Робастное управление с восстановлением для пьезоактуируемого нанопозиционера при наличии гистерезисной нелинейности

Основная информация

• ID статьи: 2510.09445
• Название: Robust reset control design for piezo-actuated nano-positioner in presence of hysteresis nonlinearity
• Авторы: A. Sebghati, S. H. HosseinNia (Делфтский технологический университет)
• Классификация: eess.SY (Системы и управление), cs.SY (Системы и управление)
• Дата публикации: 10 октября 2025 г. (препринт arXiv)
• Ссылка на статью: https://arxiv.org/abs/2510.09445

Аннотация

В данной работе предложена схема робастного нелинейного управления для класса пьезоактуируемых систем нанопозиционирования с использованием методов анализа в частотной области. Гистерезисная нелинейность в пьезоматериалах снижает точность отслеживания высокочастотного содержимого и опорных сигналов в различных диапазонах хода. Поскольку традиционные методы компенсации гистерезиса на основе обратных моделей ненадежны при самостоятельном использовании, требуется схема управления, робастная к остаточной нелинейности. Исследование показывает, что робастное линейное управление имеет неизбежные ограничения в улучшении производительности. В работе разработан метод робастного управления на основе элементов дробного порядка для преодоления этого ограничения, а затем реализован контроллер восстановления с постоянным коэффициентом усиления и опережением фазы (CgLp) для реализации управления дробного порядка. Проектирование управления основано на инструментах синусоидальной функции описания входа (SIDF) и функции описания входа высшего порядка (HOSIDF) с предоставлением задачи ограниченной оптимизации для настройки параметров управления.

Исследовательский контекст и мотивация

Определение проблемы

Пьезоактуируемые нанопозиционеры играют важную роль в высокоточных машинах и требуют точного отслеживания высокоскоростных периодических траекторий с широким диапазоном амплитуд. Однако присущая пьезоматериалам гистерезисная нелинейность серьёзно влияет на производительность системы:

1. Проблема гистерезисной нелинейности: Гистерезисные характеристики пьезоматериалов проявляются как неопределённость коэффициента усиления постоянного тока, которая согласно экспериментальным измерениям достигает 215%
2. Ограничения существующих методов компенсации: Традиционные методы компенсации на основе обратных моделей не могут полностью устранить влияние гистерезиса из-за чувствительности к точности параметров модели
3. Присущие ограничения линейного управления: Из-за эффекта водяной кровати и соотношения усиления-фазы Боде робастное линейное управление имеет неизбежные компромиссы в улучшении производительности

Исследовательская мотивация

• Растущие требования высокоточных приложений к более широкой полосе пропускания и повышенной точности
• Необходимость разработки систем управления движением, робастных к остаточной гистерезисной нелинейности
• Преодоление компромиссов между робастностью и полосой пропускания в традиционном линейном управлении

Основные вклады

1. Теоретический вклад: Разработана теоретическая база робастного управления на основе элементов дробного порядка, доказано, что она преодолевает присущие ограничения линейного управления
2. Методологическое новшество: Предложен новый метод реализации управления дробного порядка с использованием контроллера восстановления CgLp
3. Инструменты проектирования: Разработаны методы проектирования в частотной области на основе SIDF и HOSIDF с стратегией параметрической оптимизации с ограничениями
4. Улучшение производительности: Достигнуто увеличение полосы пропускания примерно на 20% при сохранении робастности и значительное улучшение точности

Подробное описание методов

Определение задачи

Проектирование робастного контроллера для пьезонанопозиционной системы с неопределённостью коэффициента усиления постоянного тока, где:

• Вход: опорный сигнал положения
• Выход: фактическое положение
• Ограничения: запас по фазе φ ∈ φₘ, φₘ, неопределённость коэффициента усиления постоянного тока κ ∈ 1, κ̄
• Цель: максимизировать робастную полосу пропускания при обеспечении точности отслеживания и устойчивости системы

Моделирование системы

Пьезопозиционер использует неопределённую линейную модель:

P(jω, κ) = Pₑ(jω) · Pₘ(jω, κ)
Pₘ(jω, κ) = κ · Pₘ(jω)

где:

• Pₑ(jω) = Kₑ/(jω/ωₑ + 1) — электрическая динамика
• Pₘ(jω) = Kₘ/((jω/ωₘ)² + 2ξₘ/ωₘ·jω + 1) — механическая динамика
• κ — параметр неопределённости коэффициента усиления постоянного тока

Теория управления дробного порядка

Теоретическая основа

Для линейных систем с неопределённостью коэффициента усиления постоянного тока предложены элементы управления дробного порядка:

C̃(jω) = e^(j(1-γ̃)/2 · arctan(ω/ω̃ᵣ))

где γ̃ ∈ -1,+1, ω̃ᵣ — частота перелома.

Теорема 1 — ключевой результат: путём добавления идеальных элементов дробного порядка к заданному робастному линейному управлению всегда можно достичь более высокой робастной полосы пропускания без ущерба для характеристик разомкнутого контура усиления и робастности.

Реализация контроллера восстановления CgLp

Структура контроллера

Контроллер CgLp состоит из элемента восстановления первого порядка (FORE) и фильтра опережения первого порядка, соединённых последовательно:

• Базовая линейная динамика FORE: Rᵦₗ = 1/(jω/ωᵣ + 1)
• Фильтр опережения: Cₗ(jω) = (jω/αωᵣ + 1)/(jω/ωf + 1)

Анализ SIDF

Синусоидальная функция описания входа контроллера CgLp:

C₁(jω) = R₁(jω) · Cₗ(jω)
R₁(jω) = 1/(jω/ωᵣ + 1) · (1 + j·2ω²(1-γ)(1+e^(-π·ω/ωᵣ))/(π(1+γe^(-π·ωᵣ/ω))(ω²+ωᵣ²)))

Стратегия параметрической оптимизации

Применяется метод ограниченной оптимизации для настройки параметров CgLp:

max f_c(1)
γ,fᵣ,ff

subject to: ∠L₁(jωc) ∈ [-180° + φₘ, -180° + φₘ]
           γ ∈ [γₘ, 1], fᵣ > ν·ff, ff < fₘ

Экспериментальная установка

Экспериментальная платформа

• Оборудование: Одноосная платформа P-621.1CD PIHera с пьезоприводом и ёмкостным датчиком
• Диапазон хода: -10, 120 мкм
• Разрешение: 0,2 нм
• Усилитель: Цифровой модуль E712, входной диапазон -3, 13,5 В, выходной диапазон -30, 135 В

Параметры системы

Параметры системы, полученные экспериментальной идентификацией:

• Электрическая динамика: Kₑ = 10, fₑ = 935 Гц
• Механическая динамика: Kₘ = 0,4986 мкм/В, fₘ = 747 Гц, ξₘ = 0,0089
• Неопределённость: κ = 1,6165 (изменение коэффициента усиления постоянного тока 62%)

Показатели оценки

• Показатели полосы пропускания: Частота пересечения fс и средняя частота пересечения f̄с
• Показатели робастности: Запас по фазе φ ∈ 60°, 71°
• Показатели точности: Критерий ±1 дБ функции дополнительной чувствительности
• Производительность во временной области: Время нарастания, перерегулирование, интегральная абсолютная ошибка (IAE)

Методы сравнения

1. Робастное линейное управление: Линейная схема на основе ПИ-контроллера второго порядка и режекторного фильтра
2. Нероб астное линейное управление: Контроллер линейного управления без учёта неопределённости

Экспериментальные результаты

Основные результаты

Производительность в частотной области

• Увеличение полосы пропускания:
  • Номинальный случай: fс*(1) увеличивается с 220 Гц до 269 Гц (увеличение на 22,3%)
  • Наихудший случай: fс*(κ) увеличивается с 376 Гц до 441 Гц (увеличение на 17,3%)
  • Среднее увеличение полосы пропускания примерно 20%
• Сохранение робастности: Запас по фазе сохраняется в диапазоне 60°, 71° во всём диапазоне неопределённости

Улучшение характеристик разомкнутого контура

С помощью контроллера CgLp успешно повышена фаза разомкнутого контура вблизи fс*(κ) при практически неизменном усилении разомкнутого контура, что подтверждает теоретические ожидания управления дробного порядка.

Проверка во временной области

Переходная характеристика

• Время нарастания: Значительное улучшение по сравнению с робастным линейным управлением
• Перерегулирование: Сохраняется в диапазоне 10%-13%, тогда как нероб астное линейное управление показывает перерегулирование в диапазоне 10%-18%
• Робастность: Стабильная производительность во всём диапазоне неопределённости коэффициента усиления постоянного тока

Производительность синусоидального отслеживания

При оценке по метрике IAE контроллер CgLp показывает значительное улучшение точности по сравнению с методами линейного управления.

Проверка HOSIDF

Анализ гармоник высшего порядка показывает:

• |S∞(κ)| ≈ |S₁(κ)|, |T∞(κ)| ≈ |T₁(κ)|
• Подтверждена эффективность анализа SIDF, влияние гармоник высшего порядка достаточно мало

Абляционные исследования

Путём сравнения с различными схемами управления подтверждены:

1. Необходимость элементов дробного порядка
2. Эффективность реализации CgLp
3. Обоснованность стратегии параметрической оптимизации

Связанные работы

Управление пьезосистемами

• Традиционные методы: Компенсация гистерезиса на основе обратных моделей, но с проблемами сложности модели и чувствительности параметров
• Линейное управление: Методы типа равнодемпфирования обеспечивают робастность через опережение фазы, но имеют компромисс полоса пропускания-робастность

Теория управления восстановлением

• Интегратор Клегга: Концепция нелинейного управления, предложенная в 1958 году
• Инструменты SIDF/HOSIDF: Позволяют проектировать и анализировать управление восстановлением в частотной области
• Управление CgLp: Недавние приложения в системах высокоточного движения

Позиционирование вклада данной работы

В данной работе впервые объединены теория управления дробного порядка и управление восстановлением CgLp, предоставляя решение, преодолевающее ограничения линейного управления для пьезонанопозиционных систем.

Заключение и обсуждение

Основные выводы

1. Теоретический прорыв: Доказано, что управление дробного порядка преодолевает присущие ограничения линейного управления в компромиссе робастность-полоса пропускания
2. Практический метод: Контроллер восстановления CgLp успешно реализует теоретические преимущества управления дробного порядка
3. Улучшение производительности: Достигнуто увеличение полосы пропускания на 20% при сохранении робастности и значительное улучшение точности

Ограничения

1. Экспериментальная проверка: В настоящее время проведена только проверка моделированием, отсутствуют экспериментальные испытания на реальном оборудовании
2. Рассмотрение шума: Хотя упоминается проблема шума, детальный анализ робастности к шуму не проведён
3. Вычислительная сложность: Вычислительные затраты анализа HOSIDF и ограниченной оптимизации не обсуждены подробно

Направления будущих исследований

В работе чётко определены следующие направления исследований:

1. Исследование временной характеристики сигнала управления и проектирование дополнительных фильтров
2. Экспериментальная проверка
3. Интеграция управления с предварительной связью
4. Исследование проблемы подавления возмущений

Глубокая оценка

Преимущества

1. Теоретическая инновативность: Теория управления дробного порядка предоставляет новый подход к преодолению ограничений линейного управления
2. Практичность метода: Схема реализации CgLp обладает хорошей инженерной осуществимостью
3. Полнота анализа: Метод частотной области, объединяющий SIDF и HOSIDF, строг и полон
4. Убедительность результатов: Результаты моделирования наглядно демонстрируют эффективность метода

Недостатки

1. Ограничения экспериментов: Отсутствие проверки на реальном оборудовании, точность модели моделирования требует проверки
2. Анализ чувствительности параметров: Анализ чувствительности к настройке параметров CgLp недостаточно полный
3. Область применимости: Применимость метода к другим типам нелинейности не обсуждена

Влияние

1. Академический вклад: Предоставляет новые теоретические инструменты и методы проектирования для области высокоточного управления
2. Инженерная ценность: Имеет важное прикладное значение для высокоточного производства и нанотехнологий
3. Воспроизводимость: Работа предоставляет подробные параметры и процедуры проектирования, облегчающие воспроизведение

Сценарии применения

• Пьезоактуируемые системы нанопозиционирования
• Системы высокоточного управления движением с неопределённостью коэффициента усиления постоянного тока
• Приложения отслеживания, требующие высокой полосы пропускания и высокой точности
• Высокоточное оборудование, такое как полупроводниковое производство и атомно-силовая микроскопия

Библиография

В работе цитируются важные источники по теории управления и системам высокоточного движения, включая:

• Clegg (1958): Основополагающие работы по управлению восстановлением
• Saikumar et al. (2019, 2021): Теоретическая основа управления CgLp
• Zhang et al. (2024): Последние разработки инструментов анализа SIDF/HOSIDF

Общая оценка: Это высококачественная работа с важными инновациями как в теории, так и в методах, предоставляющая новый подход к решению проблемы управления пьезонанопозиционными системами. Хотя экспериментальная проверка требует дальнейшего развития, её теоретический вклад и методологические инновации имеют важное академическое и инженерное значение.