Роли структурной координации и ориентации деформации в стабильности фаз сегнетоэлектрического HfO$_2$

Основная информация

• ID статьи: 2501.00132
• Название: Roles of Structural Coordination and Strain Orientation in the Phase Stability of Ferroelectric HfO$_2$
• Авторы: Adedamola D. Aladese, Xiao Shen (Университет Мемфиса)
• Классификация: cond-mat.mtrl-sci (физика конденсированного состояния - материаловедение)
• Дата публикации: Январь 2025
• Ссылка на статью: https://arxiv.org/abs/2501.00132

Аннотация

Стабилизация фазовых переходов остаётся ключевой проблемой в оксиде гафния (HfO$_2$) из-за взаимозависимости различных факторов. В данном исследовании с использованием расчётов из первых принципов анализируется влияние деформации и легирования на стабилизацию сегнетоэлектрической фазы. Исследование показывает, что комбинация легирования иттрием, кислородных вакансий и двухосной сжимающей деформации, особенно при ориентации (111), обеспечивает оптимальный путь стабилизации сегнетоэлектрической фазы HfO$_2$. Анализ структурной координации выявил, как сжимающая деформация влияет на конкуренцию фаз. Кристаллографический анализ предоставил понимание преимуществ ориентации (111) по сравнению с ориентацией (001).

Научный контекст и мотивация

Значимость проблемы

1. Технологический драйвер: С миниатюризацией кремниевых технологий и вызовами закона Мура возникает необходимость поиска альтернативных материалов для архитектур следующего поколения
2. Преимущества материала: HfO$_2$ уже используется в кремниевой промышленности для приложений с высокой диэлектрической проницаемостью, а открытие его сегнетоэлектрических свойств создаёт новые возможности для полупроводниковой промышленности
3. Эффекты размера: В отличие от традиционных перовскитных материалов, HfO$_2$ сохраняет сильные сегнетоэлектрические свойства при уменьшении толщины
4. Совместимость с технологией: Простота интеграции с технологией CMOS делает сегнетоэлектрическую память на основе HfO$_2$ сильным кандидатом для будущих электронных устройств

Основные вызовы

1. Стабильность фаз: HfO$_2$ имеет множество полиморфных форм, включая наиболее стабильную моноклинную фазу (P21/c), тетрагональную, кубическую и ортогональную фазы
2. Сегнетоэлектрическая фаза: Наблюдаемое сегнетоэлектрическое поведение приписывается образованию полярной ортогональной фазы Pca21
3. Многофакторное взаимодействие: Стабилизация метастабильной фазы Pca21 требует синергетического действия нескольких внешних факторов: деформации, электрического поля, кислородных вакансий и легирующих добавок
4. Неясный механизм: Природа сегнетоэлектричества в HfO$_2$ полностью не понята, и результаты различных исследовательских групп расходятся

Основной вклад

1. Оптимальный путь стабилизации: Определена комбинация легирования иттрием, кислородных вакансий и двухосной сжимающей деформации при ориентации (111) как оптимальный путь стабилизации сегнетоэлектрической фазы
2. Механизм ориентации деформации: Выявлены кристаллографические причины, по которым ориентация (111) более эффективна, чем ориентация (001)
3. Анализ структурной координации: Уточнен механизм, посредством которого сжимающая деформация влияет на конкуренцию фаз через воздействие на гибкость окружения трёхкоординированных кислородных атомов
4. Механизм действия легирующей добавки: Предложен новый механизм, согласно которому легирующие добавки способствуют сегнетоэлектричеству путём повышения гибкости локального окружения трёхкоординированных кислородных атомов

Методология

Методы расчёта

Расчёты теории функционала плотности (DFT) из первых принципов:

• Использование пакета Vienna Ab Initio Simulation Package (VASP)
• Проекционные дополненные волны (PAW)
• Обменно-корреляционный функционал Perdew-Burke-Ernzerhof
• Энергетический предел плоских волн: 500 эВ
• Критерии сходимости: электронный шаг 10$^{-6}$ эВ, ионный шаг 10$^{-5}$ эВ

Построение модели

Конструкция суперячейки:

• Объёмный HfO$_2$: k-точки Монкхорста-Пака 6×6×6
• Тонкая плёнка ориентации (001): суперячейка из 192 атомов, k-точки (¼,¼,¼)
• Тонкая плёнка ориентации (111): суперячейка из 288 атомов, k-точки (¼,¼,¼)

Конфигурации легирования:

• Легирование иттрием: замена 2 атомов Hf на 2 атома Y
• Кислородные вакансии: удаление 1 кислородного атома, ближайшего к легирующей добавке, для компенсации заряда
• Ориентация (001): 3,125% легирования Y + 1,56% кислородных вакансий
• Ориентация (111): 2,08% легирования Y + 1,04% кислородных вакансий

Технические инновации

1. Систематический анализ деформации: Первый систематический анализ влияния двух ориентаций деформации (001) и (111) на стабильность фаз
2. Анализ координационного окружения: Глубокий анализ изменений длин связей для трёхкоординированных (O$_I$) и четырёхкоординированных (O$_{II}$) кислородных атомов
3. Кристаллографический эффект плотности: Предложено новое понимание того, как различия в атомной плотности приводят к различиям в эффектах деформации
4. Количественная оценка синергетических эффектов: Количественный анализ синергетического механизма взаимодействия деформации и легирования

Экспериментальная установка

Объекты исследования

Две основные кристаллические структуры:

1. Моноклинная фаза P21/c: Основное состояние при окружающих условиях, несегнетоэлектрическая
2. Ортогональная фаза Pca21: Сегнетоэлектрическая фаза с самопроизвольной поляризацией

Анализ структурных характеристик

Координационное окружение:

• Атомы Hf: семикоординированные
• Атомы кислорода: трёхкоординированные (O$_I$, чёрные) и четырёхкоординированные (O$_{II}$, красные)
• Источник сегнетоэлектричества: расположение атомов O$_I$ создаёт самопроизвольную поляризацию

Параметры расчёта

Диапазон деформации: двухосная деформация от -6% до +2% Критерии длины связи:

• Связь Hf-O: < 2,41 Å
• Связь Y-O: < 2,56 Å

Результаты исследования

Основные результаты

1. Влияние деформации на стабильность фаз

Ключевые находки:

• Сжимающая деформация способствует переходу из моноклинной фазы P21/c в ортогональную фазу Pca21
• Ориентация деформации (111) более эффективна, чем (001)
• При ориентации (111) минимум энергии сегнетоэлектрической фазы находится вне кривой моноклинной фазы, что указывает на более сильную стабильность

2. Анализ напряжения перехода

Значения напряжения перехода σ$_t$ (мэВ/Å$^2$):

Напряжение перехода при ориентации (111) значительно меньше; совместное легирование Y и вакансиями показывает лучший эффект

3. Анализ сегнетоэлектрического смещения

Сегнетоэлектрическое смещение при -3% деформации (Å):

Совместное легирование Y и вакансиями при ориентации (111) создаёт максимальное сегнетоэлектрическое смещение

Анализ структурного механизма

1. Закономерности изменения длин связей

Поведение связей Hf-O$_I$:

• Связи I и II уменьшаются при сжимающей деформации
• Связь III в фазе Pca21 увеличивается при сжимающей деформации, в фазе P21/c изменяется незначительно
• Удлинение связи III отражает более гибкое локальное окружение атома O$_I$

2. Окружение четырёхкоординированного кислорода

Характеристики связей Hf-O$_{II}$:

• Средняя длина связи в фазе Pca21 короче и более сжимаема
• Эффективное использование пространства обеспечивает больше места вокруг атомов O$_I$
• Способствует адаптивным перестройкам при сжимающей деформации

3. Кристаллографические преимущества

Преимущества ориентации (111):

• Более высокая плотность атомных плоскостей: 8,8 Hf/нм$^2$ против 7,0 Hf/нм$^2$ для (001)
• Некоторые атомы O$_I$ расположены в плоскостях атомов Hf
• Усиливает внутриплоскостные ограничения, увеличивая эффект сжимающей деформации

Связанные работы

Основные направления исследований

1. Инженерия деформации: Liu и соавторы показали, что двухосная деформация при ориентации (111) стабилизирует фазу Pca21, но Zhang и соавторы получили противоположные результаты
2. Эффекты легирования: Трёхвалентные легирующие добавки способствуют фазовым переходам и стабильности путём компенсации кислородных вакансий
3. Синергетическое взаимодействие нескольких факторов: Batra и соавторы предложили, что комбинация двухосной деформации и электрического поля более эффективна, чем отдельные факторы

Преимущества данной работы

1. Систематическое сравнение: Первое систематическое сравнение эффектов различных ориентаций деформации
2. Микроскопический механизм: Предоставляет детальное понимание на атомном уровне
3. Количественный анализ: Даёт количественные данные по напряжению перехода и сегнетоэлектрическому смещению

Выводы и обсуждение

Основные выводы

1. Оптимальные условия: Комбинация легирования иттрием, кислородных вакансий и двухосной сжимающей деформации при ориентации (111) обеспечивает лучший путь стабилизации сегнетоэлектрической фазы
2. Механизм деформации: Сжимающая деформация способствует образованию сегнетоэлектрической фазы путём повышения гибкости окружения трёхкоординированных кислородных атомов
3. Эффект ориентации: Ориентация (111) более эффективна благодаря более высокой атомной плотности и специальному расположению кислородных атомов
4. Действие легирующей добавки: Совместное легирование дополнительно повышает локальную гибкость путём увеличения длины связей Hf-O$_I$

Ограничения

1. Теоретические расчёты: Основано на расчётах DFT, требует экспериментальной проверки
2. Эффекты температуры: Не учитывает стабильность фаз при конечной температуре
3. Динамика процессов: Не охватывает кинетику фазовых переходов
4. Взаимодействие дефектов: Относительно упрощённый подход к обработке сложных взаимодействий дефектов

Направления будущих исследований

1. Экспериментальная проверка: Необходимы соответствующие экспериментальные исследования для проверки теоретических предсказаний
2. Исследование динамики: Изучение кинетики фазовых переходов и энергии активации
3. Применение в устройствах: Исследование потенциала применения в реальных устройствах
4. Другие легирующие элементы: Изучение эффектов других легирующих элементов

Глубокая оценка

Достоинства

1. Строгая методология: Использование зрелых методов расчётов из первых принципов с разумными параметрами
2. Глубокий анализ: Раскрытие механизмов действия деформации и легирования на атомном уровне
3. Систематические результаты: Систематическое сравнение стабильности фаз при различных условиях
4. Ясный механизм: Предоставляет ясную физическую картину и количественный анализ

Недостатки

1. Отсутствие экспериментов: Чисто теоретическое исследование, лишённое экспериментальной проверки
2. Упрощение модели: Модель суперячейки может не полностью отражать сложность реальных тонких плёнок
3. Эффекты температуры: Не учитывает температурную зависимость в практических приложениях
4. Эффекты интерфейса: Не охватывает влияние интерфейса плёнка-подложка

Влияние

1. Научная ценность: Предоставляет важную теоретическую основу для понимания сегнетоэлектричества в HfO$_2$
2. Перспективы применения: Предоставляет руководство для проектирования высокопроизводительных сегнетоэлектрических устройств на основе HfO$_2$
3. Методологическое значение: Демонстрирует эффективность синергетической оптимизации нескольких факторов
4. Развитие области: Способствует углублению понимания сегнетоэлектрического HfO$_2$

Области применения

1. Проектирование материалов: Руководство по проектированию и оптимизации сегнетоэлектрических материалов на основе HfO$_2$
2. Инженерия устройств: Предоставляет принципы проектирования для сегнетоэлектрической памяти и логических устройств
3. Оптимизация технологии: Руководство по росту тонких плёнок и инженерии деформации
4. Фундаментальные исследования: Основа для дальнейших теоретических и экспериментальных исследований

Библиография

Данная работа цитирует 30 важных источников, охватывающих открытие сегнетоэлектрических свойств HfO$_2$, исследования стабильности фаз, инженерию деформации, эффекты легирования и другие ключевые области, предоставляя прочную теоретическую основу для исследования.

Общая оценка: Это высококачественная теоретическая исследовательская работа, систематически изучающая влияние ориентации деформации и легирования на стабильность сегнетоэлектрической фазы HfO$_2$, предоставляющая ясный физический механизм и количественный анализ. Несмотря на отсутствие экспериментальной проверки, она предоставляет важное теоретическое руководство для дальнейшего развития этой области.