод в полосе пропускания основной моды
3. Реализована гибкая регулировка частоты, позволяющая монотонно регулировать частоту путём изменения электродов или толщины пленки без введения паразитных мод
4. Предоставлена теоретическая аналитическая база, объясняющая физический механизм подавления паразитных мод двухслойной структурой
5. Подтверждена практическая применимость конструкции, доказана высокая допустимость конструкции к точности изготовления устройства

Детальное описание методов

Определение задачи

Разработка микроволнового акустического резонатора со следующими требованиями:

• Входные данные: микроволновой электромагнитный сигнал
• Выходные данные: обработанный микроволновой сигнал
• Ограничения: ультра-большой коэффициент электромеханической связи (>60%), отсутствие паразитных мод, регулируемая частота

Архитектура устройства

Общая конструкция

Двухслойный тонкопленочный резонатор LiNbO3 состоит из следующих компонентов:

• Верхний слой X-срезанной тонкопленочной LiNbO3
• Нижний слой -X-срезанной тонкопленочной LiNbO3
• Верхний и нижний золотые электроды

Принципы выбора материала

Путём анализа пьезоэлектрических коэффициентов e34 различных срезов LiNbO3 обнаружено, что X-срезанная LiNbO3 имеет значительные преимущества при продольном возбуждении сдвиговых волн, поэтому для построения резонатора выбрана X-срезанная тонкопленочная LiNbO3.

Физический механизм двухслойной структуры

На основе уравнений пьезоэлектрической связи:

T = c(∂u/∂x) - e(∂φ/∂x)
D = e(∂u/∂x) + ε(∂φ/∂x)

Для двухслойного резонатора с равной толщиной тонкопленочной LiNbO3 существуют два случая:

Случай первый: пьезоэлектрические коэффициенты верхней и нижней тонкопленочной LiNbO3 одинаковы

• Условие резонанса: 2πfd/v = nπ + π/2
• Акустическое поле в верхней и нижней пленках антисимметрично по толщине

Случай второй: пьезоэлектрические коэффициенты верхней и нижней тонкопленочной LiNbO3 одинаковы по величине, но противоположны по направлению

• Условие резонанса: πfd/v = nπ + π/2
• Акустическое поле в верхней и нижней пленках симметрично по толщине

Технические инновации

Механизм подавления паразитных мод

• Основная мода SH2: соответствует пьезоэлектрическому коэффициенту e34, имеет одинаковые значения, но противоположные знаки в X-срезанной и -X-срезанной LiNbO3, относится ко второму случаю
• Паразитная мода A1: соответствует пьезоэлектрическому коэффициенту e35, имеет одинаковые значения и знаки в X-срезанной и -X-срезанной LiNbO3, относится к первому случаю
• Результат: частота паразитной моды A1 значительно отдалена от полосы пропускания основной моды SH2, достигается подавление паразитных мод

Стратегия регулировки частоты

1. Регулировка толщины электрода: одновременное изменение толщины верхнего и нижнего электродов позволяет достичь оптимальной производительности
2. Регулировка толщины пленки: можно регулировать частоту путём изменения только толщины верхней пленки методом локального утонения
3. Регулировка кристаллической ориентации: при синхронном повороте верхней и нижней пленок производительность остаётся неизменной

Экспериментальная установка

Параметры моделирования

• Толщина пленки: 300 нм X-срезанной LiNbO3 + 300 нм -X-срезанной LiNbO3
• Материал электрода: золото (Au), толщина 20 нм
• Метод моделирования: трёхмерное (3D) моделирование методом конечных элементов
• Анализируемый частотный диапазон: 1-10 ГГц

Показатели оценки

• Коэффициент электромеханической связи (kt²): характеризует эффективность преобразования электрической энергии в механическую
• Отношение резонанс-антирезонанс (RaR): отражает способность полосы пропускания фильтра
• Добротность (Q): характеризует потери резонатора
• Подавление паразитных мод: интенсивность паразитных мод в полосе пропускания основной моды

Сравнительные эталоны

• Однослойный тонкопленочный резонатор LiNbO3
• Различные резонаторы LiNbO3, описанные в литературе (мода SH0 55%, мода Love 44%, мода A1 46% и т.д.)

Экспериментальные результаты

Основные результаты

Сравнение производительности

Диапазон охвата частот

• Толщина пленки 200-400 нм соответствует диапазону частот 3,7-6,8 ГГц
• Толщина порядка сотен нанометров может охватывать диапазон 1-10 ГГц

Анализ регулировки параметров

Влияние толщины электрода

• Синхронная регулировка: чем тоньше электрод, тем выше частота, больше коэффициент связи, отсутствуют паразитные моды
• Асинхронная регулировка: производительность немного снижается, но остаётся приемлемой

Влияние толщины пленки

• Синхронная регулировка: квазилинейная обратная зависимость между толщиной и частотой, коэффициент связи остаётся практически неизменным
• Регулировка одного слоя: при изменении только толщины верхнего слоя частота остаётся квазилинейно регулируемой, коэффициент связи >56%

Допустимость кристаллической ориентации

• При повороте одного слоя производительность монотонно снижается
• При синхронном повороте двух слоёв производительность остаётся полностью идентичной, демонстрируя экстремально высокую допустимость к производственным допускам

Важные открытия

1. Двухслойная структура успешно подавляет паразитные моды, одновременно сохраняя ультра-большой коэффициент электромеханической связи
2. Регулировка частоты высоко гибка, может быть реализована несколькими параметрами без введения паразитных мод
3. Высокая допустимость к производству, в основном зависит от качества пленки, а не от точности электродов

Связанные работы

История развития

• Конец 1960-х годов: первое появление акустических резонаторов LiNbO3 на основе мод Рэлея
• Недавние разработки: с совершенствованием технологии монокристаллических тонкопленочных LiNbO3 появились различные новые типы резонаторов
  • Моды A и S в волнах Лэмба
  • Горизонтальные моды сдвига на основе подвешенных пленок и резонаторов на подложке

Ключевые достижения

• 2019 год, Zhou и др.: 30Y-X срезанная тонкопленочная LiNbO3, мода SH0, коэффициент связи 55%
• 2020 год, Hsu и др.: X-срезанная тонкопленочная LiNbO3, мода Love, коэффициент связи 44%
• 2020 год, Lu и др.: 128Y-X срезанная тонкопленочная LiNbO3, мода A1, коэффициент связи 46%
• 2020 год, Plessky и др.: Y-срезанная тонкопленочная LiNbO3, продольное возбуждение (YBAR), ожидаемый коэффициент 50%
• 2024 год, Hartmann и др.: X-срезанная тонкопленочная LiNbO3, продольное возбуждение, превышающее 40%

Преимущества данной работы

По сравнению с существующими работами, данное исследование впервые достигло коэффициента электромеханической связи, приближающегося к теоретическому пределу LiNbO3, и идеально решило проблему паразитных мод.

Выводы и обсуждение

Основные выводы

1. Прорывные показатели производительности: достигнут коэффициент электромеханической связи 60,5%, RaR 27,9%, приближающиеся к теоретическому пределу LiNbO3
2. Решение ключевой проблемы: идеальное подавление паразитных мод, устранение препятствий к практическому применению
3. Гибкость конструкции: частота может быть отрегулирована несколькими параметрами, соответствуя требованиям проектирования фильтров
4. Масштабируемость технологии: решение также применимо к LiTaO3 с более высокой температурной стабильностью

Ограничения

1. Сложность изготовления: требуется изготовление высокого качества двухслойной тонкопленочной LiNbO3, предъявляются высокие технические требования
2. Рассмотрение стоимости: по сравнению с однослойной структурой, материальные и технологические затраты могут увеличиться
3. Экспериментальная верификация: статья в основном основана на результатах моделирования, отсутствуют данные тестирования реальных устройств

Направления будущих исследований

1. Экспериментальная верификация: изготовление реальных устройств и проведение испытаний производительности
2. Интеграция фильтров: построение сверхширокополосных фильтров на основе данного резонатора
3. Расширение материалов: исследование применения на других материалах, таких как LiTaO3
4. Оптимизация процесса: разработка эффективных технологий изготовления и обработки двухслойных пленок

Глубокая оценка

Преимущества

1. Сильная теоретическая инновативность: физический механизм подавления паразитных мод двухслойной структурой ясен и инновативен
2. Выдающиеся показатели производительности: коэффициент электромеханической связи и RaR достигли беспрецедентного уровня
3. Высокая практическая ценность: решена проблема паразитных мод резонаторов с большим коэффициентом связи
4. Всеобъемлющий анализ: полный теоретический анализ от выбора материала до конструкции устройства
5. Гибкость конструкции: множество способов регулировки параметров обеспечивают удобство практического применения

Недостатки

1. Отсутствие экспериментальной верификации: только результаты моделирования, отсутствуют экспериментальные данные реальных устройств
2. Осуществимость изготовления: осуществимость технологии изготовления и соединения двухслойных пленок требует верификации
3. Температурные характеристики: не проведён анализ температурной стабильности и температурного коэффициента устройства
4. Способность обработки мощности: не рассмотрена способность устройства к обработке мощности
5. Экономическая эффективность: не учтены преимущества стоимости по сравнению с существующими решениями

Влияние

1. Академическая ценность: предоставляет новую теоретическую базу и идеи проектирования для акустических резонаторов
2. Промышленное значение: может стать ключевой технологией следующего поколения сверхширокополосной мобильной связи
3. Технологический прогресс: будет способствовать дальнейшему развитию технологии обработки тонкопленочной LiNbO3
4. Перспективы применения: имеет широкие перспективы применения в 5G/6G связи, радарах, датчиках и других областях

Применимые сценарии

1. Сверхширокополосные фильтры: применимы к будущим системам связи с требованиями полосы пропускания >20%
2. Высокочастотные приложения: микроволновые устройства в диапазоне 1-10 ГГц
3. Требования низких потерь: РЧ-тракты с жёсткими требованиями к потерям вносимым
4. Требования миниатюризации: портативные коммуникационные устройства и терминалы интернета вещей

Библиография

Статья цитирует 24 важные справочные работы, охватывающие историю развития акустических устройств на основе LiNbO3, соответствующую теоретическую базу и последние технологические достижения, обеспечивая прочную теоретическую основу и сравнительные эталоны для исследования.

Общая оценка: Это высокачественная статья в области прикладной физики, предлагающая инновационную конструкцию двухслойного тонкопленочного резонатора LiNbO3, теоретически достигающая прорывных показателей производительности. Хотя отсутствует экспериментальная верификация, теоретический анализ строг, идеи проектирования новаторские, и работа имеет важное значение для развития технологии мобильной связи следующего поколения.